在今天開幕的科技創(chuàng)新論壇會議上,臺積電研發(fā)負責人、技術研究副總經理黃漢森除了探討未來半導體工藝延續(xù)到0.1nm的可能之外,還宣布了一個重要消息——臺積電已經啟動2nm工藝研發(fā),預計四年后問世。
在臺積電目前的工藝規(guī)劃中,7nm工藝去年已經量產,7nm+首次引入EUV極紫外光刻技術,目前已經投入量產;
6nm只是7nm的一個升級版,明年第一季度試產;
5nm全面導入EUV極紫外光刻,已經開始風險性試產,明年底之前量產,蘋果A14、AMD五代銳龍(Zen 4都有望采納),之后還有個增強版的N5P工藝。
3nm有望在2021年試產、2022年量產。
在3nm之后就要進入2nm工藝了,實際上臺積電今年6月份就宣布研發(fā)2nm工藝了,工廠設置在位于臺灣新竹的南方科技園,預計2024年投入生產。
按照臺積電給出的指標,2nm工藝是一個重要節(jié)點,Metal Track(金屬單元高度)和3nm一樣維持在5x,同時Gate Pitch(晶體管柵極間距)縮小到30nm,Metal Pitch(金屬間距)縮小到20nm,相比于3nm都小了23%。
不過臺積電沒有透露2nm工藝所需要的技術和材料,性能、功耗等指標更是無從談起。
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