1月15日，荷蘭政府通過官網(wǎng)宣布，將加強其先進半導體制造設備的出口管制措施，自2025年4月1日起，更多類型的設備和技術(shù)將受到國家授權(quán)的要求。例如，新政策將適用于可被用于先進半導體生產(chǎn)的特定測量和檢測設備。

這一新的授權(quán)要求是荷蘭國家出口管制措施自2023年9月1日實施以來第二次修訂。

荷蘭對外貿(mào)易和發(fā)展部長Reinette Klever于當?shù)貢r間周三在政府公報中表示：“我們認為保持對誰獲得什么技術(shù)的控制權(quán)是很重要的。政府密切監(jiān)控半導體制造技術(shù)。技術(shù)的發(fā)展可能使修改規(guī)則成為必要。我們注意到，這種特定設備不受控制的出口增加了安全風險。因此，今后需要出口許可?！北M管出口管制措施的擴大僅涵蓋數(shù)量非常有限的技術(shù)和貨物。

到目前為止，荷蘭頒布的國家出口管制措施涵蓋了半導體生產(chǎn)周期中的一些非常具體的技術(shù)，如光刻設備?，F(xiàn)在，用于制造過程中其他步驟的有限技術(shù)現(xiàn)在也受到授權(quán)要求的約束。

具體原因在于，荷蘭政府認為，與這些技術(shù)不受控制的出口相關的安全風險增加了。這些技術(shù)可以與其他國家的技術(shù)結(jié)合起來生產(chǎn)先進的半導體。這種先進的半導體可以反過來在先進的軍事應用中發(fā)揮關鍵作用。

根據(jù)荷蘭的國家授權(quán)要求，這些技術(shù)的出口現(xiàn)在也需要出口授權(quán)。荷蘭政府將根據(jù)具體情況決定是否授權(quán)。國家措施適用于從荷蘭向歐盟以外的所有目的地的出口。這并不構(gòu)成出口禁令。

“半導體行業(yè)是國際化的。荷蘭在這一領域發(fā)揮著獨特的作用。重要的是，我們不能不必要地擾亂芯片行業(yè)。因此，在擴大出口管制措施時，我們將極其謹慎地開展工作，”Reinette Klever說。

雖然荷蘭政府并未明確哪些荷蘭企業(yè)的哪些測量和檢測設備將會受到新的“出口管制”限制，不過從前面描述來看，應該指的是能夠被用于先進制程制造過程當中的前道量測設備。

預計ASML的相關量測設備的出口可能會受到影響。因為ASML除了是全球最大的光刻機廠商之外，其也有量測業(yè)務，包括電子束檢測方案和Yieldstar光學方案。

半導體檢測與量測設備市場現(xiàn)狀

從技術(shù)路線原理上看，半導體檢測和量測設備主要包括光學檢測技術(shù)、電子束檢測技術(shù)和 X 光量測技術(shù)，其中光學檢測技術(shù)空間占比較大。

根據(jù) VLSI Research和 QY Research 的報告，2020 年全球半導體檢測和量測設備市場中，應用光學檢測技術(shù)、電子束檢測技術(shù)及 X光量測技術(shù)的設備市場份額占比分別為 75.2%、18.7%及 2.2%。需要指出的是光學檢測工具比電子束檢測及 X光量測設備速度更快。

目前，全球半導體檢測和量測設備市場也呈現(xiàn)國外設備企業(yè)壟斷的格局， 全球范圍內(nèi)主要檢測和量測設備企業(yè)包括科磊半導體、應用材料、日立、雷泰光電、創(chuàng)新科技、ASML等。其中，科磊半導體一家獨大，根據(jù) VLSI Research 統(tǒng)計的2020年數(shù)據(jù)顯示，科磊當時在檢測與量測設備的合計市場份額占比為 50.8%，全球前五大公司合計市場份額占比超過了 82.4%， 均來自美國和日本，市場集中度較高。

同時，中國半導體檢測與量測設備市場中，設備的國產(chǎn)化率較低，市場主 要由幾家壟斷全球市場的國外企業(yè)占據(jù)主導地位，其中科磊半導體在中國市場 的占比仍然最高，領先于所有國內(nèi)外檢測和量測設備公司，并且得益于中國市 場規(guī)模近年來的高速增長，根據(jù) VLSI Research 的統(tǒng)計，科磊半導體在中國大陸市場近 5 年的銷售額復合增長率超過 35.7%，顯著高于其在全球約 13.2%的復合增長率。

根據(jù) VLSI Research 的統(tǒng)計，2020 年中國大陸半導體檢測與量測設備市場規(guī)模為 21.0 億美元，占全球半導體檢測和量測設備市場比例為 27.4%。2020年時，中國半導體檢測與量測設備市場中，設備的國產(chǎn)化率較低，市場主要由幾家壟斷全球市場的國外企業(yè)占據(jù)主導地位，其中科磊半導體在中國市場的占比最高，為 54.8%，其次依次為應用材料、日立，占比分別為 9.0%和 7.1%。這三家國外廠商在中國半導體檢測和量測市場的份額合計超過 70%，呈現(xiàn)高度壟斷的市場競爭格局。

隨著芯片集成度不斷提高，半導體量檢測設備對于芯片制造的良率尤為重要，量測設備的需求量將倍增。我國半導體檢測與量測設備市場規(guī)模也在持續(xù)增長，根據(jù)最新的數(shù)據(jù)顯示，2023年中國市場規(guī)劃已經(jīng)達到42.3 億美元規(guī)模。

在國內(nèi)自主可控的趨勢之下，本土檢測設備企業(yè)的技術(shù)也快速推進。中科飛測相關設備的量產(chǎn)型號已覆蓋2Xnm及以上工藝節(jié)點，1Xnm設備研發(fā)進展順利。此外，上海精測電子束檢測設備已經(jīng)進入 1Xnm 驗證，上海睿勵自主研發(fā)的光學薄膜量測設備也已進入 14nm 產(chǎn)線驗證。