《電子技術(shù)應(yīng)用》
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美官員:限制ASML與中國大陸合作,是國安顧問首要任務(wù)!

2021-07-26
來源:5G通信
關(guān)鍵詞: EUV光刻機(jī) 美國 中國大陸

  據(jù)美媒報道,一位美國官員透露,拜登政府在確認(rèn)EUV光刻機(jī)在科技產(chǎn)業(yè)中的戰(zhàn)略價值后,已與荷蘭政府進(jìn)行接觸,并以國家安全為由要求荷蘭方面限制向中國大陸出售EUV!
  報道披露,拜登正式就職不到一個月,其國家安全顧問沙利文已就“在先進(jìn)技術(shù)方面的密切合作”與荷蘭方面進(jìn)行交談。美國官員透露,繼續(xù)限制阿斯麥與中國大陸的合作,是沙利文的首要任務(wù)。

  事實上,中美圍繞荷蘭ASML光刻機(jī)發(fā)生的紛爭,早在2018年就已經(jīng)開始了:
  2018年5月,國內(nèi)最大晶圓代工廠中芯國際向ASML下單了一臺價值1.2億美元的EUV光刻機(jī),預(yù)計2019年底交付,2020年進(jìn)行安裝。
  幾乎是同一時間,當(dāng)時的特朗普政府就向荷蘭政府發(fā)出威脅,不得向中國交付這臺EUV光刻機(jī),否則美國政府將斷供該光刻機(jī)上必須的美國造設(shè)備。
  2019年11月,ASML宣布,荷蘭政府不再續(xù)簽相關(guān)出口許可,向中芯國際出售EUV光刻機(jī)的計劃正式終止。

  任何一家芯片制造商都愿意盡一切可能提高自家芯片的性能,從而以最大優(yōu)勢獨占整個商業(yè)市場。因此當(dāng)2015年ASML正式推出EUV型光刻機(jī)后,臺積電、三星等全球芯片代工大廠立刻搶購,三星前CEO李在镕甚至曾親自前往ASML總部交涉。
  這樣努力的結(jié)果就是,截至目前為止,單臺積電一家就已經(jīng)擁有近50臺EUV光刻機(jī)。而依靠這些EUV光刻機(jī),臺積電在2020年與三星一起推出了5nm級芯片制備工藝,并計劃在2022年推出3nm級芯片,幾乎可以說是壟斷了全球10nm級以下芯片代工業(yè)務(wù)。
  在ASML的NA EUV型光刻機(jī)計劃推出后,臺積電和三星又立刻做出反應(yīng),宣布希望最早在2024年能用上NA EUV光刻機(jī),以生產(chǎn)2nm級芯片。而此時中芯國際這邊卻連一臺EUV都求購不得……美國這道禁令對我國IC業(yè)的殺傷力有多大,由此可見一斑。
  另外,雖然對于中國來說,沒有阿斯麥的光刻機(jī)確實是個不小的麻煩,但是這并不能真的困死中國,美國的打壓,只會讓中國更加想要實現(xiàn)光刻機(jī)的“自給自足”。據(jù)了解,中國很多機(jī)構(gòu)已經(jīng)開始參與光刻機(jī)領(lǐng)域的分項研究。
  今年6月8日,英國科技媒體“VERDICT”在一篇報道中稱,上海微電子計劃在今年底推出一臺國產(chǎn)28nm DUV光刻機(jī),并在上海的一條專有生產(chǎn)線上為物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備制造48nm和28nm芯片。該報道還提到,上海微電子管理層近期表示,提高48nm和28nm的良率仍然是一個挑戰(zhàn),但該公司現(xiàn)在擁有基本的自主光刻技術(shù)能力,無需美國IP來制造芯片。

  VERDICT評論稱,現(xiàn)在評估中國企業(yè)在光刻機(jī)領(lǐng)域改變市場規(guī)則還為時過早,但是上海微電子已經(jīng)在一個極其困難的技術(shù)領(lǐng)域取得突破。
  其實,美國政府現(xiàn)在打壓中國就是為了維護(hù)自身科技壟斷和霸權(quán)地位,但是他們以為這樣就能打垮中國,那就是大錯特錯。
  7月14日,上海市政府發(fā)布《上海市先進(jìn)制造業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃》。其中提到,“十四五”時期將加強(qiáng)裝備材料創(chuàng)新發(fā)展,突破光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、薄膜設(shè)備、離子注入設(shè)備、濕法設(shè)備、檢測設(shè)備等集成電路前道核心工藝設(shè)備。
  也許是看到中國在突破半導(dǎo)體設(shè)備方面的決心,阿斯麥CEO溫彼得今年4月曾向美國喊話,“如果你采取出口管制措施將中國市場拒之門外,這將迫使他們爭取技術(shù)主權(quán),就其真正的技術(shù)主權(quán)而言……在15年的時間里,他們自己將能夠做出所有的這些東西,而且他們的市場(針對歐洲供應(yīng)商的市場)將徹底消失?!?br/>  而《華爾街日報》認(rèn)為,中國追上阿斯麥的光刻機(jī)技術(shù)至少需要10年。




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