硅片是生產(chǎn)集成電路的主要原材料。硅片尺寸越大則每片硅片上可以制造的芯片數(shù)量就越多,從而制造成本就越低。硅片尺寸的擴(kuò)大和芯片線寬的減小是集成電路行業(yè)技術(shù)進(jìn)步的兩條主線。現(xiàn)在12 寸硅片的出貨量占比超過60%,是目前主流的硅片尺寸。
半導(dǎo)體硅片通常釆用查克洛斯法(CZ Method)將高純度的多晶硅錠拉成不同電阻率的硅單晶錠。硅片加工過程要經(jīng)過晶體定向→外園滾磨→加工主、副參考面→切片→倒角→熱處理→研磨→化學(xué)腐蝕→拋光→清洗→檢測→包裝等工序。
根據(jù)硅純度的不同要求,可分為太陽能等級99.9999%,6個“9”純度,以及半導(dǎo)體等級11個“9”。本文只涉及半導(dǎo)體用的硅片。
硅晶園
在半導(dǎo)體制造業(yè)中廣泛使用各種不同尺寸與規(guī)格的硅片,通常包括4英寸、5英寸、6英寸、8英寸及12英寸,它們的基本規(guī)格如下表所示。
來源:半導(dǎo)體制程技術(shù)導(dǎo)論;2001年肖宏P(guān)102
按IC Insight資料,2015年底全球半導(dǎo)體安裝產(chǎn)能總計月產(chǎn)1635.3萬片(8英寸計)。按地區(qū)分布,臺灣地區(qū)依月產(chǎn)354.7萬片,市占率達(dá)21.7%,居全球首位;韓國依月產(chǎn)335.7萬片,市占率20.5%,居第二;日本依月產(chǎn)282.4萬片,市占率17.3%,居第三;北美依月產(chǎn)232萬片,市占率14.2%,居第四;中國依月產(chǎn)159.1萬片,市占率9.7%,居第五位;歐洲依月產(chǎn)104.6萬片,市占率6.4%,居第六位;其它地區(qū)市占率10.2%。
由于缺乏統(tǒng)一定義,硅片尺寸過渡的時間無法達(dá)成共識,其中有一種觀點認(rèn)為累積硅片的出貨量超過100萬片時,表示該進(jìn)入硅片尺寸時代。實際上如英特爾等總是領(lǐng)先其它業(yè)者,首先進(jìn)入更大尺寸的硅片。
現(xiàn)據(jù)SEMI 2006年的說法,將全球硅片尺寸的過渡時間表列于如下:4英寸硅片于1986年;6英寸于1992年;8英寸于1997年;12英寸于2005年。但如果依英特爾的芯片生產(chǎn)線建設(shè)(見intel’s all fab list),它的3英寸生產(chǎn)線是建于1972年的FAB2 ;4英寸生產(chǎn)線是建于1973年的FAB4;6英寸生產(chǎn)線是建于1978年的FAB5;8英寸生產(chǎn)線是建于1992年的FAB15;第一條12英寸生產(chǎn)線建于2002年FAB12( in Hillsboro),與IBM同步。
業(yè)界較為公認(rèn)的說法,1980年代是4英寸硅片占主流,1990年代是6英寸占主流,2000年代是8英寸占主流,到2002年時英特爾與IBM首先建12英寸生產(chǎn)線,到2005年己占20%,到2008年占30%,而那時8英寸己下降至54%,6英寸更下降至11%。
多晶硅的原材料是高純度的石英,目前已知的全世界儲量中,中國量最多、品質(zhì)最好,但是我國之前卻是將石英礦沙在高溫下還原成金屬硅后低價外銷,再高價進(jìn)口多晶硅,并且石英還原成金屬硅的階段是高度污染的。好在近些年光伏產(chǎn)業(yè)帶動了國內(nèi)多晶硅產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,目前太陽能等級的多晶硅,我國的產(chǎn)量已經(jīng)是全球第一。
截止2014年,全球300mm硅片實際出片量已占各種硅片出片量的65%左右,平均約450萬片/月。2015年第1至第2季度每月平均需求量約500萬片。
現(xiàn)在300mm半導(dǎo)體級的硅片,國內(nèi)一個月需求量約45-50萬片,而目前國內(nèi)的產(chǎn)量幾乎為零,這是產(chǎn)業(yè)鏈上最為緊缺的一環(huán),預(yù)計未來的5年內(nèi)僅300mm硅片中國的需求量要超過月產(chǎn)100萬片以上。而從硅片的市場供應(yīng),全球日本生產(chǎn)的最多,日本信越和SUMCO,這兩家的產(chǎn)能和實際供應(yīng)量總和占全球2/3以上。300mm半導(dǎo)體級的大硅片,不僅是產(chǎn)業(yè)鏈缺失的重要一環(huán),也是國家安全戰(zhàn)略發(fā)展的需要。
在2012至2013年科技部的02專項中,已有大硅片方面項目的經(jīng)費準(zhǔn)備,但遲遲不能立項,原因就是雖然有國內(nèi)研發(fā)機(jī)構(gòu)曾經(jīng)做過12寸大硅片,研發(fā)成功,但由于良率不高還不能量產(chǎn)。
2014年,科技部02專項的領(lǐng)導(dǎo)下定決心要攻克12英寸硅片難關(guān)。要求是不僅研發(fā)成功,更要量產(chǎn)成功。量產(chǎn)的概念不是幾千片,是每個月10萬片以上交付客戶,連續(xù)6個月交付客戶10萬片以上,才算完成項目。
全球硅晶園片2016年供應(yīng)商排名如下:日本信越半導(dǎo)體第一位,占比27%;日本勝高科技(SUMCO)占比26%,居第二;環(huán)球晶園占比17%,排第三;Siltronic占比13%,排第四;LG占比9%,排第五;SunEdison占比10%;其它8%。
2016全球硅晶片排名
由國家立項的12英寸硅片項目己經(jīng)啟動,叫上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司,成立于2014年6月,坐落于臨港重裝備區(qū)內(nèi),占地150畝,總投資68億元,一期總投資23億元。新昇半導(dǎo)體第一期目標(biāo)致力于在我國研究、開發(fā)適用于40-28nm節(jié)點的300mm硅單晶生長、硅片加工、外延片制備、硅片分析檢測等硅片產(chǎn)業(yè)化成套量產(chǎn)工藝;建設(shè)300毫米半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)基地,實現(xiàn)300毫米半導(dǎo)體硅片的國產(chǎn)化,充分滿足我國極大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)對硅襯底基礎(chǔ)材料的迫切要求。新昇半導(dǎo)體一期投入后,預(yù)計月產(chǎn)能為15萬片12英寸和5萬片8英寸硅片,最終將形成300mm硅片60萬片/月的產(chǎn)能,年產(chǎn)值達(dá)到60億元。屆時新昇將與世界一流技術(shù)接軌,達(dá)到世界先進(jìn)水平。
全球硅片出貨量與銷售額:2007時為8661MSI(百萬平方英寸),銷售額達(dá)121億美元;到2010年時為9043MSI,銷售額為97億美元,以及2015年為10434MSI,銷售額為72億美元,反映全球的硅片出貨量增長緩慢,而且銷售額逐年下降(價格下跌)。
450毫米硅片
為了加速發(fā)展450mm(18英寸)晶園,全球五大半導(dǎo)體業(yè)者IBM、英特爾、三星電子、臺積電和GlobalFoundries在2011年共同成立全球450mm聯(lián)盟,簡稱G450C,并于美國紐約州Albany設(shè)立450mm晶園技術(shù)研發(fā)中心。
450mm聯(lián)盟成立后,18寸晶園世代的技術(shù)和機(jī)臺設(shè)備有不少方針已開始確立,是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁入18寸晶園世代的重要里程碑,目的是推動 450mm 硅片技術(shù)的發(fā)展。
實際上在2012年,除G450C 聯(lián)盟之外,還誕生了EEMI450 聯(lián)盟 ( 歐洲 ) 和 Metro450 聯(lián)盟 ( 以 色列 ) ,共計三個聯(lián)盟來推動450毫米硅片的進(jìn)展,目標(biāo)是可互用研究結(jié)果,減少重復(fù)性實驗。
除此之外,半導(dǎo)體制造技術(shù)戰(zhàn)略聯(lián)盟 (SEMATECH) 和國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會 (SEMI) 等也在推動全球產(chǎn)業(yè)鏈的合作研發(fā),因為硅片直徑的增大將牽動整個產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)生很大的改變。
然而,450毫米硅片的進(jìn)程自開始就有不同的看法,其中最為關(guān)鍵是半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,如應(yīng)用材料公司等缺乏積極性,理由是450毫米設(shè)備不是簡單地把腔體的直徑放大,而是要從根本上對于設(shè)備進(jìn)行重新設(shè)計,因此面臨著經(jīng)費與人力等問題,更多的擔(dān)心是未來的市場,能否有足夠的投資回報率。所以關(guān)于450毫米硅片的聲浪是此起彼伏,盡管英特爾、三星及臺積電等大廠信心滿滿,實際上是雷聲大雨點小。
自2014年開始G450C聯(lián)盟出現(xiàn)暫緩研發(fā)450mm硅片的跡象。盡管如臺積電等曾宣布將于2018至2019年期間會采用450毫米硅片,然而依目前半導(dǎo)體業(yè)的態(tài)勢觀察,現(xiàn)在還很難取得實質(zhì)性的進(jìn)展。
采用450毫米硅片,如同前幾次硅片增大直徑一樣,關(guān)鍵在于從經(jīng)濟(jì)上看投入產(chǎn)出比高,產(chǎn)業(yè)鏈上廠商確實有利可圖,包括芯片制造商及設(shè)備供應(yīng)商在內(nèi)都能受益;另一個是需要有擴(kuò)大產(chǎn)能的迫切性,所以產(chǎn)業(yè)鏈在等待未來市場再次高潮的到來。
不管如何,450毫米硅片對于全球半導(dǎo)體業(yè)仍是一個懸而未決的課題。
來源:SEMI,數(shù)據(jù)僅為半導(dǎo)體,太陽能硅片未計入