據(jù)路透社報(bào)道,半導(dǎo)體設(shè)備巨頭ASML的新一代High-NA EUV設(shè)備訂價(jià)約4億美元(折合27億人民幣)。

相比之下,上一代EUV光刻機(jī)售價(jià)大約1.2億美元,意味著新一代光刻機(jī)售價(jià)提升了兩倍多。不過(guò)新一代光刻機(jī)設(shè)備精密度更高、所使用的零部件更多,機(jī)型比上一代大出30%,如同雙層巴士大小。

據(jù)悉,ASML原型機(jī)將在2023年上半年完成。目前公司對(duì)外表示,2021年第四季度已收到5個(gè)預(yù)定High-NA EUV的訂單。

至于新一代光刻機(jī)的首批用戶是誰(shuí)也不難猜想,目前臺(tái)積電、三星是全球僅有的能在先進(jìn)工藝制程上一較高下的對(duì)手。

根據(jù)規(guī)劃,臺(tái)積電、三星都計(jì)劃在今年下半年量產(chǎn)3nm工藝,目前它們所采用的EUV光刻機(jī)為第一代,據(jù)稱(chēng)第一代EUV光刻機(jī)生產(chǎn)3nm已幾乎達(dá)到極限,它們研發(fā)更先進(jìn)的2nm乃至更先進(jìn)的工藝就需要采用ASML最新的High-NA EUV光刻機(jī)。

隨著訂單的增多,接下來(lái)幾年相信ASML也會(huì)很忙。在今年Q1財(cái)報(bào)會(huì)議上,ASML表示,隨著第二季度芯片制造設(shè)備的市場(chǎng)需求超過(guò)供應(yīng)量,將上調(diào)長(zhǎng)期營(yíng)收預(yù)期,維持今年20%的營(yíng)收增幅和55臺(tái)極紫外光科技的產(chǎn)能預(yù)期不變,并表示,2025年將能生產(chǎn)70多部極紫外光刻機(jī)。