隨著國內(nèi)市場對(duì)中高端芯片產(chǎn)品需求的增長,集成電路生產(chǎn)線建設(shè)備受重視。18日上午11時(shí),華虹集團(tuán)六廠(華力二期)生產(chǎn)線的首批12英寸硅片進(jìn)入工藝機(jī)臺(tái),開始28納米芯片產(chǎn)品制造。
這條位于上海市浦東新區(qū)康橋工業(yè)園的華力二期12英寸集成電路生產(chǎn)線,是列入國家集成電路產(chǎn)業(yè)重大生產(chǎn)力布局規(guī)劃中的重點(diǎn)芯片生產(chǎn)線,也是“十三五”期間上海市重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目之一。
集成電路技術(shù)的進(jìn)步一般用芯片集成度和微細(xì)加工精度兩個(gè)指標(biāo)衡量。芯片集成度是指單一芯片中所含有的晶體管數(shù)量。晶圓尺寸從3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸已發(fā)展到目前的12英寸,目前18英寸正處于研發(fā)階段。從當(dāng)前國際產(chǎn)能現(xiàn)狀來看,12英寸生產(chǎn)線主要生產(chǎn)高性能產(chǎn)品,是目前的主流建設(shè)方向。
據(jù)了解,建成投片之后,華力12英寸集電生產(chǎn)線是目前國內(nèi)最先進(jìn)的12英寸晶圓代工生產(chǎn)線,擁有目前國內(nèi)12英寸生產(chǎn)線中最大的凈化廠房,是國內(nèi)同期建設(shè)的12英寸生產(chǎn)線中從開工到投產(chǎn)最快的項(xiàng)目,也是國家“910”工程規(guī)劃布局中最早投產(chǎn)的生產(chǎn)線。
據(jù)華虹集團(tuán)黨委書記、董事長張素心介紹,未來幾年,該生產(chǎn)線將從目前的月產(chǎn)能1萬片逐步爬坡到4萬片月產(chǎn)能,制造工藝也將達(dá)到14納米。華力二期生產(chǎn)線的芯片產(chǎn)品將覆蓋移動(dòng)通信、物聯(lián)網(wǎng)、智能家居、云計(jì)算、CPU以及人工智能等各領(lǐng)域應(yīng)用,進(jìn)一步滿足國內(nèi)市場對(duì)中高端芯片產(chǎn)品的需求。
解放日?qǐng)?bào)指出,該項(xiàng)目建成后,華虹集團(tuán)集成電路制造能力將覆蓋0.5微米至14納米各工藝技術(shù)平臺(tái),制造規(guī)模進(jìn)入全球前五名,「工藝技術(shù)進(jìn)入全球第一梯隊(duì)」。
上海市副市長吳清在投產(chǎn)大會(huì)上表示,到2020年上海芯片設(shè)計(jì)業(yè)要進(jìn)入7nm至5nm節(jié)點(diǎn),芯片制造要邁入10nm至7nm工藝。華虹集團(tuán)董事長張素心表示,公司目前28nm工藝產(chǎn)品良率達(dá)到93-98%,2020年華虹將具備14nm FinFET產(chǎn)品生產(chǎn)能力,基本上滿足國內(nèi)中高端芯片需求。