全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造晶圓處理、清洗和表面處理設(shè)備供應(yīng)商FSI國際有限公司（納斯達(dá)克：FSII），日前宣布一家重要半導(dǎo)體制造商訂購了該公司的新ORION 單晶圓清洗平臺。這項(xiàng)訂單表明了該客戶對今年5月FSI發(fā)運(yùn)的、用于后段(BEOL)32nm開發(fā)項(xiàng)目的評估機(jī)臺的認(rèn)可。該系統(tǒng)特有的閉室設(shè)計(jì)可解決多個關(guān)鍵步驟清洗問題，其中包括控制銅導(dǎo)線中的材料損失和電偶腐蝕(帶有和不帶金屬包覆層），這確保了IC制造商去實(shí)現(xiàn)無缺陷下一代銅導(dǎo)線架構(gòu)。?

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“該項(xiàng)訂單對于我們的重要性表現(xiàn)在許多層面，”FSI董事長兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說道?！八隙?SPAN lang=EN-US>ORION對于 32nm應(yīng)用的關(guān)鍵性能，同時(shí)表明了該客戶的信念：即使在行業(yè)經(jīng)濟(jì)狀況極為不佳的情況下，這些先進(jìn)性能仍增加了足夠的價(jià)值；制造商們正樂于為創(chuàng)新技術(shù)投資，不僅是著眼未來，同時(shí)也為實(shí)現(xiàn)當(dāng)前的收益。”?

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ORION系統(tǒng)的三維集群構(gòu)造可提供高產(chǎn)量、高靈活以及最有效的空間使用。在該系統(tǒng)中整合了許多FSI已成熟的核心技術(shù)：線上化學(xué)品混合與控制、化學(xué)藥液動能氣霧和水輸送、彈性地配方程式控制可提供卓越的工藝性能。其模塊化設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)多閉室機(jī)型，并可通過添加模塊來提高最大產(chǎn)能。?

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ORION特有的閉室設(shè)計(jì)同樣解決了前段(FEOL)工藝中發(fā)生的關(guān)鍵步驟問題，它允許使用揮發(fā)性的高活性化學(xué)材料，在32nm器件制造中單步驟、全濕法去除高劑量注入的光刻膠。通過省去灰化工藝，不僅減少了材料損失，同時(shí)還降低了工藝周期、工藝復(fù)雜性、機(jī)臺數(shù)量以及工藝步驟。?

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關(guān)于FSI：?

FSI國際有限公司是一家為微電子制造提供表面處理設(shè)備技術(shù)及支持服務(wù)的全球性的供應(yīng)商。通過使用公司產(chǎn)品組合中的多晶圓批量和單晶圓的浸泡式、旋轉(zhuǎn)噴霧式、汽相和超凝態(tài)過冷動力學(xué)等一整套清洗技術(shù)產(chǎn)品，客戶能夠?qū)崿F(xiàn)他們的工藝性能、靈活性和生產(chǎn)能力目標(biāo)。公司推出的支持服務(wù)項(xiàng)目包括了產(chǎn)品及工藝的提升，從而延長已安裝的FSI設(shè)備的使用壽命，使世界范圍內(nèi)的客戶的資本投資獲得更高的回報(bào)。?

FSI國際有限公司全球網(wǎng)站：http://www.fsi-intl.com.?