熱場(chǎng)發(fā)射電子槍在電子束光刻機(jī)中的應(yīng)用研究 | |
所屬分類(lèi):技術(shù)論文 | |
上傳者:aetmagazine | |
文檔大?。?span>667 K | |
標(biāo)簽: 熱場(chǎng)發(fā)射電子槍 電子束束流 電子束束斑 | |
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文檔介紹:介紹了電子槍的分類(lèi)與特點(diǎn),重點(diǎn)介紹了熱場(chǎng)發(fā)射電子槍的原理、結(jié)構(gòu)、特點(diǎn)及在電子束光刻機(jī)中的應(yīng)用。闡述了電子束光刻機(jī)束流與電子槍提取極電流之間關(guān)系,并分析了熱場(chǎng)發(fā)射電子槍各個(gè)參數(shù)對(duì)提取極電流的影響。研究了熱場(chǎng)發(fā)射電子槍的調(diào)校對(duì)電子束光刻工藝的影響,并通過(guò)實(shí)驗(yàn)得出束斑與束流的關(guān)系。最后通過(guò)調(diào)整電子槍參數(shù),制備了不同的光刻圖形,滿足了不同的光刻工藝要求,驗(yàn)證了分析的結(jié)論。 | |
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