作為國內(nèi)最大最先進(jìn)的晶圓代工廠，中芯國際SMIC在疫情疫情期間依然沒有停產(chǎn)，同時(shí)還在擴(kuò)大14nm等先進(jìn)工藝產(chǎn)能。日前羊城晚報(bào)報(bào)道稱，中芯國際進(jìn)口的荷蘭ASML光刻機(jī)順利入廠。

據(jù)報(bào)道，這次購買光刻機(jī)的是中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司，昨天他們從荷蘭進(jìn)口的一臺(tái)大型光刻機(jī)順利通過出口加工區(qū)場(chǎng)站兩道閘口進(jìn)入廠區(qū)。

據(jù)悉，這臺(tái)機(jī)器主要用于企業(yè)復(fù)工復(fù)產(chǎn)后的生產(chǎn)線擴(kuò)容。

中芯國際表示，坪山海關(guān)一系列服務(wù)措施，保障了設(shè)備第一時(shí)間進(jìn)入廠區(qū)完成安裝進(jìn)入生產(chǎn)，生產(chǎn)線擴(kuò)容后全年預(yù)計(jì)可為企業(yè)增加10％左右的營收。

報(bào)道沒有提及中芯國際購買的光刻機(jī)的詳情，不過肯定可以排除最新的EUV光刻機(jī)，現(xiàn)在進(jìn)口的應(yīng)該還是193nm波長的DUV系列光刻機(jī)。

ASML的DUV光刻機(jī)型號(hào)

雖然沒有EUV技術(shù)，但ASML的沉浸式DUV光刻機(jī)依然可以制造28nm到7nm之間的各種芯片，中芯國際此前也表態(tài)下兩代工藝N＋1、N＋2（相當(dāng)于7nm LPE低功耗、7nm LPP高性能）也不會(huì)上EUV光刻機(jī)。

與EUV光刻機(jī)動(dòng)輒1億美元以上的售價(jià)相比，DUV光刻機(jī)要便宜很多，但也要3000－5000萬美元，還要有數(shù)目不菲的安裝服務(wù)費(fèi)用，足以讓很多小公司望而卻步。

中芯國際沒有公布擴(kuò)產(chǎn)的工藝具體是什么，但99％可能是14nm工藝，這是2020年中芯國際重點(diǎn)中的重點(diǎn)，去年底產(chǎn)能不過1000片／月，今年3月將達(dá)到4K，7月達(dá)到9K，12月達(dá)到15K。

根據(jù)中芯國際聯(lián)席CEO梁孟松的說法，1000片／月的產(chǎn)能就差不多要1億美元的投入，15K晶圓／月的產(chǎn)能意味著15億美元的投資。

放在以前，這樣的投資是不劃算的，不過現(xiàn)在這兩年情況不同了，中芯國際的14nm及未來的7nm工藝無論如何都是要上的。

作者：憲瑞