《電子技術(shù)應(yīng)用》
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基于GaN和SiC的功率半導(dǎo)體,未來將推動電子封裝集成和應(yīng)用

2020-12-20
來源:電子發(fā)燒友

在新世紀(jì)伊始,氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC)已經(jīng)達(dá)到了足夠的成熟度,并獲得了足夠的吸引力,將其他潛在的替代品拋在腦后,引起全球工業(yè)制造商的足夠重視。

在接下來的幾年里,重點(diǎn)是研究與材料相關(guān)的缺陷,為新材料開發(fā)一個定制的設(shè)計(jì)、工藝和測試基礎(chǔ)設(shè)施,并建立一個某種程度上可重復(fù)的無源(二極管)器件和幾個有源器件(MOSFET、HEMT、MESFET、JFET或BJT),這些器件開始進(jìn)入演示階段并能夠證明寬帶隙材料帶來的無可爭辯的優(yōu)勢。寬帶隙材料可以使半導(dǎo)體的工作頻率降低10倍,從而使電路的工作頻率降低10倍。

對于這兩種材料,仍有一些挑戰(zhàn)有待解決:

GaN非常適合低功率和中等功率,主要是消費(fèi)類應(yīng)用,似乎允許高度的單片集成一個或多個功率開關(guān)并與驅(qū)動電路共同封裝。有可能在在最先進(jìn)的8-12“混合信號晶圓制造廠制造功率轉(zhuǎn)換IC。

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然而,由于鎵被認(rèn)為是一種稀有、無毒的金屬,在硅生產(chǎn)設(shè)施中作為受主可能會產(chǎn)生副作用,因此對許多制造工藝步驟(如干法蝕刻、清洗或高溫工藝)的嚴(yán)格分離仍然是一項(xiàng)關(guān)鍵要求。

此外,GaN是以MO-CVD外延工藝在SiC等晶格不匹配的載流子上或更大的晶圓直徑(通常甚至在硅上)上沉積,這會引起薄膜應(yīng)力和晶體缺陷,這主要導(dǎo)致器件不穩(wěn)定,偶爾會導(dǎo)致災(zāi)難性的故障。

GaN功率器件是典型的橫向HEMT器件,它利用源極和漏極之間固有的二維電子氣通道進(jìn)行導(dǎo)通供電。

另一方面,地殼中含有豐富的硅元素,其中30%是由硅組成的。工業(yè)規(guī)模的單晶碳化硅錠的生長是一種成熟的、可利用的資源。最近,先驅(qū)者已經(jīng)開始評估8英寸晶圓,有希望在未來五(5)年內(nèi),碳化硅制造將擴(kuò)展到8英寸晶圓制造線。

SiC肖特基二極管和SiC MOSFET在市場上的廣泛應(yīng)用為降低高質(zhì)量襯底、SiC外延和制造工藝的制造成本提供了所需的縮放效應(yīng)。通過視覺和/或電應(yīng)力測試消除晶體缺陷,這對較大尺寸芯片的產(chǎn)量有較大的影響。此外,還有一些挑戰(zhàn),歸因于低溝道遷移率,這使得SiC fet在100-600V范圍內(nèi)無法與硅FET競爭。

市場領(lǐng)導(dǎo)者已經(jīng)意識到垂直供應(yīng)鏈對于制造GaN和SiC產(chǎn)品的重要性。需要有專業(yè)基礎(chǔ)的制造能力,包括晶體生長、晶圓和拋光、外延、器件制造和封裝專業(yè)知識,包括優(yōu)化的模塊和封裝,考慮到快速瞬態(tài)和熱性能或?qū)拵镀骷?WBG)的局限性,考慮最低的成本,最高的產(chǎn)量和可靠性。

隨著廣泛和有競爭力的產(chǎn)品組合和全球供應(yīng)鏈的建立,新的焦點(diǎn)正在轉(zhuǎn)向產(chǎn)品定制,以實(shí)現(xiàn)改變游戲規(guī)則的應(yīng)用程序。硅二極管、igbt和超結(jié)mosfet的替代品為WBG技術(shù)的市場做好了準(zhǔn)備。

在根據(jù)選擇性拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)調(diào)整電氣性能以繼續(xù)提高功率效率、擴(kuò)大驅(qū)動范圍、減少重量、尺寸和組件數(shù)量,并在工業(yè)、汽車和消費(fèi)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)新穎、突破性的最終應(yīng)用,還有很多潛力。

實(shí)現(xiàn)循環(huán)快速設(shè)計(jì)的一個關(guān)鍵因素是精確的spice模型,包括熱性能和校準(zhǔn)封裝寄生體,可用于幾乎所有流行的模擬器平臺,以及快速采樣支持、應(yīng)用說明、定制的SiC和GaN驅(qū)動IC以及全球支持基礎(chǔ)設(shè)施。

接下來的十(10)年將見證另一次歷史性的變革,基于GaN和SiC的功率半導(dǎo)體將推動電力電子封裝集成和應(yīng)用的根本性發(fā)明。

在這一過程中,硅器件將幾乎從功率開關(guān)節(jié)點(diǎn)上消失。盡管如此,他們?nèi)詫⒗^續(xù)在高度集成的功率集成電路和低電壓環(huán)境中尋求生存。


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