《電子技術(shù)應(yīng)用》
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中國(guó)首條8英寸硅基氮化鎵生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)

2017-11-13
關(guān)鍵詞: 英諾賽科 氮化鎵 芯片 晶圓

英諾賽科(珠海)科技有限公司舉行8英寸硅基氮化鎵通線投產(chǎn)儀式。據(jù)悉,這是中國(guó)首條實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的8英寸硅基氮化鎵生產(chǎn)線。由于高溫環(huán)境下生長(zhǎng)的氮化鎵薄膜冷卻時(shí)受熱錯(cuò)配應(yīng)力的驅(qū)動(dòng)下,容易發(fā)生破裂或翹曲,成為硅基氮化鎵大英寸化的主要障礙,英諾賽科采取獨(dú)有技術(shù)解決了這一挑戰(zhàn),將硅基氮化鎵晶圓尺寸推進(jìn)到8英寸。

英諾賽科董事長(zhǎng)駱薇薇表示:“經(jīng)過(guò)2年的努力我們終于建成中國(guó)首條8英寸硅基氮化鎵外延與芯片生產(chǎn)線,并成功量產(chǎn),添補(bǔ)了我國(guó)在這一領(lǐng)域的空白。這既是一個(gè)里程碑也是一個(gè)新的起點(diǎn)。公司將繼續(xù)在技術(shù)前沿上推進(jìn),把握行業(yè)發(fā)展趨勢(shì),在應(yīng)用領(lǐng)域上不斷開(kāi)拓,在市場(chǎng)上與多方合作,將公司建成行業(yè)內(nèi)最具影響力的企業(yè)?!?/p>

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英諾賽科總經(jīng)理孫在亨表示:“氮化鎵又被稱(chēng)做寬禁帶半導(dǎo)體,是當(dāng)今世界上最具潛力的半導(dǎo)體材料之一。中國(guó)是世界上最大的半導(dǎo)體產(chǎn)品市場(chǎng),同時(shí)也是產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展最迅速?lài)?guó)家。氮化鎵產(chǎn)業(yè)將帶來(lái)巨大的創(chuàng)新發(fā)展機(jī)遇。”

英諾賽科是2015年12月由海歸團(tuán)隊(duì)發(fā)起創(chuàng)辦,從事寬禁帶半導(dǎo)體電力電子器件的研發(fā)與生產(chǎn),一期項(xiàng)目位于珠海市國(guó)家級(jí)高新區(qū),已完成投資10.9億元,建設(shè)8英寸增強(qiáng)型硅基氮化鎵外延與芯片大規(guī)模量產(chǎn)生產(chǎn)線。公司商業(yè)模式將采用IDM全產(chǎn)業(yè)鏈模式,打造集研發(fā)、設(shè)計(jì)、外延生長(zhǎng)、芯片制造、測(cè)試于一體的生產(chǎn)平臺(tái),主要產(chǎn)品包括100V-650V8英寸硅基氮化鎵外延片、100V-650V氮化鎵功率器件、氮化鎵集成電路。

硅氮化鎵技術(shù)能夠提高功率密度和能效,同時(shí)縮小器件尺寸,因此,非常適合用于電視機(jī)電源和D類(lèi)音頻放大器等消費(fèi)電子產(chǎn)品,服務(wù)器和電信設(shè)備中使用的SMPS。有報(bào)告稱(chēng),面向功率半導(dǎo)體的硅基板GaN技術(shù)市場(chǎng),將以高達(dá)50%以上的年均復(fù)合增長(zhǎng)率(CAGR)成長(zhǎng)。到2023年,其市場(chǎng)容量將從2014年的1,500萬(wàn)美元,增至8億美元。


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