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??? 美國明尼阿波利斯(2008年11月)--全球領(lǐng)先的微電子制造表面處理和顯微光刻設(shè)備供應(yīng)商FSI國際有限公司(納斯達(dá)克:FSII),日前宣布再次收到POLARIS?顯微光刻系統(tǒng)訂單,該訂單來自一家領(lǐng)先的砷化鎵" title="砷化鎵">砷化鎵(GaAs)器件代工廠" title="代工廠">代工廠。這一訂單代表了GaAs客戶數(shù)量不斷增長的趨勢,他們選用POLARIS,緣于該系統(tǒng)的卓越性能加上公司在敏感砷化鎵底材處理方面的15年經(jīng)驗(yàn)。
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??? “隨著寬帶無線" title="寬帶無線">寬帶無線和有線通信市場器件制造商數(shù)量的快速增長,我們感受到他們對POLARIS系統(tǒng)興趣的不斷提升,”FSI董事長兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說道?!癙OLARIS產(chǎn)品的靈活性允許我們的客戶在同一系統(tǒng)上處理多種尺寸的GaAs和氮化鎵(GaN)底材,而無需更換硬件或軟件。這種可同步處理多種晶圓" title="晶圓">晶圓尺寸的能力在不影響工藝性能的同時(shí),將靈活性提高到更高水平。”
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??? 預(yù)計(jì)寬帶無線和有線通信器件供應(yīng)商的訂單將有所增長,F(xiàn)SI將重點(diǎn)放在進(jìn)一步擴(kuò)展這一重要市場。
FSI POLARIS顯微光刻系統(tǒng)可為尺寸在100mm 和300mm之間的晶圓提供附著劑和光阻涂布、烘干、冷卻和工藝開發(fā)。POLARIS 系統(tǒng)以其龐大的安裝量,為包括薄膜磁頭、生醫(yī)設(shè)備以及GaAs在內(nèi)的多種應(yīng)用和行業(yè)提供服務(wù)。此外,公司推出的支持服務(wù)包括了產(chǎn)品及工藝的提升,從而延長已安裝的FSI設(shè)備的使用壽命" title="使用壽命">使用壽命,使全世界客戶的資本投資獲得更高的回報(bào)。
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??? FSI國際有限公司是一家為微電子制造提供表面處理設(shè)備技術(shù)及支持服務(wù)的全球性的供應(yīng)商。通過使用公司產(chǎn)品組合中的多晶圓批量和單晶圓的浸泡式、旋轉(zhuǎn)噴霧式、汽相和超凝態(tài)過冷動力學(xué)等一整套清洗技術(shù)產(chǎn)品,客戶能夠?qū)崿F(xiàn)他們的工藝性能、靈活性和生產(chǎn)能力目標(biāo)。公司推出的支持服務(wù)項(xiàng)目包括了產(chǎn)品及工藝的提升,從而延長已安裝的FSI設(shè)備的使用壽命,使世界范圍內(nèi)的客戶的資本投資獲得更高的回報(bào)。
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??? FSI國際有限公司全球網(wǎng)站:http://www.fsi-intl.com.