ASML有多重要,ASML生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)有多重要,相信每一個關(guān)注芯片產(chǎn)業(yè)的人都清楚。
在當(dāng)前情況之下,任何一家芯片企業(yè),如果工藝想進(jìn)入7nm及以下,ASML的EUV光刻機(jī)就必不可少,因為只有它能夠生產(chǎn)。
但ASML沒有完全的自主權(quán),他無法真正的決定將自己的EUV光刻機(jī)賣給誰,最終它還得聽美國的,比如ASML在2018年的時候,就想向中國出口最先進(jìn)的EUV光刻機(jī),最后美國不允許他賣,所以4年過去了,這臺EUV光刻機(jī)都沒交貨。
也正因為如此,所以中國一直在努力的研發(fā)自己的光刻機(jī),特別是EUV光刻機(jī),一旦中國廠商能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)了,那么ASML就徹底的沒有競爭力了。
但近日,阿斯麥(ASML)CEO溫彼得(Peter Wennink)表示?!爸袊惶赡塥毩?fù)制(replicate)出頂尖的光刻技術(shù)?!?/p>
不過這樣說完之后,他還是做了補(bǔ)充:“這也并不是絕對不可能,因為中國的物理定律和我們這里是一樣的”。
那么頂尖光刻機(jī)的難點到底在哪里?其實主要有三塊,一塊是曝光光源,也就是極紫外線的產(chǎn)生。
第二塊是對準(zhǔn)系統(tǒng),也就是如何將產(chǎn)生的紫外線收集起來,并使其具有方向性和精準(zhǔn)度。第三部分才是透光鏡頭等技術(shù)的整合。
而這三部分之中,前兩部分其實都不完全算是ASML的技術(shù),是ASML整合德國TRUMPF、德國的蔡司公司的產(chǎn)品和技術(shù)。第三塊才主要是ASML的技術(shù)。
但一臺EUV光刻機(jī),有超過10萬個零件,來自于上千家供應(yīng)鏈,如果中國想要獨立的制造出來,意味著需要上千家供應(yīng)鏈崛起,然后都達(dá)到頂尖水平,這個確實比較難。
不過溫彼得最后補(bǔ)充的話,也是留了余地的,那就是也并不是不可能,還是有可能的。畢竟溫彼得在去年4月份還說過,“出口管制將加快中國自主研發(fā),15年時間里他們將做出所有的東西”。
那么15年內(nèi),是中國研發(fā)出全球最頂尖的光刻機(jī),還是ASML放開出口?