受福島地震影響，由于KrF光刻膠產(chǎn)能受限以及全球晶圓廠積極擴產(chǎn)等原因，日本信越化學(xué)已經(jīng)向中國大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠，甚至已通知部分中小晶圓廠停止供貨KrF光刻膠，國內(nèi)多家晶圓廠將會面臨KrF光刻膠大缺貨的處境。
光刻膠是IC制造的核心耗材，其質(zhì)量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關(guān)鍵因素，屬于高技術(shù)壁壘材料，需要長期的技術(shù)積累，約占IC制造材料總成本的5%。
據(jù)了解光刻膠市場基本被國外巨頭壟斷。日本合成橡膠、東京應(yīng)化、信越化學(xué)等五大光刻膠廠商占據(jù)全球約87%的市場份額，尤其是在高端的半導(dǎo)體光刻膠市場中國更是僅占極少的份額。截至目前，國內(nèi)能夠批量供應(yīng)KrF、ArF光刻膠的廠商卻為數(shù)不多。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，日本幾大廠商在g線/i線、KrF、ArF膠市場中市占率分別為61%、80%、93%，而國內(nèi)g線/i線自給率約為20%，KrF光刻膠的自給率不足5%，12寸硅片的ArF光刻膠目前尚無國內(nèi)企業(yè)可以大規(guī)模生產(chǎn)。
雖然此次部分?jǐn)喙﹦荼貙a(chǎn)晶圓代工廠商會產(chǎn)生一定的影響，不過隨著國產(chǎn)替代已成為業(yè)內(nèi)共識，我們認(rèn)為伴隨KrF光刻膠、ArF光刻膠研發(fā)完畢順利完成客戶驗證后，國產(chǎn)光刻膠將真正進入國產(chǎn)替代的高峰期。
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