美國對大陸內(nèi)存廠商福建晉華發(fā)布禁售令，重創(chuàng)中國的半導體美夢，中國當局或許打算另辟蹊徑，強化半導體產(chǎn)業(yè)。近來韓國內(nèi)存大廠SK海力士(SK Hynix)，在中國無錫廠引進了DUV(deep ultraviolet、深紫外光)光刻設備。韓媒揣測，中國對韓國內(nèi)存業(yè)者啟動反壟斷調(diào)查，韓廠或許被迫引進高科技設備討好北京當局，以免慘遭修理。

　　韓媒BusinessKorea 2日報導，上個月SK海力士在中國無錫廠舉行DUV設備的導入典禮，將用來生產(chǎn)DRAM。新設備是荷蘭半導體光刻設備商艾司摩爾(ASML)的“NXT2000i”，一臺要價數(shù)千萬到數(shù)億美元之間，這是ASML NXT2000i首次引進中國。ASML不向中國販售最新設備。

　　DUV沒有EUV(極紫外光)先進，但是ASML說，裝設在無錫廠的NXT2000i是最新機型，能把曝光過程的錯誤減到最低，并且能和最先進的EUV設備NXE3400B共同使用、創(chuàng)造綜效。外界猜測，SK海力士未來也許有意在無錫廠導入EUV設備。不過SK海力士高層表示，目前EUV設備主要用于生產(chǎn)系統(tǒng)半導體，在無錫廠采用EUV生產(chǎn)內(nèi)存還言之過早。

　　有些分析師指出，SK海力士在大陸引入高科技設備，與中國當局的反壟斷調(diào)查有關。去年底，北京對三星電子、SK海力士、美光進行反壟斷調(diào)查并表示出現(xiàn)實質(zhì)進展，最多可能處以80億美元的罰款。不只SK海力士害怕遭天價罰金，三星也緊張。分析師說，三星電子關閉了天津的智能手機工廠，但是為了和中國政府維持良好關系，三星集團的Samsung SDI和三星電機(Samsung Electro-Mechanics)都加強對中國投資。