隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，慣性傳感器件在過去的幾年中成為最成功,應(yīng)用最廣泛的微機電系統(tǒng)器件之一，而微加速度計（microaccelerometer）是慣性傳感器件的杰出代表。微加速度計的理論基礎(chǔ)是牛頓第二定律，根據(jù)基本的物理原理，在一個系統(tǒng)內(nèi)部，速度是無法測量的，但卻可以測量其加速度。如果初速度已知，就可以通過積分計算出線速度，進而可以計算出直線位移。結(jié)合陀螺儀（用來測角速度），構(gòu)成微型慣性測量單元（MIMU），就可以對物體進行精確定位。根據(jù)這一原理，人們很早就利用加速度計和陀螺進行輪船，飛機和航天器的導(dǎo)航，近年來，人們又把這項技術(shù)用于汽車的自動駕駛和導(dǎo)彈的制導(dǎo)。汽車工業(yè)的迅速發(fā)展又給加速度計找到了新的應(yīng)用領(lǐng)域，汽車的防撞氣囊（Air Bag）就是利用加速度計來控制的。

    硅微加速度計的類型較多，按檢測質(zhì)量的運動方式來分，有角振動式和線振動式加速度計；按檢測質(zhì)量支承方式來分，有扭擺式、懸臂梁式和彈簧支承方式；按信號檢測方式來分，有電容式、電阻式和隧道電流式；按控制方式來分，有開環(huán)和閉環(huán)式之分。

    開環(huán)加速度計的測量系統(tǒng)是開環(huán)的（或稱為開口的）。加速度值經(jīng)過敏感元件、信號器、放大器變成電信號直接輸出。對應(yīng)于每一個被測量的加速度值，開環(huán)加速度計便有一個輸出值與之對應(yīng)。為了滿足實際應(yīng)用的需要，開環(huán)加速度計必須精確地予以校準，并且在工作過程中，保持這種校準值不發(fā)生變化，開環(huán)加速度計的抗干擾能力較差，在出現(xiàn)擾動（外界干擾）時就會對測量精度有較大的影響，一般來說，精度也較低，開環(huán)加速度計的優(yōu)點是構(gòu)造簡單、容易維護，成本較低。

    閉環(huán)加速度計又稱力平衡加速度計、力反饋加速度計、帶有補償系統(tǒng)的加速度計，或伺服加速度計。這類加速度計的測量系統(tǒng)是閉口的，被測加速度經(jīng)敏感元件、信號器、放大器等變成電信號，加給對檢測質(zhì)量有控制作用的力（或力矩）發(fā)生器。也就是說，采用了反饋，把輸出量與輸入量進行比較，構(gòu)成了一個閉環(huán)控制系統(tǒng)。閉環(huán)加速度計的抗干擾能力較強，測量精度較高，又由于有反饋作用，使檢測質(zhì)量始終工作在零位附近，從而可以擴大量程。在慣性導(dǎo)航和制導(dǎo)系統(tǒng)中，廣泛采用閉環(huán)加速度計。

    而如今，微加速度傳感器廣泛應(yīng)用叉指結(jié)構(gòu)，叉指結(jié)構(gòu)式微加速度傳感器具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)相對簡單、功耗比較小、直流特性好等特點，但是容易受到電磁干擾。該類型的加速度計可以通過叉指結(jié)構(gòu)增加檢測電容，而且可以制作反饋結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)閉環(huán)控制，利于精度的提高。此外，此類型微加速度計的制作方法基本上與大規(guī)模集成電路的工藝技術(shù)相互兼容。綜上述的特點，叉指式微加速度計具有很高的研究價值。

    作為最成熟的慣性傳感器應(yīng)用，現(xiàn)在的MEMS加速度計有非常高的集成度，即傳感系統(tǒng)與接口線路集成在一個芯片上。