緩沖層材料對纖鋅礦結構GaN(0001)光電發(fā)射性能的影響研究
所屬分類:技術論文
上傳者:v895bv
文檔大小:280 K
標簽: GaN
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文檔介紹:利用金屬有機物化學氣相沉積技術在藍寶石襯底上異質(zhì)外延生長了GaN光電發(fā)射層,為降低GaN發(fā)射層和藍寶石襯底間的晶格失配與熱失配,在藍寶石襯底和GaN發(fā)射層間分別采用了AlN和AlxGa1-xN兩種不同的緩沖層材料。對具有不同緩沖層材料的兩種樣品進行了表面清洗與激活,在激活結束后利用多信息量測試系統(tǒng)分別測試了樣品的光譜響應,其最大量子效率分別為13%和20%,依據(jù)激活后光電陰極的光譜響應作為評估標準,可以得出,采用組份漸變AlxGa1-xN作為緩沖層激活出的陰極具有更高的光電發(fā)射性能,從而實現(xiàn)了GaN光電陰極結構的優(yōu)化設計。
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