2008 年 3 月 17 日，中國上?！涨?，諾發(fā)" title="諾發(fā)">諾發(fā)系統(tǒng)有限公司 (Novellus Systems)宣布自其一年前推出 VECTOR Express?以來，已為業(yè)界領先的邏輯器件" title="邏輯器件">邏輯器件和存儲器件制造商提供了超過100臺VECTOR Express?產(chǎn)品。目前，VECTOR Express已經(jīng)在半導體行業(yè)十大資本設備采購商中的八家實現(xiàn)了量產(chǎn)" title="量產(chǎn)">量產(chǎn)。?

自 2007 年 3 月推出以來，VECTOR Express 獨特的 SmartSoak?功能已為薄膜生產(chǎn)效率和晶圓" title="晶圓">晶圓性能建立了全新產(chǎn)業(yè)標準。利用諾發(fā)公司的多" title="的多">的多平臺順序處理 (MSSP) 結構，SmartSoak 通過在先進薄膜（如抗反射層、擴散阻擋層和氧化隔離層等）沉積過程中提高晶圓溫度的一致性，得以改善薄膜的均勻性，并減少薄膜的缺陷。同時，SmartSoak還縮短了傳統(tǒng)晶圓加熱流程所耗費的時間，從而大幅提高了設備的吞吐量。因此，VECTOR Express 有助于尖端產(chǎn)品制造商將PECVD技術推進到45納米乃至更高的水平，同時確保成本相對于前代技術不斷降低。?

VECTOR Express 也為諾發(fā)公司在快速發(fā)展的可灰化硬掩膜 (AHM) 市場中獲得成功奠定了基礎。通過針對 VECTOR Express 開發(fā)的專用反應室工具套件，諾發(fā)公司AHM 薄膜實現(xiàn)了出色的蝕刻選擇與 CD 控制，減少了缺陷，并提高了先進技術節(jié)點的器件優(yōu)良率。諾發(fā)公司 AHM 技術于 2007 年 6 月推出，目前已在多家存儲器制造商中實現(xiàn)量產(chǎn)。?

諾發(fā)公司 PECVD 事業(yè)部高級副總裁兼總經(jīng)理 Tim Archer 指出：“為保持競爭力，提高每代產(chǎn)品的制造品質并降低其成本，成為我們客戶的最基本需要。在與領先的半導體制造商合作中，我們開發(fā)出VECTOR Express以滿足這一需求。我們很高興地看到該設備在推向市場的第一年就迅速得到認可?！?/P>

VECTOR Express 簡介: ?

VECTOR Express PECVD 平臺適用于多種存儲器和邏輯器件的薄膜沉積。借助SmartSoak?處理工藝特性，VECTOR Express 實現(xiàn)了業(yè)界領先的生產(chǎn)效率，并從根本上改善了薄膜工藝性能。SmartSoak 采用諾發(fā) VECTOR 平臺獨特的多平臺順序處理 (MSSP) 結構，使晶圓加熱和薄膜沉積過程相互獨立，通過這種方法可以使晶圓溫度在薄膜開始沉積時變得更加穩(wěn)定和一致，同時還能夠縮短薄膜沉積的時間。?

VECTOR Express 平臺上 AHM 技術簡介:?

VECTOR Express PECVD平臺上可灰化硬掩膜（AHM）工藝可應對高階技術節(jié)點應用的挑戰(zhàn)，相對于傳統(tǒng)的非晶碳膜工藝實現(xiàn)了巨大的技術突破，可支持 193nm 高深寬比圖形的蝕刻要求，而在這種情況下，變薄的光阻材料難以用傳統(tǒng)的方式完成圖形蝕刻。AHM 薄膜的特性能夠很好地滿足高端器件節(jié)點對蝕刻選擇比的要求，而且在光阻曝光時，仍可保持對晶圓對準光源的透明性。?

諾發(fā)公司簡介:?

諾發(fā)系統(tǒng)有限公司（Nasdaq股票代碼：NVLS）是全球領先的半導體工藝設備供應商。通過創(chuàng)新性新技術的開發(fā)和值得信賴的高生產(chǎn)效率的支持，該公司的產(chǎn)品能夠為客戶提供最大的價值。諾發(fā)是一家標準普爾500指數(shù)公司，總部位于加州圣何塞，分支機構跨越全球各個國家和地區(qū)。有關諾發(fā)公司的更多信息，請訪問網(wǎng)站www.novellus.com。?