8 月 5 日消息，綜合《日本經(jīng)濟(jì)新聞》《日刊工業(yè)新聞》兩家日媒報(bào)道，佳能在當(dāng)?shù)貢r(shí)間 7 月 30 日為一家位于栃木縣宇都宮市的半導(dǎo)體光刻設(shè)備工廠(chǎng)舉行開(kāi)業(yè)儀式，這也是佳能時(shí)隔 21 年開(kāi)設(shè)的首家新光刻機(jī)廠(chǎng)。
佳能宇都宮工廠(chǎng)總建筑面積為 67518 平方米，總投資額約 500 億日元（注：現(xiàn)匯率約合 24.37 億元人民幣），投產(chǎn)后佳能的光刻設(shè)備產(chǎn)能將相較 2021 年翻倍。該工廠(chǎng)將于今年 9 月啟動(dòng)最初生產(chǎn)，明后年補(bǔ)充鏡頭加工制造能力。
▲ 佳能 KrF 光刻機(jī)
佳能宇都宮工廠(chǎng)不制造 EUV、ArF(i) 等較為先進(jìn)的光刻設(shè)備，而是聚焦 i 線(xiàn)、KrF 等成熟光源平臺(tái)。AI 興起帶來(lái)的后端先進(jìn)封裝需求日益攀升，而這正是傳統(tǒng)光刻機(jī)的用武之地。此外，宇都宮工廠(chǎng)也將制造 NIL 納米壓印圖案化系統(tǒng)。
本站內(nèi)容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外，轉(zhuǎn)載內(nèi)容只為傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)站贊同其觀(guān)點(diǎn)。轉(zhuǎn)載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權(quán)歸版權(quán)所有權(quán)人所有。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內(nèi)容無(wú)法一一聯(lián)系確認(rèn)版權(quán)者。如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)和其它問(wèn)題，請(qǐng)及時(shí)通過(guò)電子郵件或電話(huà)通知我們，以便迅速采取適當(dāng)措施，避免給雙方造成不必要的經(jīng)濟(jì)損失。聯(lián)系電話(huà)：010-82306118；郵箱：aet@chinaaet.com。