昨日，臺(tái)灣對(duì)臺(tái)南科學(xué)園區(qū)的擴(kuò)廠案進(jìn)行環(huán)評(píng)大會(huì)，其中涉及到了臺(tái)積電的3納米廠6000億元新臺(tái)幣的投資計(jì)劃。在8月15日的第一次審查中，由于臺(tái)積電承諾未來用電20%將用綠電，每日使用再生水7.3萬噸，專案小組一次審查就過關(guān)并決定今天環(huán)評(píng)大會(huì)將議決通過。

　　但南部環(huán)保組織對(duì)此頗有疑慮，認(rèn)為臺(tái)積電各廠所用電力都來自高雄興達(dá)電廠，應(yīng)先淘汰燃煤機(jī)組，改為燃?xì)獠拍軠p少空氣污染。專案小組只審查一次就通過太草率，有放水之嫌，所以應(yīng)該重審。

　　今日的環(huán)評(píng)大會(huì)要求開發(fā)單位在三個(gè)月內(nèi)，補(bǔ)充和修正節(jié)能20%的具體措施和再生能源的完善日程及管控方式等，下次環(huán)評(píng)大會(huì)中再進(jìn)行內(nèi)部討論。

　　本次的環(huán)評(píng)主要聚焦在臺(tái)南科學(xué)園區(qū)的擴(kuò)廠后所增加的用水和用電問題，環(huán)委指出，因應(yīng)臺(tái)積3nm設(shè)廠需要，南科臺(tái)南基地，每日用水量將由25萬噸增至32.5萬噸，溫室氣體排放量一年增加427萬噸，用電量則由222萬瓦增至299.5萬瓦；這意味著整個(gè)興達(dá)港的發(fā)電都要供給臺(tái)積電，要求臺(tái)積電必須說明未來電力的問題如何解決。

　　臺(tái)積電回應(yīng)稱，預(yù)計(jì)2023年后陸續(xù)會(huì)有更多燃?xì)鈾C(jī)組上來，可以滿足所有用電需求；臺(tái)南市政府則表示，近年臺(tái)南市在太陽能發(fā)電發(fā)展較多，最近幾年應(yīng)該可以達(dá)到極大化，建議臺(tái)電未來可以將太陽能發(fā)電優(yōu)先調(diào)配。

　　最后環(huán)評(píng)大會(huì)決定，要求開發(fā)單位在2019年2月28日前補(bǔ)充意見、修正后，再提交環(huán)評(píng)大會(huì)進(jìn)行內(nèi)部討論。

　　3nm將在2022年量產(chǎn)

　　臺(tái)積電作為世界級(jí)的處理器代工廠商，在近幾年的CPU工藝方面頗為激進(jìn)，其10nm工藝正大規(guī)模量產(chǎn)中，并正加速推進(jìn)7nm以及5nm的研發(fā)力度。不過除了這些，更為高端的3nm制程工藝也已經(jīng)曝光，據(jù)了解，臺(tái)積電計(jì)劃中的全球第一座3納米廠將耗資6000億元新臺(tái)幣，并在2020年動(dòng)工，2022年開始量產(chǎn)。

　　目前臺(tái)積電的工廠一直以臺(tái)灣為大本營(yíng)，其中10nm位于中科廠Fab 15五到六期；7nm位于七到九期，2018年量產(chǎn)；5nm則位于南科廠Fab 14九期，2019年下半年量產(chǎn)。而3nm臺(tái)積電則考慮赴美投資建廠，投資額高達(dá)5000億臺(tái)幣，主要原因是南科方面從提出投資方案到通過環(huán)評(píng)審核，至少需要5年時(shí)間，而且空氣質(zhì)量、電力供應(yīng)都不夠達(dá)標(biāo)。

　　3nm技術(shù)可以說已經(jīng)接近半導(dǎo)體工藝的物理極限，而其目前也處于實(shí)驗(yàn)室階段，臺(tái)積電透露其正與設(shè)備廠商、材料供應(yīng)商共同研究技術(shù)途徑。