基于高精度采样和控制系统的扫描电子显微镜高压高稳定电源
所屬分類：技术论文
上傳者：wwei
文檔大?。?span>4100 K
標簽： 高压直流电源 Sigma-Delta ADC 高精度分压器
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文檔介紹：针对扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscopy，SEM）高分辨率和全天候工作的严格要求，提出并研制了具备高稳定度以及绝缘性能优良的200 kV高稳定性高压直流电源。实验表明该系统能达到3.42‰的开关纹波和2.45‰的工频纹波，每小时的长期稳定性达到0.093‰~0.158‰，能够满足SEM对纹波和稳定性的要求。
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