諾發(fā)" title="諾發(fā)">諾發(fā)系統(tǒng)有限公司(Novellus Systems, Inc., Nasdaq股票代碼：NVLS)日前宣布推出VECTOR Extreme?等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng) ，該系統(tǒng)每小時的產(chǎn)量高達(dá)250片晶圓" title="晶圓">晶圓，是業(yè)界最快的PECVD設(shè)備。與市場上的其它系統(tǒng)相比，VECTOR Extreme可使芯片制造商的平均生產(chǎn)周期縮短40%以上。另外，工廠的晶圓庫存也將顯著降低，使客戶能靈活應(yīng)對半導(dǎo)體市場" title="半導(dǎo)體市場">半導(dǎo)體市場不斷變化的需求。?

消費電子與電腦產(chǎn)品對固態(tài)存儲器的需求不斷增加促使制造DRAM及NAND閃存器件工廠的產(chǎn)能迅速增加。由于典型存儲器件的制造過程需要二十多道PECVD工序，因此在這些業(yè)界一流的高產(chǎn)能存儲器工廠中，PECVD系統(tǒng)生產(chǎn)量已日益成為影響總體生產(chǎn)周期時間與晶圓庫存水平的重要因素。?

諾發(fā)公司的VECTOR Extreme平臺通過將三個多站式順序處理模塊以及多達(dá)12個沉積站集成在一個中心晶圓傳送室上，實現(xiàn)了業(yè)界最高的PECVD生產(chǎn)量。當(dāng)使用這種配置沉積存儲器件生產(chǎn)通常使用的較厚薄膜時，VECTOR Extreme可實現(xiàn)的生產(chǎn)量將是最接近競爭對手的兩倍以上。?

“隨著存儲器工廠紛紛上線運行每月計劃晶圓產(chǎn)量超過100,000片的生產(chǎn)線，一個對系統(tǒng)生產(chǎn)量有特殊要求的全新PECVD細(xì)分市場已經(jīng)出現(xiàn)?！敝Z發(fā)公司電介質(zhì)事業(yè)部總經(jīng)理兼高級副總裁Tim Archer先生指出， “VECTOR Extreme吸引了這些超級晶圓廠的注意，因為該設(shè)備的生產(chǎn)量高，從而能夠減少總設(shè)備數(shù)，縮短工廠生產(chǎn)周期，從而有助于最小化晶圓庫存并降低最終產(chǎn)品成本。”?

諾發(fā)公司VECTOR系列的其它PECVD產(chǎn)品包括VECTOR Express?（于2007年3月推出）以及可實現(xiàn)可灰化硬掩膜(AHM)技術(shù)的VECTOR Express（于2007年6月推出）。VECTOR Express自推出以來迅速得到全球市場的認(rèn)可，并已開始批量供貨。?

批量生產(chǎn)的VECTOR Extreme預(yù)計將于2007下半年開始供貨。VECTOR Extreme實現(xiàn)了業(yè)界領(lǐng)先的生產(chǎn)量，同時還保持了諾發(fā)公司業(yè)經(jīng)生產(chǎn)驗證的VECTOR Express PECVD系統(tǒng)的工藝透明性。?

VECTOR簡介

諾發(fā)于2000年推出VECTOR 系統(tǒng)。VECTOR的推出徹底變革了300mm PECVD市場。這一業(yè)界領(lǐng)先的PECVD系統(tǒng)能夠沉積先進(jìn)的雙鑲嵌結(jié)構(gòu)所需的各種電介質(zhì)薄膜，是大批量生產(chǎn)的首選設(shè)備之一，也是裝機(jī)量最大" title="最大">最大的300mm PECVD系統(tǒng)。該設(shè)備設(shè)計簡單，能夠確保系統(tǒng)具有最高的可靠性和正常工作時間。?

諾發(fā)公司簡介：

諾發(fā)系統(tǒng)有限公司（Novellus Systems, Inc., Nasdaq股票代碼：NVLS）是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體工藝" title="半導(dǎo)體工藝">半導(dǎo)體工藝設(shè)備供應(yīng)商。通過創(chuàng)新性新技術(shù)的開發(fā)和值得信賴的高生產(chǎn)效率的支持，該公司的產(chǎn)品能夠為客戶提供最大的價值。諾發(fā)是一家標(biāo)準(zhǔn)普爾500指數(shù)公司，總部位于加州圣何塞，分支機(jī)構(gòu)跨越全球各個國家和地區(qū)。有關(guān)諾發(fā)公司的更多信息，請訪問網(wǎng)站www.novellus.com。