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生產(chǎn)最新12nm芯片,三星逆勢(shì)計(jì)劃新增10臺(tái)EUV光刻機(jī)

2022-12-28
來源:21ic
關(guān)鍵詞: 12nm 芯片 三星 光刻機(jī)

由于內(nèi)存價(jià)格暴跌,美光、SK海力士?jī)杉覂?nèi)存廠商都已經(jīng)大幅削減了投資,降低了產(chǎn)能,然而三星作為內(nèi)存一哥不為所動(dòng),不僅不打算減產(chǎn),甚至還在擴(kuò)大投資,明年新增至少10臺(tái)EUV光刻機(jī),用于生產(chǎn)最新的12nm級(jí)內(nèi)存芯片。

三星在韓國(guó)的內(nèi)存工廠主要是位于平澤市的晶圓廠,其中P3晶圓廠目前的產(chǎn)能是每月2萬片晶圓,三星已經(jīng)計(jì)劃擴(kuò)大投資,增加內(nèi)存生產(chǎn)設(shè)備,將產(chǎn)能提升到每月7萬片晶圓。

在這些設(shè)備中,最重要的就是EUV光刻機(jī)了,三星從14nm級(jí)別的內(nèi)存芯片開始引入EUV光刻機(jī),EUV光刻機(jī)可以減少多重曝光工藝,提供工藝精度,從而可以減少生產(chǎn)時(shí)間、降低成本,并提高性能。

當(dāng)然,上EUV工藝的代價(jià)也不是沒有,EUV光刻機(jī)單價(jià)10億元以上,產(chǎn)量也不如傳統(tǒng)DUV光刻機(jī),意味著初期成本會(huì)比較高。

按照三星的計(jì)劃,2023年的P3晶圓廠將新增至少10臺(tái)EUV光刻機(jī),主要用于量產(chǎn)此前發(fā)布的12nm級(jí)DRAM內(nèi)存芯片。

12月21日消息,三星宣布全球首發(fā)12nm工藝的DDR5內(nèi)存,核心容量16Gb,并率先完成AMD平臺(tái)兼容認(rèn)證。

三星是全球第一大DRAM內(nèi)存芯片公司,技術(shù)上也是最領(lǐng)先的之一,2021年率先推出了14nm DRAM芯片,用上了EUV工藝,這次的12nm DRAM內(nèi)存芯片則是進(jìn)一步的技術(shù)升級(jí)版。

除了EUV工藝之外,12nm DRAM內(nèi)存還使用了高K材料及改善電路特性的專用設(shè)計(jì)技術(shù),該內(nèi)存具有業(yè)界最高的存儲(chǔ)密度,而且晶圓生產(chǎn)效率提升了20%。

三星沒有提及太多的技術(shù)細(xì)節(jié),速度上可達(dá)7.2Gbps,號(hào)稱1秒內(nèi)可以處理2部30GB的UHD電影,功耗比以前的DRAM降低了23%。



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