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晶圓廠AMHS系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)替代道阻且長(zhǎng)

眾所周知，半導(dǎo)體芯片制造流程非常長(zhǎng)，需要用到數(shù)十種半導(dǎo)體設(shè)備，經(jīng)過(guò)數(shù)百道工序才能完成。其中，前道制造環(huán)節(jié)所涉及的光刻機(jī)屬于是高價(jià)值的核心設(shè)備，也是被眾多網(wǎng)友關(guān)注最多的設(shè)備。 然而，對(duì)于晶圓廠的制造產(chǎn)線來(lái)說(shuō)，光刻機(jī)之類的關(guān)鍵設(shè)備發(fā)生故障可能并不是最嚴(yán)重的問(wèn)題。畢竟這部分的制造流程中斷，短時(shí)間并不會(huì)影響到其后續(xù)制造流程。比如前面已經(jīng)完成了光刻的晶圓，可以繼續(xù)進(jìn)入到刻蝕、清洗、薄膜沉積等后續(xù)制造環(huán)節(jié)。 但是如果晶圓廠的“AMHS系統(tǒng)”發(fā)生故障甚至阻塞，則可能將使得全產(chǎn)線陷入癱瘓。 AMHS是一個(gè)比較“小眾”的行業(yè)，全稱是Automatic Material Handling System，即“自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)”。它不僅承載著晶圓、硅片、光罩等生產(chǎn)材料的自動(dòng)化運(yùn)輸任務(wù)，還通過(guò)精準(zhǔn)的物料管理和高效的物流調(diào)度，保證Fab廠的生產(chǎn)線持續(xù)高效運(yùn)轉(zhuǎn)。

發(fā)表于：10/12/2024