《電子技術(shù)應(yīng)用》
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美國發(fā)明了光刻機,為何最后是ASML獨霸天下

2021-11-15
來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
關(guān)鍵詞: 光刻機 ASML

說起芯片制造過程中,最重要的設(shè)備是什么,相信絕大多數(shù)人都會說是光刻機。

從光刻機的全球格局來看,荷蘭的ASML是獨霸天下,EUV光刻機只有它能夠生產(chǎn),而日本的佳能、尼康早已淪為二流,中國的上海微電子落后了十多年,在奮起追趕。

而美國雖然在芯片領(lǐng)域占了全球近50%的市場,卻沒有光刻機廠商。

事實上,光刻機最早是由美國發(fā)明的,那么問題就來了,為何發(fā)明了光刻機,美國卻自己沒有光刻機,最后是ASML稱王?

光刻機的原型,最早出現(xiàn)在上世紀的五、六十年代,那時候貝爾實驗室就已經(jīng)搞出了這種東西,但一直沒有重視,畢竟當時的芯片制造并不依賴光刻技術(shù)。

再加上研究這東西,成本太高,且在當時對芯片制造,也沒太多有價值的作用,于是美國廠商也不重視它。

后來在七、八十的年代,日本半導體高速發(fā)展,日本的佳能、尼康在光刻機領(lǐng)域崛起,于是美國從事光刻業(yè)務(wù)的相關(guān)企業(yè),基本就沒落了,后來美國搞光刻機的企業(yè)Cobilt甚至被賣掉了。

后來英特爾與歐洲公司 Censor 合作,想要搞一臺類似于光刻機這樣的新東西出來,然而嘗試失敗了,最終整個光刻機市場被尼康、佳能占據(jù)。

后來到了2004年,臺積電提出了浸潤式光刻方案,當時的光刻機巨頭尼康、佳能并不看好,反而小企業(yè)ASML決定試一試,于是一試成功,僅5年時間,就成為全球光刻機巨頭,把尼康、佳能甩到了身后。

后來ASML擔心自己被制約,也擔心其它芯片廠商扶持另外的光刻機企業(yè),威脅到自己的地位,于是想了一招,讓intel、臺積電、三星等成為了自己的股東。

同時ASML還加入了英特爾牽頭搞的前沿組織EUV LLC,成功站隊,讓美國對ASML也不再擔心,于是也不限制ASML的成長。

而美國也覺得ASML是受自己控制的,讓他發(fā)展也沒什么,也會被自己所用,再加上搞光刻機也確實很難,沒什么企業(yè)愿意去搞,反正找ASML買就行了,所以導致美國沒有光刻機廠商。




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