基于DSP增益可控的光刻机测高电路的设计研究
所屬分類：技术论文
上傳者：aetmagazine
文檔大小：491 K
標(biāo)簽： 激光三角法 线阵CCD 数字信号处理器
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文檔介紹：介绍了激光三角法高度测量技术和基于数字信号处理器DSP与线阵CCD的激光高度测量系统。采用比例恒流源和镜像恒流源组合，设计了输出功率稳定可调的激光二极管驱动电路和线阵CCD的驱动电路，借助DSP定时器周期调节灵活的优点，方便地调节光积分时间来提高信号质量。针对光刻工艺中不同的测量对象表面的光学特征，自动进行激光二极管增益控制和光积分时间调节，提高测量的适应性和测量效率。
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