繼近日美國拜登政府反對英特爾對其位于中國四川成都的硅晶圓廠進(jìn)行擴產(chǎn)一事后，韓國存儲器芯片大廠SK海力士恐怕也將面臨來自美國的壓力與限制。

11月18日，路透社報道，SK海力士希望引入ASML（阿斯麥）最先進(jìn)的EUV設(shè)備，升級其無錫芯片廠的設(shè)備產(chǎn)品，以提高量產(chǎn)能力，控制成本并加速生產(chǎn)效率。

盡管是由主體為韓國企業(yè)的SK海力士來引入光刻機設(shè)備，但由于會將先進(jìn)技術(shù)引入中國大陸，因此美國極力反對，理由是向中國運送此類先進(jìn)工具可能被用來加強中國的軍事力量。

眾所周知，SK海力士是全球最大的DRAM存儲芯片供應(yīng)商之一。從智能手機到數(shù)據(jù)中心，幾乎所有領(lǐng)域的電子設(shè)備都可以看到DRAM存儲芯片。顯然，美國寧愿芯片危機晚些化解，也不希望看到芯片制造商加大在中國的投資。

一名白宮高級官員拒絕就美國官員是否會允許SK Hynix將EUV工具帶到中國的問題發(fā)表具體評論。但這位官員表示，拜登政府仍專注于阻止中國利用美國及其盟國的技術(shù)來發(fā)展最先進(jìn)的半導(dǎo)體制造，以幫助中國實現(xiàn)軍事現(xiàn)代化。

公開資料顯示，SK海力士無錫工廠DRAM產(chǎn)能占SK海力士全部產(chǎn)能的50％，在全球總量中占據(jù)15％，可以說是全球電子產(chǎn)業(yè)鏈中占據(jù)重要地位，任何重大變化都可能對全球儲存芯片市場產(chǎn)生影響。

業(yè)內(nèi)人士分析認(rèn)為，未來2 ～ 3年內(nèi)，新型芯片在SK海力士的生產(chǎn)中所占的份額將會增加，因此需要EUV機器來控制成本和加快生產(chǎn)。但如今SK海力士無錫工廠升級遇阻，極有可能導(dǎo)致公司未來在與三星、美光競爭時處于劣勢地位。據(jù)悉，目前三星和美光也正在采用EUV設(shè)備，但并沒有未面臨像SK出口限制。

就跟之前英特爾在華擴產(chǎn)遇阻一樣，英特爾計劃在中國四川成都的硅晶圓廠進(jìn)行擴產(chǎn)，以此緩解當(dāng)前全球芯片供不應(yīng)求的境況。據(jù)悉，英特爾成都廠在2003年建設(shè)，在此之后，英特爾成都廠先后經(jīng)過了三次增資，截至到2014年11月，總投資額達(dá)6億美元。

其中，“成都芯片組業(yè)務(wù)”使用英特爾最先進(jìn)的封裝技術(shù)來組裝芯片組，“成都微處理器業(yè)務(wù)”則負(fù)責(zé)生產(chǎn)微處理器。目前成都工廠已經(jīng)是英特爾在全球最大的封裝生產(chǎn)基地，同時也是英特爾全球最大的芯片封裝測試中心之一，并已建設(shè)成為英特爾全球晶圓預(yù)處理三大工廠之一。

原計劃在2022年底上線的英特爾成都工廠生產(chǎn)計劃，由于英特爾目前正在美國申請政府提供資金和技術(shù)援助的原因，在與拜登政府協(xié)商后，目前英特爾這一計劃已經(jīng)被美國拜登政府以危及“國家安全”的理由拒絕。但反觀另一方面，英特爾又被美國要求希望其加大在美國本土的晶圓廠建設(shè)，為此英特爾一直在美國申請520億美元的芯片研發(fā)和制造資金。

光刻機的話題一直不缺乏熱度

就在最近上海進(jìn)博會上，ASML全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波在最近的采訪中表示，對中國出口集成電路光刻機持開放態(tài)度，在法律框架下全力支持。同時明確表明，目前ASML除了EUV光刻機無法對中國客戶供貨外，其他產(chǎn)品都可以正常供貨。也就是說，EUV以下的技術(shù)，包括DUV光刻機在內(nèi)都不受其他限制。

從ASML的這次表態(tài)來看，EUV光刻機依然遲遲難見希望。眾所周知，中芯國際在三年前曾花費1．5億美元向ASML訂購了一臺EUV光刻機，原本應(yīng)該于2019年初就交貨，但由于美方阻撓，ASML拿不到許可證，至少未交付。

EUV拿不到手，拿DUV總可以吧？在今年3月初，中芯國際宣布和ASML簽訂了延長采購協(xié)議至今年年底，協(xié)議總價為12億美元。按照產(chǎn)品金額來算，至少可以購買幾十臺DUV光刻機。

對于中芯國際而言，公司今年分別在北京、上海、深圳增資加碼擴大產(chǎn)能，DUV光刻機無疑成為了最為重要的設(shè)備之一。但新的問題出現(xiàn)了，據(jù)臺媒報道，目前中芯國際跟ASML續(xù)簽的這個訂單的DUV光刻機還沒有到貨。并且隨著采購協(xié)議的最后期限臨近，恐怕這筆訂單將要跳票，從而危及中芯國際未來的產(chǎn)能計劃。

根據(jù)沈波的說法，DUV光刻機應(yīng)該是不受限制的，而遲遲無法供貨的原因是，由于全球缺芯導(dǎo)致的光刻機需求增大，雖然ASML已經(jīng)在盡力擴大產(chǎn)能，但依然不能滿足用戶需求。并且由于涉及的幾千家配套供應(yīng)商只能提供85％的零部件，因此有的產(chǎn)品交付期甚至要翻倍。

這意味著光刻機的訂單太多，ASML雖能擴大產(chǎn)能，但供應(yīng)商的配套部件跟不上，導(dǎo)致光刻機交貨期也得延長。另一方面，此前中芯國際宣布與ASML達(dá)成批量設(shè)備采購延長協(xié)議之后，美國共和黨眾議員麥考爾和魯比奧還曾聯(lián)合致信美國商務(wù)部長雷蒙多稱，基于中芯國際協(xié)助中國大陸追求“取代美國在全球的領(lǐng)先地位”方面發(fā)揮的作用，為保護(hù)美國的國家安全利益，要求拜登政府勸說荷蘭政府阻止ASML出售DUV光刻機賣給中芯國際，并且還須與盟國達(dá)成協(xié)議，統(tǒng)一出口限制和許可權(quán)，限制類似DUV和EUV光刻等技術(shù)設(shè)備的出售。顯然，訂單積壓也許是中芯國際訂購的DUV未能如期交貨的原因之一，但背后又是否還存在其他的阻礙因素也不好說

任重而道遠(yuǎn)：傳國內(nèi)光刻機驗收未過

近日有傳聞稱：“上海微電子的28nm光刻（傳聞型號為SSA800／10W）機沒有通過02專項的國家驗收，無法在2021年底完成，28nm光刻機卡住了‘02專項’。”此消息在業(yè)內(nèi)不斷發(fā)酵引發(fā)熱議，并未得到官方回應(yīng)。

顯然，在目前被國外巨頭掌握了先進(jìn)光刻機技術(shù)的前提下，僅靠我們自己就像研發(fā)出可靠的光刻機設(shè)備，還存在一定的困難。

要知道，ASML先進(jìn)的EUV光刻機擁有超過10萬個零件，涉及到上游5000多家供應(yīng)商。從2015年到2020年底，ASML一共也就交付了100臺EUV光刻機，這些零部件極為復(fù)雜，對誤差和穩(wěn)定性的要求極高，并且這些零件幾乎均屬于定制，90％零件采用的是世界上最先進(jìn)技術(shù)，85％的零部件是和供應(yīng)鏈共同研發(fā)。且更難的是調(diào)試、維護(hù)，設(shè)備中的一些接口需要工程師用高精度機械進(jìn)行打磨，尺寸調(diào)整次數(shù)更可能高達(dá)百萬次以上，成本方面更不用說了，每臺都是以億美元為單位來計算的，因此光刻機研發(fā)制造的難度可想而知。