昨日，德州市協(xié)同發(fā)展督查評議到德州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，察看了山東有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項目。

該項目被山東省政府列為 2019 年省級重點“頭號”項目。

總投資約 80 億元，分兩期建設(shè)，項目一期占地 326 畝，建設(shè)直拉車間廠房、硅片廠房、動力中心等，搬遷北京現(xiàn)有的 6 英寸、8 英寸硅晶圓、8 英寸單晶硅生產(chǎn)線并擴大產(chǎn)能，形成年產(chǎn) 8 英寸硅片 276 萬片、6 英寸硅片 180 萬片、12—18 英寸大直徑硅單晶 300 噸的生產(chǎn)能力。二期項目建設(shè) 12 英寸硅晶圓中試線科研成果產(chǎn)業(yè)化基地，年產(chǎn) 360 萬片 12 英寸硅片。

據(jù)一期項目土建負責人介紹，項目一期 3 個主要車間正在進行二層主體施工和機電預留預埋，目前三個主廠房都有 30%到 40%的二層已經(jīng)封頂。此外，專用變電站、尚德八路等工程均按計劃推進。項目計劃 2019 年底主體封頂，2020 年 3 月底完成機電安裝和動力設(shè)施調(diào)試，2020 年 6 月底完成工藝設(shè)備調(diào)試并試產(chǎn)。

本次項目是由有研科技集團、日本 RST 株式會社控股的有研半導體材料有限公司出資，山東有研半導體材料有限公司建設(shè)。有研科技集團是國資委管理的 96 家央企之一和國內(nèi)有色金屬行業(yè)規(guī)模最大的綜合性研究開發(fā)機構(gòu)，在國內(nèi)唯一掌握 18 英寸硅單晶技術(shù)、12 英寸硅片技術(shù)，率先實現(xiàn) 8 英寸硅片商業(yè)化，12—18 英寸硅單晶產(chǎn)品可滿足全球最先進的半導體設(shè)備應(yīng)用要求。

據(jù)報道，該項目屬于德州東部城區(qū)創(chuàng)新組團的龍頭項目，更重要的是，目前這個項目規(guī)模也是北方最大的半導體材料基地。

此外，專用變電站、尚德八路等工程均按計劃推進。項目計劃 2019 年底主體封頂，2020 年 3 月底完成機電安裝和動力設(shè)施調(diào)試，2020 年 6 月底完成工藝設(shè)備調(diào)試并試產(chǎn)。