5 月 28 日消息，臺積電負責業(yè)務開發(fā)及全球業(yè)務的資深副總經(jīng)理兼副聯(lián)席 COO 張曉強在荷蘭阿姆斯特丹當?shù)貢r間昨日舉行的公司 2025 年技術(shù)論壇歐洲場上表示，臺積電暫無為先進制程導入 High NA EUV 的必要。

張曉強表示，臺積電新近公布的 1.4nm 級邏輯制程 A14 即使沒有導入 High NA EUV 圖案化設備，提升幅度也相當可觀。

他提到，臺積電的技術(shù)團隊正繼續(xù)努力通過獲取工藝收放效益充分拓展 Low NA EUV 可深入的制程水平，只要這一路線仍能取得進展，那就不必在量產(chǎn)中使用昂貴的 ASML High NA EUV 系統(tǒng)。

在三大先進制程企業(yè)中對 High NA EUV 技術(shù)最為激進的英特爾對實際生產(chǎn)中應用 High NA 也持審慎態(tài)度，與臺積電 A14 同等名義制程的 Intel 14A 就有使用或不使用 High NA 的兩種選項。