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KLA-TENCOR 推出磁盤驅(qū)動(dòng)器基片和盤片缺陷檢查的新技術(shù)

2008-09-26
作者:KLA-Tencor公司
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kla-tencor" title="kla-tencor">kla-tencor.com/">KLA-Tencor 公司納斯達(dá)克" title="納斯達(dá)克">納斯達(dá)克股票代碼KLAC今天針對(duì)硬盤驅(qū)動(dòng)器基片" title="基片">基片與盤片高級(jí)缺陷檢查推出了 Candela 7100 系列。7100 系列建立在備受肯定且已量產(chǎn)化的 Candela 產(chǎn)品線基礎(chǔ)上,專為幫助制造商識(shí)別與分類諸如凹陷、凸起、微粒及隱藏缺陷等亞微米級(jí)關(guān)鍵缺陷而設(shè)計(jì),可以提升良率降低檢測(cè)的總成本。?

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KLA-Tencor 成長(zhǎng)與新興市場(chǎng) (GEM) 集團(tuán)副總裁 Jeff Donnelly 表示:“Candela 7100 系列是我們光學(xué)表面分析技術(shù)的一個(gè)創(chuàng)新延伸作為缺陷檢測(cè)與分類的創(chuàng)紀(jì)錄工具,深獲客戶認(rèn)同。憑借更高的靈敏度和分類能力,7100 系列的一體化解決方案旨在減少對(duì)其它工具的依賴性降低我們客戶的成本,并縮短他們獲得成果的時(shí)間。? ?

表面積儲(chǔ)存單位密度的持續(xù)增長(zhǎng)推動(dòng)了對(duì)更低表面污染水平、更平滑的磁盤表面、對(duì)更小缺陷尺寸的更強(qiáng)靈敏度的需求,以及提早在制程中控制特定缺陷類型的重要性。此外,隨著磁記錄頭飛行高度的降低,微小缺陷如今對(duì)良率" title="良率">良率的影響也越來越大。Candela 7100 系列擁有業(yè)界領(lǐng)先的靈敏度,堪為應(yīng)對(duì)這些業(yè)界挑戰(zhàn)的理想解決方案。?

硬盤驅(qū)動(dòng)器行業(yè)要不斷滿足客戶對(duì)更高性價(jià)比的需求,因此制造商必須要以更快的時(shí)間獲得成果,采取在統(tǒng)計(jì)學(xué)上更有效的決策,同時(shí)保持成本競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。Candela 7100 降低了對(duì)眾多非生產(chǎn)工具與方法的依賴性,例如原子力、掃描電子與透射電子顯微鏡,以及電性測(cè)試。目前需要在眾多檢測(cè)工具上進(jìn)行的分析,現(xiàn)在都可在單獨(dú)一臺(tái)機(jī)器上以更快的速度和更低的成本完成。 ?

Candela 7100 系列正在接受領(lǐng)先存儲(chǔ)技術(shù)" title="存儲(chǔ)技術(shù)">存儲(chǔ)技術(shù)公司日立環(huán)球存儲(chǔ)技術(shù)公司 (HGST) 的認(rèn)證。?

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KLA-Tencor 目前正在接受產(chǎn)品訂單。出貨計(jì)劃在十月份開始。?

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9 17-18 日在加州圣克拉拉縣圣克拉拉會(huì)展中心舉行的 DISKCON USA 2008 展覽會(huì)上KLA-Tencor 還將在第 115 號(hào)展位展出 Candela 7100 系列,以及為數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)提供的其它良率管理解決方案。?

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關(guān)于 KLA-TencorKLA-Tencor 是為半導(dǎo)體制造及相關(guān)行業(yè)提供良率管理和制程控制解決方案的全球領(lǐng)先企業(yè)。該公司總部設(shè)在美國加州的米爾皮塔斯銷售及服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍布全球。KLA-Tencor 躋身于標(biāo)準(zhǔn)普爾 500 強(qiáng)公司之一并在納斯達(dá)克全球精選市場(chǎng)上市交易,其股票代碼為 KLAC。有關(guān)該公司的更多信息,請(qǐng)?jiān)L問 http://www.kla-tencor.com?

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Candela 7100 技術(shù)摘要?

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此創(chuàng)新技術(shù)代表了 KLA-Tencor 對(duì)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)市場(chǎng)的不斷投入,并顯示出公司將來向下一代圖形化介質(zhì)需求延伸的進(jìn)展。Candela 7100 系列的新特性包括?

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o???????? 一個(gè)新的雙波長(zhǎng)激光配置經(jīng)過優(yōu)化,可以獲得更高的靈敏度、在基于層的功耗模式方面應(yīng)用設(shè)置的更高靈活性,以及更佳的激光輸出與穩(wěn)定性?

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o???????? 多個(gè)獨(dú)立的散射檢測(cè)儀,可以提供檢測(cè)與分類諸如凹陷、凸起、微粒及隱藏缺陷等亞微米級(jí)缺陷的能力?

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o???????? 改善的相位、光與磁通道捕捉瑕疵及反映高級(jí)垂直磁記錄 (PMR) 表面提供了更高的靈敏度與穩(wěn)?

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