《電子技術(shù)應(yīng)用》
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精測電子芯片設(shè)備已交付中芯國際!

2022-01-19
來源:OFweek電子工程網(wǎng)

1月18日消息,精測電子在投資者互動平臺上表示,公司2021年7月份出機中芯國際12寸獨立式光學(xué)線寬測量設(shè)備(OCD)與12寸全自動電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備(Review SEM),目前進(jìn)展非常順利,公司正在積極推進(jìn)相關(guān)業(yè)務(wù)。


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(圖源投資者互動平臺)

精測電子表示,鑒于前道量測設(shè)備目前在國內(nèi)主要由國外廠商主導(dǎo),技術(shù)壁壘較高,相對于其他半導(dǎo)體設(shè)備驗證周期較長;同時,大部分客戶對新進(jìn)工廠的第一臺設(shè)備都需要按各自流程正常進(jìn)行驗證測試,驗證周期長短受設(shè)備類型、客戶要求、現(xiàn)場環(huán)境等因素的影響。因此,前述兩臺設(shè)備目前仍處在正常調(diào)試驗證過程中,具體時間視驗證情況而定。

據(jù)了解,精測電子是一家致力于為半導(dǎo)體、顯示以及新能源等測試領(lǐng)域提供卓越產(chǎn)品和服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。目前,精測電子已形成在半導(dǎo)體檢測前道、后道全領(lǐng)域的布局。其子公司武漢精鴻主要聚焦自動檢測設(shè)備(ATE)領(lǐng)域,已實現(xiàn)關(guān)鍵核心產(chǎn)品技術(shù)轉(zhuǎn)移、國產(chǎn)化研發(fā)、制造、核心零部件國產(chǎn)化。

此外,精測電子主要聚焦半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備領(lǐng)域,主要應(yīng)用了光譜分析、電子束成像、光學(xué)超分辨率成像、光學(xué)干涉量測等相關(guān)技術(shù)。精測電子的產(chǎn)品主要基于一種或多種技術(shù)綜合開發(fā)形成工業(yè)化應(yīng)用級設(shè)備,如膜厚量測設(shè)備及光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備(OCD)主要基于光譜分析,電子束缺陷檢測設(shè)備主要基于電子束成像等其它相關(guān)量產(chǎn)或在研產(chǎn)品。

在半導(dǎo)體測試領(lǐng)域,精測電子通過前后道測試全領(lǐng)域布局介入半導(dǎo)體檢測設(shè)備領(lǐng)域,已取得國內(nèi)一批客戶的批量重復(fù)訂單?,F(xiàn)有客戶主要包括長江存儲、廣州粵芯、中芯國際等國內(nèi)半導(dǎo)體廠商。

值得一提的是,此前中芯國際已經(jīng)被美國列入實體清單,難以獲得如蝕刻機、光刻機等先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備。對此,中芯國際回應(yīng)稱,公司在被列入美國實體清單后,根據(jù)美國《出口管制條例》的規(guī)定,供應(yīng)商在獲得美國相關(guān)部門的出口許可后向本公司供應(yīng)受《出口管制條例》所管轄的物項。目前,公司生產(chǎn)連續(xù)性已基本穩(wěn)定,公司已經(jīng)陸續(xù)宣布了北京、深圳、上海的新廠建設(shè)項目。

如今,國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備再度獲得突破,成功供貨中芯國際,國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)國產(chǎn)替代的進(jìn)程再度提速,等半導(dǎo)體設(shè)備皆全部完成國產(chǎn)替代之時,國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展再也不用受制于人。




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