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Rapidus成功開發(fā)玻璃基板技術(shù)

計(jì)劃2028年量產(chǎn)
2025-12-19
來源:芯智訊

12月18日消息,據(jù)《日經(jīng)新聞》報(bào)道,日本晶圓代工初創(chuàng)企業(yè)Rapidus已成功開發(fā)玻璃基板面板級(jí)封裝(PLP)技術(shù),計(jì)劃2028年投入量產(chǎn),拉近與臺(tái)積電的差距。Rapidus計(jì)劃于SEMICON Japan 展會(huì)上,介紹其在玻璃基板面板級(jí)封裝(PLP)領(lǐng)域的最新進(jìn)展。

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△資料圖:英特爾展示玻璃基板

報(bào)道稱,Rapidus 打造了全球首款以大型玻璃基板切割而成的中介層原型。所謂中介層,是用來承載AI加速器中的GPU與高帶寬內(nèi)存(HBM),并負(fù)責(zé)各元件之間的互連。

目前的中介層大多是硅基材料,需要直徑300毫米的硅晶圓切割而成,由于中介層本身通常為方形,因此產(chǎn)生會(huì)浪費(fèi)不少材料,綜合成本較高。相比之下,采用面板級(jí)工藝生產(chǎn)的玻璃基板,不僅尺寸可以更大、生產(chǎn)效率更高,且本身是矩形,切割產(chǎn)生的浪費(fèi)也少。更為關(guān)鍵的是,玻璃基板的成本要遠(yuǎn)低于硅晶圓。

此外,與目前業(yè)界主流的有機(jī)基板相比,玻璃基板擁有優(yōu)秀的熱機(jī)械性能,熱膨脹(CTE)接近硅的同時(shí),還可根據(jù)客戶設(shè)計(jì)進(jìn)行調(diào)整開發(fā),支持更高溫度下的先進(jìn)的集成供電;玻璃本身的高剛性也使得其不易變形,可支持尺寸穩(wěn)定性改進(jìn)的特征縮放,也可以減少制程中產(chǎn)生的翹曲;玻璃優(yōu)異的超光滑表面質(zhì)量,有助于生產(chǎn)更精密的布線層線路;玻璃還擁有優(yōu)越的電氣隔離特性,通過可調(diào)節(jié)的介電特性,可防止電信號(hào)互相干擾,實(shí)現(xiàn)優(yōu)越的電氣隔絕效果,可以提升約10倍通孔密度;玻璃還支持比12英寸硅晶圓大外形尺寸;玻璃基板的高透明度也為未來實(shí)現(xiàn)光信號(hào)集成和高速信號(hào)傳輸?shù)於ɑA(chǔ)。

此前,全球半導(dǎo)體制芯片造商當(dāng)中只有英特爾、臺(tái)積電、三星在積極研發(fā)玻璃基板,相關(guān)材料公司Absolix、三星電機(jī)、LG Innotek也在發(fā)力玻璃基板。AI芯片大廠AMD也積極推動(dòng)玻璃基板技術(shù)的導(dǎo)入。

《日經(jīng)新聞》報(bào)道稱,Rapidus 采用的是600×600毫米的方形玻璃基板,可大幅降低切割浪費(fèi),使單一玻璃面板可生產(chǎn)的中介層數(shù)量提升至原本的10倍。此外,Rapidus 原型中介層的表面積比其他中介層大30%至100%,可容納更大尺寸的芯片。

不過,玻璃基板的商用還面臨一些挑戰(zhàn)。比如,玻璃基板材質(zhì)脆弱,在制程與運(yùn)輸過程中容易破裂,且隨著面板尺寸放大,翹曲問題也更加明顯。而為了因應(yīng)這些挑戰(zhàn),Rapidus招募了曾任職夏普(Sharp)等日本顯示器大廠的工程師,并于6月在日本千歲市的自有設(shè)施潔凈室內(nèi),展開原型制作。

至于面板級(jí)封裝(PLP),是指在大型矩形面板上處理芯片封裝,而非傳統(tǒng)的圓形晶圓?,F(xiàn)階段,面板級(jí)封裝主要用于某些汽車、電源、射頻(RF)與可穿戴裝置的扇出型面板級(jí)封裝(FOPLP),但尚未普及。

相較于晶圓級(jí)封裝,面板級(jí)封裝可提供更高效率的制造流程及更大尺寸封裝,但目前還沒有高階半導(dǎo)體封裝設(shè)備能在面板上實(shí)現(xiàn)類似前段制程。而用于AI 與HPC 封裝的面板級(jí)封裝技術(shù),英特爾與三星等大廠也仍處于開發(fā)階段。


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