基于高精度采樣和控制系統(tǒng)的掃描電子顯微鏡高壓高穩(wěn)定電源
所屬分類：技術論文
上傳者：wwei
文檔大?。?span>4100 K
標簽： 高壓直流電源 Sigma-Delta ADC 高精度分壓器
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文檔介紹：針對掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscopy，SEM）高分辨率和全天候工作的嚴格要求，提出并研制了具備高穩(wěn)定度以及絕緣性能優(yōu)良的200 kV高穩(wěn)定性高壓直流電源。實驗表明該系統(tǒng)能達到3.42‰的開關紋波和2.45‰的工頻紋波，每小時的長期穩(wěn)定性達到0.093‰~0.158‰，能夠滿足SEM對紋波和穩(wěn)定性的要求。
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