基于阻抗匹配器的二極管幅-相檢測(cè)電路設(shè)計(jì)[模擬設(shè)計(jì)][其他]

半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)很大程度上取決于半導(dǎo)體裝備以及核心零部件的競(jìng)爭(zhēng)，如射頻電源、阻抗匹配器等。設(shè)備的抗干擾能力以及穩(wěn)定性等特性是衡量設(shè)備優(yōu)劣的重要標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)于阻抗匹配器而言，控制回路的精準(zhǔn)、穩(wěn)定以及快速響應(yīng)是決定阻抗匹配器這款產(chǎn)品性能好壞的重要指標(biāo)。因此，基于電容分壓采樣、電流互感器采樣以及運(yùn)放電路等相關(guān)原理，設(shè)計(jì)了一款純硬件電路的阻抗幅值、相位檢測(cè)回路，并用仿真軟件ADS2021進(jìn)行模擬仿真實(shí)驗(yàn)，得到表征射頻電源和負(fù)載之間阻抗匹配程度的模擬量Urms。通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)試表明，Urms越大表征射頻源與負(fù)載之間失配越嚴(yán)重，功率傳輸效率越低；Urms越小表征射頻源和負(fù)載之間的匹配程度越好，功率傳輸效率越高。同時(shí)，通過(guò)改變母線信號(hào)的輸入功率，得到Urms與輸入功率具有較高的線性相關(guān)性，因此該檢測(cè)回路具有很好的穩(wěn)定性，能夠適用于寬范圍匹配器阻抗的幅值、相位檢測(cè)。 關(guān)鍵詞：阻抗匹配,Urms,幅值-相位信號(hào),線性相關(guān)

發(fā)表于：7/11/2023 5:32:47 PM