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瑞薩與松下聯(lián)手開發(fā)領先SoC工藝

2009-10-20
作者:瑞薩

    瑞薩科技公司與松下公司共同宣布,在瑞薩那珂分部(茨城縣日立那珂市)集中精力聯(lián)合開發(fā)領先的SoC工藝技術,并將其28-32nm工藝開發(fā)線投入運營。在瑞薩那珂分部,兩家公司正通過致力于對300mm晶圓產品線的聯(lián)合開發(fā)和提供聯(lián)合開發(fā)結構,進行28nm工藝技術的開發(fā),旨在不久的將來將其投入批量生產。

 

    早在1998年瑞薩還未正式成立之時,即已與松下約定聯(lián)合開發(fā)新一代SoC技術,并在瑞薩北伊丹事務所(兵庫縣依丹市)不斷開發(fā)面向90nm、65nm、45nm和32nm系列的半導體工藝技術。2008年10月,在將具有金屬/高k柵極堆棧結構與面向32nm系統(tǒng)SoC工藝的超低k材料晶體管技術進行結合,而使互聯(lián)技術得到開發(fā)后,即確立了將其投入批量生產的目標日期。  

  

    此后,在2009年7月,雙方又利用面向28nm工藝的金屬/高k柵極堆棧結構合作開發(fā)了SRAM單元?,F(xiàn)在,在這些成果的基礎上,兩家公司開始運營該生產線,以便在新近安裝于瑞薩那珂分部的300nm晶圓開發(fā)線內,利用28nm制造工藝技術聯(lián)合開發(fā)全集成技術。  

  

    在那珂分部的開發(fā)線中,除了從瑞薩北伊丹事務所轉移過來的部分開發(fā)線設備以外,兩家公司還安裝了全新的生產設備,以開發(fā)批量生產中實際所需的晶圓尺寸的產品,完成順利向批量生產階段的過渡,達到削減開發(fā)成本、縮短開發(fā)時間,從而提高開發(fā)和生產效率的目的。    

 

    28-32nm SoC工藝技術作為聯(lián)合開發(fā)的成果,已經應用到兩家公司推出的先進移動應用和數字家電的SoC中。此外,這些產品也已在兩家公司的各個分部實現(xiàn)了批量生產。    

 

    從促進早期技術積累到取得如今的成果,兩家公司一直借助于這種長期的合作伙伴關系,進行持續(xù)有效地開發(fā),并致力于將這些先進技術及早地投入到應用中去。

   

 

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