12月25日消息，國產光刻機的發(fā)展牽動著很多人的心，每一個進展都很容易成為焦點，今天采購網站上赫然出現了上海微電子中標光刻機的消息。

在中國政府采購網上，編號zycgr22011903的采購公告中提到科技部以單一來源方式采購了一臺步進掃描式光刻機，中標金額約1.099億元，中標方是上海微電子公司，貨物型號為SSC800/10。

截至發(fā)稿時，這個中標公告還在，但詳情頁已經無法打開了。

上海微電子的SSC800型號之前沒有公布過，有印象的網友還記得前兩年網上流傳過SSA800的型號，號稱是一臺28nm光刻機，SSC800的型號跟這個系列有可能是同代技術產品。

不過嚴格來說28nm光刻機的說法是錯誤的，至少是不準確的，光刻機一次曝光的分辨率沒有這么高，SSC800也是110nm，套刻精度15nm。

2024年9月份，工信部公布過《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）》，提到的氟化氬光刻機有2種，光源都是193納米，但是浸潤式的型號分辨率≤65nm，套刻≤8nm，干法型號分辨率≤110nm，套刻精度≤25nm。

這次上海微電子中標的型號應該屬于干法光刻機，還不是大家預期中那種非常厲害的產品。