復(fù)旦-諾發(fā)互連研究中心將贊助最佳研究生論文競(jìng)賽
2007-12-10
作者:諾發(fā)互連研究中心
??? 全球半導(dǎo)體行業(yè)先進(jìn)制造設(shè)備領(lǐng)先廠商諾發(fā)" title="諾發(fā)">諾發(fā)系統(tǒng)有限公司 (Nasdaq 股票代碼:NVLS),宣布舉辦第一屆復(fù)旦" title="復(fù)旦">復(fù)旦-諾發(fā)國(guó)際銅互連技術(shù)" title="互連技術(shù)">互連技術(shù)研討會(huì)最佳研究生論文競(jìng)賽。?
??? 由復(fù)旦-諾發(fā)互連研究中心贊助的最佳研究生論文競(jìng)賽將在復(fù)旦-諾發(fā)國(guó)際銅互連技術(shù)研討會(huì)期間舉行,此項(xiàng)每年春季舉行的競(jìng)賽將為在校研究生、研究人員以及全球半導(dǎo)體專(zhuān)業(yè)人士提供一個(gè)討論新型的、令人振奮的半導(dǎo)體制造技術(shù)" title="制造技術(shù)">制造技術(shù)的平臺(tái)。同時(shí),此次競(jìng)賽也標(biāo)志著該研討會(huì)將進(jìn)入第五屆。?
??? 入選文章作者將獲得相應(yīng)獎(jiǎng)勵(lì):獎(jiǎng)項(xiàng)共設(shè)金獎(jiǎng)一名、銀獎(jiǎng)兩名、銅獎(jiǎng)三名。?
復(fù)旦-諾發(fā)互連研究中心此次舉辦的2008 年研討會(huì)最佳研究生論文競(jìng)賽的參賽領(lǐng)域包括:?
?? ·?半導(dǎo)體制造和互連工藝中的新技術(shù);?
?? · Cu/Low k 集成技術(shù);?
?? ·?面向45nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)的PVD/CVD/ALD擴(kuò)散阻擋層和銅籽晶層;?
?? ·?CMP材料和制造技術(shù);?
?? ·?干法工藝(溝槽結(jié)構(gòu)和雙鑲嵌工藝,干法刻蝕工藝,等離子體造成的損傷,等)?
?? ·?先進(jìn)介質(zhì)材料(低介電常數(shù)" title="介電常數(shù)">介電常數(shù)介質(zhì),高介電常數(shù)介質(zhì),抗反射薄膜等)以及薄膜淀積工藝進(jìn)展;?
?? ·?先進(jìn)電鍍技術(shù);?
?? ·?金屬化的可靠性研究;?
?? ·?先進(jìn)圖像轉(zhuǎn)移技術(shù)。?
??? 諾發(fā)公司同中國(guó)大學(xué)的合作及其對(duì)中國(guó)微電子學(xué)教育的支持可以回溯至 2003 年,就在這一年,諾發(fā)公司向復(fù)旦大學(xué)捐贈(zèng)了一套銅半導(dǎo)體制造設(shè)備,并且建立了復(fù)旦-諾發(fā)互連研究中心進(jìn)行互連技術(shù)的研究。除研究和教學(xué)以外,從2004年起,該中心還成功地在復(fù)旦大學(xué)舉辦每年一次的復(fù)旦-諾發(fā)國(guó)際銅互連技術(shù)研討會(huì)。?
關(guān)于復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院
??? 于2002年成立于復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院 (SME)是復(fù)旦大學(xué)歷史悠久的微電子學(xué)專(zhuān)業(yè)和固態(tài)電子學(xué)專(zhuān)業(yè)的強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合。復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)在過(guò)去的二十年中取得了巨大的進(jìn)步,并于 1988 年成為國(guó)家重點(diǎn)學(xué)科。1992 年,該學(xué)科建立起了 ASIC & System 國(guó)家重點(diǎn)試驗(yàn)室。自組建以來(lái),復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院已經(jīng)取得了諸多成就,并發(fā)展成為一所優(yōu)秀的教育和研究機(jī)構(gòu),在很多領(lǐng)域都擁有豐富的經(jīng)驗(yàn),例如:SoC 設(shè)計(jì)、IC CAD、新型半導(dǎo)體制造技術(shù)、結(jié)構(gòu)和器件以及微電子機(jī)械系統(tǒng)。?
關(guān)于諾發(fā)公司
??? 諾發(fā)系統(tǒng)有限公司(Nasdaq股票代碼:NVLS)是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體工藝設(shè)備供應(yīng)商。通過(guò)創(chuàng)新性新技術(shù)的開(kāi)發(fā)和值得信賴(lài)的高生產(chǎn)效率的支持,該公司的產(chǎn)品能夠?yàn)榭蛻?hù)提供最大的應(yīng)用價(jià)值。諾發(fā)是一家標(biāo)準(zhǔn)普爾500指數(shù)公司,總部位于加州圣何塞,分支機(jī)構(gòu)跨越全球各個(gè)國(guó)家和地區(qū)。有關(guān)諾發(fā)公司的更多信息,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)網(wǎng)站www.novellus.com。