MEMS熱式氣體流量傳感器設(shè)計
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：wwei
文檔大?。?span>4043 K
標簽： 流量檢測 COMSOL仿真 熱式流量傳感器
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文檔介紹：在工業(yè)生產(chǎn)過程中提供準確的流量檢測信息對于系統(tǒng)性能的提升有著重要的作用，基于MEMS技術(shù)制造出的熱式流量傳感器通過采集溫差變化來反映管道內(nèi)流量變化，具有體積小、精度高、微流量段靈敏的特點。介紹了熱式流量傳感器的熱分布模型，利用COMSOL Multiphysics軟件對管道內(nèi)的流量傳感器進行電場、流場和熱場的耦合仿真，確定傳感器芯片的關(guān)鍵參數(shù)。采用MEMS加工工藝制造流量傳感器芯片，搭建標定測試平臺，對傳感器芯片進行封裝測試。傳感器測量范圍達到300 SLM，數(shù)字輸出準確度等級達到1.0，模擬輸出準確度等級達到1.5。
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