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ASML新款NXE:3800E EUV光刻機(jī)引入部分High-NA機(jī)型技術(shù)

3 月 27 日消息,據(jù)荷蘭媒體 Bits&Chips 報(bào)道,ASML 官方確認(rèn)新款 0.33NA EUV 光刻機(jī) ——NXE:3800E 引入了部分 High-NA EUV 光刻機(jī)的技術(shù),運(yùn)行效率得以提升。 根據(jù)IT之家之前報(bào)道,NXE:3800E 光刻機(jī)已于本月完成安裝,可實(shí)現(xiàn) 195 片晶圓的每小時(shí)吞吐量,相較以往機(jī)型的 160 片提升近 22%。 下一代光刻技術(shù) High-NA(高數(shù)值孔徑) EUV 采用了更寬的光錐,這意味著其在 EUV 反射鏡上的撞擊角度更寬,會導(dǎo)致影響晶圓吞吐量的光損失。因此 ASML 提高了光學(xué)系統(tǒng)的放大倍率,從而將光線入射角調(diào)整回合適大小。 但在掩膜尺寸不變的情況下,增加光學(xué)系統(tǒng)放大倍率本身也會因?yàn)槠毓鈭龅臏p少影響晶圓吞吐量。因此 ASML 僅在一個方向上將放大倍數(shù)從 4 倍提升至 8 倍,這使得曝光場僅用減小一半。 而為了進(jìn)一步降低曝光時(shí)間,提升吞吐量,有必要提升光刻機(jī)載物臺的運(yùn)動速率。ASML 工程師就此開發(fā)了同時(shí)兼容現(xiàn)有 0.33NA 數(shù)值孔徑系統(tǒng)的新款快速載物臺運(yùn)動系統(tǒng)。

發(fā)表于:3/28/2024 9:15:30 AM

Instrospect 推出全球首個GDDR7顯存測試系統(tǒng)

Instrospect 推出全球首個 GDDR7 顯存測試系統(tǒng)

發(fā)表于:3/28/2024 9:15:28 AM

美國FCC駁回SpaceX頻譜申請,移動衛(wèi)星通訊服務(wù)受阻

3 月 28 日消息,SpaceX 一年多之前向美國聯(lián)邦通信委員會(Federal Communications Commission)就衛(wèi)星通信所需頻譜提交了一項(xiàng)申請,希望 FCC 允許其在 SpaceX Gen2 非地球靜止軌道(NGSO)衛(wèi)星系統(tǒng)中添加移動衛(wèi)星服(MSS)系統(tǒng)。 在這份申請文件中,SpaceX 希望通過修改授權(quán),使其 Gen2 NGSO 系統(tǒng)能夠在以下頻段運(yùn)營: 1.6/2.4 GHz 頻段 2 GHz 頻段 2020-2025 MHz (地球-空域) 頻段

發(fā)表于:3/28/2024 9:15:26 AM

Sora一旦推出,峰值算力需要75萬張H100GPU

Sora一旦推出,峰值算力需要75萬張H100GPU

發(fā)表于:3/28/2024 9:15:25 AM

SK海力士:HBM今年銷售額將占整體內(nèi)存逾一成

SK 海力士:HBM 今年銷售額將占整體內(nèi)存逾一成,明年供應(yīng)繼續(xù)緊張

發(fā)表于:3/28/2024 9:15:15 AM

TIP開啟Wi-Fi自動頻率協(xié)調(diào)軟件組的國際開源計(jì)劃

TIP開啟Wi-Fi自動頻率協(xié)調(diào)軟件組的國際開源計(jì)劃

發(fā)表于:3/28/2024 9:15:10 AM

小米與盧米藍(lán)合作共建OLED關(guān)鍵材料與器件聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室

小米與盧米藍(lán)合作共建 OLED 關(guān)鍵材料與器件聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室

發(fā)表于:3/28/2024 9:15:09 AM

Intel Arc顯卡首次進(jìn)入嵌入式領(lǐng)域

Intel Arc顯卡首次進(jìn)入嵌入式領(lǐng)域 Intel Arc 銳炫顯卡自誕生以來,已經(jīng)先后進(jìn)入桌面、筆記本、工作站和核顯四大領(lǐng)域,如今它又開辟了新的戰(zhàn)場——嵌入式。 Intel 最新提交的 Linux 圖形內(nèi)核代碼里,出現(xiàn)了兩款新的 Arc 產(chǎn)品,一個是 0x56BE Arc A750E,另一個是 0x56BF Arc A580E。 雖然缺乏具體資料,但是目前可以確認(rèn),它們倆都是面向嵌入式市場的,比如工控、商業(yè)、標(biāo)牌、邊緣等等。

發(fā)表于:3/28/2024 9:15:08 AM

加拿大將加強(qiáng)對中國在AI、量子計(jì)算等領(lǐng)域的外資審查力度

加拿大政府將加強(qiáng)人工智能、量子計(jì)算和空間技術(shù)等高科技領(lǐng)域的外國投資審查。 3 月 26 日晚,據(jù)報(bào)道,加拿大工業(yè)部長弗朗索瓦 · 菲利普 · 商鵬飛 ( Francois-Philippe Champagne ) 表示,根據(jù)最新修訂的《加拿大投資法》規(guī)定,非加拿大公司在投資或收購 AI 、量子計(jì)算等關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域的加拿大實(shí)體之前,必須提前向政府發(fā)出通知。

發(fā)表于:3/28/2024 9:15:07 AM

美光投資43億元擴(kuò)建西安封裝和測試工廠

美光投資43億元擴(kuò)建西安封裝和測試工廠

發(fā)表于:3/28/2024 9:15:05 AM

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