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晶圓月產(chǎn)能7萬片,良率可達99%,中芯國際又一重大項目量產(chǎn)

2021-07-08
來源:OFweek電子工程網(wǎng)

據(jù)浙江日報報道稱,位于浙江紹興的中芯紹興成功完成晶圓設(shè)備鏈調(diào)試。8 英寸晶圓月產(chǎn)能增至 7 萬片,良品率達 99%。目前半導體領(lǐng)域應用范圍最廣的是 8 英寸、12 英寸晶圓。中芯紹興量產(chǎn)成功的 8 英寸晶圓,可用于智能汽車、智能家居家電的芯片制造。

據(jù)悉,中芯紹興成立于2018年3月,由中芯國際和紹興集成電路產(chǎn)業(yè)基金聯(lián)合設(shè)立,一期總投資58.8億元,從中芯國際轉(zhuǎn)移并擴建一條8英寸特殊工藝芯片生產(chǎn)線和模組封裝生產(chǎn)線,提供微機電(MEMS)和功率器件(IGBT、MOSFET)芯片和模組生產(chǎn)服務(wù)。

中芯紹興布局三大工藝平臺:一是 MEMS 平臺,包括 MEMS 麥克風、壓力傳感器、超聲波傳感器、振蕩器、加速度計、陀螺儀;二是 MOSFET 工藝平臺,包括溝槽式 MOSFET、分柵式 MOSFET 以及超結(jié) MOSFET;三是立足場截止型(Field Stop)IGBT 結(jié)構(gòu)。




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