《電子技術(shù)應(yīng)用》
您所在的位置:首頁 > EDA与制造 > 业界动态 > 中国科大自刻蚀技术攻克材料难题

中国科大自刻蚀技术攻克材料难题

二维半导体加工获重大突破,实现原子级“马赛克”异质结可控构筑
2026-01-16
來源:新华社

1 月 16 日消息,據(jù)新華社昨日報(bào)道,中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)張樹辰特任教授團(tuán)隊(duì)聯(lián)合美國普渡大學(xué)、上??萍即髮W(xué)的研究團(tuán)隊(duì)在新型半導(dǎo)體材料領(lǐng)域取得突破性進(jìn)展,成果已發(fā)表于《自然》。

聯(lián)合團(tuán)隊(duì)首次在二維離子型軟晶格材料中,實(shí)現(xiàn)了面內(nèi)可編程、原子級平整的“馬賽克”式異質(zhì)結(jié)可控構(gòu)筑,為低維光伏材料的集成化與器件化開辟了全新路徑。

format,f_avif.avif.jpg

離子型軟晶格低維材料,尤其是二維有機(jī)–無機(jī)雜化鈣鈦礦,因其高光致發(fā)光量子產(chǎn)率以及可在低溫溶液條件下實(shí)現(xiàn)的大面積、工藝兼容制備,被廣泛認(rèn)為是新一代電致發(fā)光與光電器件的重要候選體系。然而,現(xiàn)有研究與器件多依賴多晶薄膜結(jié)構(gòu),其內(nèi)部普遍存在晶界缺陷、界面粗糙以及顯著的離子遷移行為,難以維持原子級結(jié)構(gòu)完整性,從而嚴(yán)重限制了載流子輸運(yùn)效率及器件性能的進(jìn)一步提升。

相比之下,二維鈣鈦礦薄層單晶在晶格完整性、缺陷密度和界面可控性方面具有天然優(yōu)勢,被視為突破上述瓶頸的理想平臺。然而,如何在二維鈣鈦礦單晶中實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、可控外延的橫向異質(zhì)結(jié)圖案化,同時(shí)保持界面原子級平整與晶格連續(xù)性,長期以來仍是該領(lǐng)域面臨的關(guān)鍵科學(xué)挑戰(zhàn)。

另一方面,對于具有長程有序結(jié)構(gòu)的單晶體系,晶格畸變不可避免地在晶體內(nèi)部積累內(nèi)應(yīng)力。這種內(nèi)應(yīng)力可在局域區(qū)域誘導(dǎo)能量不穩(wěn)定性,在特定化學(xué)環(huán)境中激活面內(nèi)點(diǎn)缺陷的產(chǎn)生與演化,從而為實(shí)現(xiàn)溫和、選擇性強(qiáng)的面內(nèi)刻蝕過程提供潛在物理基礎(chǔ)。然而,如何精準(zhǔn)調(diào)控并利用這一內(nèi)應(yīng)力效應(yīng),仍缺乏清晰的實(shí)驗(yàn)路徑與機(jī)制認(rèn)知。

format,f_avif.avif (1).jpg

▲ 內(nèi)應(yīng)力驅(qū)動的二維鈣鈦礦面內(nèi)刻蝕與圖案化策略

在此基礎(chǔ)上,中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)張樹辰特任教授進(jìn)一步合作提出了一種基于配體輔助異丙醇(IPA)激活晶體內(nèi)應(yīng)力的自刻蝕二維鈣鈦礦圖案化策略。研究首先通過界面法獲得大面積、超薄的二維鈣鈦礦單晶,隨后,在精心設(shè)計(jì)的配體–IPA 溶液體系中誘導(dǎo)晶體發(fā)生可控的面內(nèi)自刻蝕,形成規(guī)則取向的方形孔洞結(jié)構(gòu)。通過延長醇鏈(例如使用辛醇)有效降低溶解速率,使刻蝕過程更加溫和且可控;結(jié)合圖案化掩膜技術(shù),還可進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)周期性陣列化結(jié)構(gòu)的構(gòu)筑。

format,f_avif.avif (2).jpg

▲ 二維鈣鈦礦面內(nèi)馬賽克異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)

高分辨透射電子顯微鏡(HRTEM)與幾何相位分析(GPA)結(jié)果表明,刻蝕后晶體內(nèi)部應(yīng)變顯著釋放且分布趨于均勻;同時(shí),實(shí)空間形變分析以及貫穿多層的刻蝕行為進(jìn)一步證實(shí)了晶體內(nèi)應(yīng)力在刻蝕過程中的主導(dǎo)作用。這些結(jié)果系統(tǒng)揭示了異丙醇–配體協(xié)同刻蝕的物理本質(zhì),為二維鈣鈦礦的精細(xì)圖案化與結(jié)構(gòu)調(diào)控提供了新的機(jī)理基礎(chǔ)。進(jìn)而,利用反溶劑誘導(dǎo)的快速側(cè)向外延策略,將不同鹵素組成的二維鈣鈦礦精準(zhǔn)填充至刻蝕孔洞中,成功構(gòu)筑出馬賽克式面內(nèi)異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)。與傳統(tǒng)強(qiáng)溶劑處理或紫外光圖案化方法相比,該策略具有過程溫和、晶格無損傷等顯著優(yōu)勢,可獲得界面清晰、厚度均一且周期可設(shè)計(jì)的高質(zhì)量二維鈣鈦礦橫向異質(zhì)結(jié)構(gòu)。


官方訂閱.jpg

本站內(nèi)容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外,轉(zhuǎn)載內(nèi)容只為傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)站贊同其觀點(diǎn)。轉(zhuǎn)載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權(quán)歸版權(quán)所有權(quán)人所有。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內(nèi)容無法一一聯(lián)系確認(rèn)版權(quán)者。如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)和其它問題,請及時(shí)通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當(dāng)措施,避免給雙方造成不必要的經(jīng)濟(jì)損失。聯(lián)系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。