眾所周知,目前的芯片制造,基本上是基于光刻工藝,所以必須用到光刻機(jī)。
而光刻機(jī)又芯片工藝制程對(duì)應(yīng),如下力所示,比如G線、i線對(duì)應(yīng)的是350nm及以上的芯片工藝,而KrF對(duì)應(yīng)的是350-130nm。
ArF對(duì)應(yīng)的是130-65nm;而ArFi是ArF的改進(jìn)版,也稱之為浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī),對(duì)應(yīng)的是65-7nm;EUV是極紫外線光刻機(jī),對(duì)應(yīng)的是7nm以下。
目前,全球的光刻機(jī)市場(chǎng),主要被荷蘭的ASML壟斷,ASML一家就占了全球90%的份額。其中先進(jìn)的ArFi光刻機(jī),ASML占了95%,EUV光刻機(jī),ASML占了100%。
日本的尼康、佳能更多的只是ArF、KrF這些較為成熟的光刻機(jī),佳能沒有ArFi光刻機(jī),尼康沒有EUV光刻機(jī),而ArFi光刻機(jī),也非常少,主要市場(chǎng)還是ASML的。
而中國(guó)上海的微電子,水平還在ArF,工藝制程在90nm,所以國(guó)內(nèi)一直以來就是大量采購(gòu)ASML的光刻機(jī)。
美國(guó)之前是不允許ASML的EUV光刻機(jī)賣到中國(guó)大陸來,所以至今為止,中國(guó)大陸的晶圓廠,都沒有EUV光刻機(jī)。
后來,美國(guó)更想鎖死中國(guó)大陸的邏輯芯片工藝在14nm,于是又聯(lián)手日本、荷蘭,對(duì)光刻機(jī)進(jìn)一步限制。
其中日本表示所有的浸潤(rùn)式光刻機(jī),都不能出口到中國(guó)。而荷蘭的ASML則表示,所有的浸潤(rùn)式光刻機(jī)中,只有一臺(tái)NXT:1985Di能出口。
后來在2023年10月份,美國(guó)禁令再次升級(jí),ASML唯一一臺(tái)能夠出口的NXT:1985Di也被禁了,無法再出口到中國(guó)大陸來了。
不過ASML也稱,2023年他們還是拿到了許可證,所以2024年內(nèi),所有的浸潤(rùn)式光刻機(jī)都能夠賣到中國(guó)大陸來,但2024年開始,就不行了,所以目前ASML的浸潤(rùn)式DUV光刻,EUV光刻機(jī),正式斷供了。
所以我們看到,2023年內(nèi),中國(guó)大陸在大量的從ASML進(jìn)口光刻機(jī),數(shù)據(jù)顯示,1-11月份,中國(guó)大陸向ASML進(jìn)口的光刻機(jī)金額已經(jīng)超過了500億元,是2022年的3倍左右。
很明顯,中國(guó)大陸在趁著ASML還能出口浸潤(rùn)式光刻機(jī),瘋狂大采購(gòu),瘋狂囤貨,畢竟2024年開始,浸潤(rùn)式光刻機(jī)就買不到了。
按照業(yè)內(nèi)人士的預(yù)測(cè),今年從ASML采購(gòu)的光刻機(jī),理論上能夠支撐國(guó)內(nèi)3年左右的晶圓擴(kuò)產(chǎn)需求,但3年之后,甚至也可能不需要3年,可能就會(huì)又缺光刻機(jī)了,特別是缺尖端光刻機(jī)了,比如ArFi、EUV這兩種。
所以接下來,國(guó)產(chǎn)芯片想要突破,就需要國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)突破了,因?yàn)锳SML短時(shí)間之內(nèi),是拿不到出口許可證的,浸潤(rùn)式ArFi光刻機(jī)、EUV光刻機(jī)應(yīng)該只能靠我們自己,不要想著進(jìn)口了。