高集成度多标记光刻版版图的快速处理技术
所屬分類：技术论文
上傳者：aetmagazine
文檔大小：569 K
標簽： 微光刻 高集成度 快速排布
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文檔介紹：介绍了一种高集成度多标记光刻版版图的快速处理技术。其中包括以下四个模块： chip芯片排布模块、标记排布模块、芯粒数统计模块和自动版号模块。在版图编辑工具L-edit中使用这些模块可以大幅提升微光刻中的高集成度多标记光刻版版图的排布效率并提高准确度，从而有效缩短掩膜版的生产周期。
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