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復旦-諾發(fā)互連研究中心將贊助最佳研究生論文競賽

標志著諾發(fā)公司對中國教育的不斷支持
2007-12-10
作者:諾發(fā)互連研究中心

??? 全球半導體行業(yè)先進制造設備領先廠商諾發(fā)" title="諾發(fā)">諾發(fā)系統有限公司 (Nasdaq 股票代碼:NVLS),宣布舉辦第一屆復旦" title="復旦">復旦-諾發(fā)國際銅互連技術" title="互連技術">互連技術研討會最佳研究生論文競賽。?

??? 由復旦-諾發(fā)互連研究中心贊助的最佳研究生論文競賽將在復旦-諾發(fā)國際銅互連技術研討會期間舉行,此項每年春季舉行的競賽將為在校研究生、研究人員以及全球半導體專業(yè)人士提供一個討論新型的、令人振奮的半導體制造技術" title="制造技術">制造技術的平臺。同時,此次競賽也標志著該研討會將進入第五屆。?

??? 入選文章作者將獲得相應獎勵:獎項共設金獎一名、銀獎兩名、銅獎三名。?

復旦-諾發(fā)互連研究中心此次舉辦的2008 年研討會最佳研究生論文競賽的參賽領域包括:?

?? ·?半導體制造和互連工藝中的新技術;?

?? · Cu/Low k 集成技術;?

?? ·?面向45nm及以下技術節(jié)點的PVD/CVD/ALD擴散阻擋層和銅籽晶層;?

?? ·?CMP材料和制造技術;?

?? ·?干法工藝(溝槽結構和雙鑲嵌工藝,干法刻蝕工藝,等離子體造成的損傷,等)?

?? ·?先進介質材料(低介電常數" title="介電常數">介電常數介質,高介電常數介質,抗反射薄膜等)以及薄膜淀積工藝進展;?

?? ·?先進電鍍技術;?

?? ·?金屬化的可靠性研究;?

?? ·?先進圖像轉移技術。?

??? 諾發(fā)公司同中國大學的合作及其對中國微電子學教育的支持可以回溯至 2003 年,就在這一年,諾發(fā)公司向復旦大學捐贈了一套銅半導體制造設備,并且建立了復旦-諾發(fā)互連研究中心進行互連技術的研究。除研究和教學以外,從2004年起,該中心還成功地在復旦大學舉辦每年一次的復旦-諾發(fā)國際銅互連技術研討會。?

關于復旦大學微電子學院

??? 于2002年成立于復旦大學微電子學院 (SME)是復旦大學歷史悠久的微電子學專業(yè)和固態(tài)電子學專業(yè)的強強聯合。復旦大學微電子學在過去的二十年中取得了巨大的進步,并于 1988 年成為國家重點學科。1992 年,該學科建立起了 ASIC & System 國家重點試驗室。自組建以來,復旦大學微電子學院已經取得了諸多成就,并發(fā)展成為一所優(yōu)秀的教育和研究機構,在很多領域都擁有豐富的經驗,例如:SoC 設計、IC CAD、新型半導體制造技術、結構和器件以及微電子機械系統。?

關于諾發(fā)公司

??? 諾發(fā)系統有限公司(Nasdaq股票代碼:NVLS)是全球領先的半導體工藝設備供應商。通過創(chuàng)新性新技術的開發(fā)和值得信賴的高生產效率的支持,該公司的產品能夠為客戶提供最大的應用價值。諾發(fā)是一家標準普爾500指數公司,總部位于加州圣何塞,分支機構跨越全球各個國家和地區(qū)。有關諾發(fā)公司的更多信息,請訪問網站www.novellus.com。
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