射頻等離子工藝設(shè)備中的自動阻抗匹配技術(shù)
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：aetmagazine
文檔大?。?span>462 K
標(biāo)簽： 等離子 自動阻抗匹配 射頻
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文檔介紹：介紹了射頻阻抗匹配的基本原理和常見的匹配網(wǎng)絡(luò)類型，以串并聯(lián)電容組成的Г型匹配網(wǎng)絡(luò)為例，利用史密斯圓圖，闡述了阻抗匹配的工作原理。介紹射頻等離子技術(shù)在微電子工藝設(shè)備中的應(yīng)用。給出了自動匹配網(wǎng)絡(luò)的檢測電路、電機(jī)驅(qū)動電路和控制電路，提出了優(yōu)化自動阻抗匹配能力的方法。
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