5月27日,一則日本將對(duì)中國(guó)斷供光刻膠的消息震驚資本市場(chǎng)。據(jù)外媒透露,日本光刻膠龍頭企業(yè)信越化學(xué)將限制向中國(guó)多家一線(xiàn)晶圓廠(chǎng)供貨KrF級(jí)別光刻膠,迫使晶圓廠(chǎng)恐將面臨缺失光刻膠的窘境。
斷供尚未正式落地,但市場(chǎng)對(duì)斷供光刻膠的恐懼卻率先反應(yīng)的股價(jià)上。27日收盤(pán),容大感光、晶瑞股份等國(guó)產(chǎn)光刻膠概念股紛紛漲停。
從市場(chǎng)規(guī)模上看,在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈條中,光刻膠只不過(guò)占比不足1%的細(xì)小市場(chǎng)。數(shù)據(jù)顯示,2020年全球半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模4260億美元,而應(yīng)用于半導(dǎo)體市場(chǎng)的光刻膠規(guī)模卻僅為19億元,僅占半導(dǎo)體行業(yè)的0.4%。
究竟市場(chǎng)為何會(huì)因?yàn)樾⌒〉墓饪棠z而引發(fā)如此震動(dòng)?投資者們又在擔(dān)心什么?
01 持續(xù)迭代的光刻膠
光刻膠涉及到PCB、LCD和半導(dǎo)體三個(gè)應(yīng)用方向,本文探討的核心就在于被市場(chǎng)關(guān)注的半導(dǎo)體光刻膠。
光刻工藝是芯片制造的精髓,成本約占芯片總成本的35%,耗時(shí)約占整個(gè)芯片總耗時(shí)的50%。光刻并非由光刻機(jī)直接用激光在硅片上雕刻而成,而是一系列復(fù)雜流程才獲得的最終結(jié)果。
半導(dǎo)體制作過(guò)程中,光刻膠是必不可少的核心原料,缺了它就將讓半導(dǎo)體的光刻流程陷入癱瘓。具體而言,光刻會(huì)涉及七大流程:涂膠、前烘、曝光、顯影、豎膜、刻蝕、去膠。
需要首先在硅片上涂抹一種能夠改變硅片溶解度的光致抗蝕劑,也就是光刻膠。然后經(jīng)過(guò)曝光(改變光刻膠溶解度)、顯影(利用顯影液溶解改性后光刻膠的可溶部分)處理。
由于光刻膠改變了部分溶解度,因此沒(méi)有被涂抹的地方就會(huì)被溶解,由此形成圖案,最終再通過(guò)刻蝕在硅片上畫(huà)出電路圖。
按照成分考量,光刻膠主要由五部分組成,分別是感光樹(shù)脂(聚合劑)、增感劑(光引發(fā)劑)、單體(活性稀釋劑)、溶劑與助劑。
其中,光引發(fā)劑和樹(shù)脂是光刻膠的最核心部分,樹(shù)脂起到聚合作用,形成光刻膠的骨架;光引發(fā)劑是光刻膠材料中的光敏成分,能發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)。
從光刻技術(shù)正式被應(yīng)用起,整個(gè)行業(yè)就處于不斷迭代之中,光源與光刻膠是光刻技術(shù)迭代的核心。
就光刻膠而言,其波長(zhǎng)由紫外寬譜向g線(xiàn)(436nm)、i線(xiàn)(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)、F2(157nm)、EUV(13.5nm)的方向轉(zhuǎn)移,并通過(guò)分辨率增強(qiáng)技術(shù)不斷提升光刻膠的分辨率水平。
實(shí)際上,光刻膠的進(jìn)化趨勢(shì)與摩爾定律相匹配。1965年,英特爾公司創(chuàng)始人戈登·摩爾提出了一個(gè)關(guān)于計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器發(fā)展趨勢(shì)的報(bào)告,在其中它獲得了一個(gè)驚人的發(fā)現(xiàn):在每個(gè)新的芯片大體上包含其前任兩倍的容量,每個(gè)芯片產(chǎn)生的時(shí)間都是在前一個(gè)芯片產(chǎn)生后的18-24個(gè)月內(nèi)。
這就意味著處理器的工作效率翻倍,而成本則降至至一半。對(duì)于采用光刻技術(shù)進(jìn)行加工的半導(dǎo)體而言,光刻的線(xiàn)寬極限和精度直接決定了集成路的集成度、可靠性和成本。
根據(jù)摩爾定律,由于光源波長(zhǎng)與加工線(xiàn)寬呈線(xiàn)性關(guān)系,這意味著光源采用更短的波長(zhǎng)將得到更小的圖案、在單位面積上實(shí)現(xiàn)更高的電子元件集成度,從二獲得更高的性能與更低的成本。
由此不難發(fā)現(xiàn),看似不起眼的光刻膠實(shí)則是一個(gè)不斷進(jìn)化中的行業(yè)。
02 背后的密碼
縱觀現(xiàn)階段光刻膠產(chǎn)業(yè)格局,日本一家獨(dú)大,美國(guó)尚可自足,中國(guó)仍處于追趕之中。
相關(guān)數(shù)據(jù)顯示,全球光刻膠市場(chǎng)中,日本份額占比達(dá)到72%,而中國(guó)企業(yè)的市場(chǎng)占有率不足13%。如果進(jìn)一步聚焦生產(chǎn)難度更大的半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng),中國(guó)企業(yè)的占有率就更微乎其微。
追根溯源,美國(guó)柯達(dá)其實(shí)是光刻技術(shù)的最早應(yīng)用者,而在很長(zhǎng)一段時(shí)間中,美國(guó)企業(yè)都在光刻膠技術(shù)方面遙遙領(lǐng)先。
但真正的轉(zhuǎn)折點(diǎn)其實(shí)并不產(chǎn)生在光刻膠本身,而是由上游光刻機(jī)所主導(dǎo)。從1976年開(kāi)始,日本企業(yè)尼康、佳能全面布局光刻機(jī)領(lǐng)域,而美國(guó)光刻機(jī)龍頭就成為它們效仿的對(duì)象。
像很多追趕中的企業(yè)一樣,由于性能優(yōu)越,日本光刻機(jī)很快追上了美國(guó)產(chǎn)品。
1986年,半導(dǎo)體市場(chǎng)大滑坡,表現(xiàn)在公司層面就是龍頭公司巨額虧損,裁員、降薪接踵而至,這讓曾經(jīng)風(fēng)光無(wú)限的美國(guó)光刻機(jī)市場(chǎng)慘遭重創(chuàng)。另一方面,日本企業(yè)的崛起并在此時(shí)當(dāng)時(shí)次時(shí)代產(chǎn)品KrF光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)趕超。
光刻機(jī)市場(chǎng)的反超傳導(dǎo)至配件光刻膠市場(chǎng),1995年?yáng)|京應(yīng)化實(shí)現(xiàn)KrF光刻膠商業(yè)化,徹底打破了以IBM為首的美國(guó)企業(yè)的壟斷。在1986年的光刻機(jī)大變局后,日本企業(yè)代替美國(guó)企業(yè)成為了世界光刻機(jī)的焦點(diǎn),而美國(guó)則徹底淪為配角。
光刻膠需求量很小,所以很少有巨頭“ALL IN”這一單品市場(chǎng),它大多數(shù)還是作為大型化學(xué)公司的一個(gè)部門(mén)而存在。同時(shí)作為光刻機(jī)的配套產(chǎn)業(yè),其背后則直接與國(guó)家產(chǎn)業(yè)力量高度相關(guān)。
如果單從產(chǎn)品本身出發(fā),相信光刻膠的合成并不困難,但其卻面對(duì)與光刻體系的適用性的限制。單就光刻膠本身而言,其本身并不具備變準(zhǔn)化,各家的產(chǎn)品也會(huì)因?yàn)閹追N原料配比的差異而產(chǎn)生不同的效果。
在光刻的7大流程中,單一光刻膠的改變,很可能引發(fā)其它流程的連鎖反應(yīng),甚至?xí)?duì)最終的結(jié)果造成極大的影響。為了保證產(chǎn)品的穩(wěn)定性,在取得穩(wěn)定的光刻膠供給后,客戶(hù)們并不愿意輕易更換其它產(chǎn)品的。
光刻膠市場(chǎng)需求量本就有限,同時(shí)客戶(hù)還被深度綁定,這就讓光刻膠新入局者缺乏動(dòng)力,而缺乏與之匹配的高端光刻機(jī),亦是阻礙中國(guó)光刻膠發(fā)展的核心因素之一。
但這并不意味著中國(guó)企業(yè)不存在機(jī)會(huì)??v觀光刻機(jī)發(fā)展歷史,在尖端光刻機(jī)市場(chǎng),日本尼康已經(jīng)被荷蘭ASML趕超;而半導(dǎo)體制造中,整個(gè)產(chǎn)業(yè)也從日本轉(zhuǎn)移到了中國(guó)和韓國(guó)。如此來(lái)看,中國(guó)光刻膠企業(yè)是存在發(fā)展機(jī)會(huì)的。
03 產(chǎn)業(yè)暗戰(zhàn)
盡管日本已經(jīng)不再是最頂尖的光刻機(jī)制造者,但其依舊憑借在光刻膠企業(yè)的多年積累,申請(qǐng)了大量的專(zhuān)利和技術(shù)儲(chǔ)備,并利用產(chǎn)能去限制潛在競(jìng)爭(zhēng)者。一定程度的上,小小的光刻膠已經(jīng)成為日本的戰(zhàn)略武器。
2019年,日本就曾宣布對(duì)韓國(guó)進(jìn)行出口管制,而制裁的核心正是聚焦于氟聚酰亞胺、光刻膠、高純度氟化氫三種材料產(chǎn)品。從用途來(lái)看,這三種材料分別是顯示面板、半導(dǎo)體芯片制造中的核心材料,同時(shí)日本也在這三項(xiàng)材料中占據(jù)統(tǒng)治地位。
在當(dāng)時(shí)的清單上,15~193光刻膠是使用氟化氫(ArF)光源的半導(dǎo)體光刻膠。1~15以下的是極紫外線(xiàn)(EUV)用光刻膠。而這些正是當(dāng)時(shí)三星電子和SK海力士在半導(dǎo)體生產(chǎn)中所需要的的核心材料。
由于高端光刻膠的保質(zhì)期為6-9個(gè)月,保存較為困難,因此企業(yè)很難通過(guò)大規(guī)模儲(chǔ)存的方式來(lái)避免被“卡脖子”的窘境,這也就導(dǎo)致即使是韓國(guó)這樣的芯片強(qiáng)國(guó),也不得不面對(duì)潛在的停產(chǎn)困局。
據(jù)韓國(guó)貿(mào)易協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì),在日本制裁的2019年,韓國(guó)芯片設(shè)備最大的進(jìn)口國(guó)依然是日本,進(jìn)口規(guī)模高達(dá)3296億美元,由此可以看出日本在芯片行業(yè)的深厚積淀。
從韓國(guó)身上,中國(guó)相關(guān)企業(yè)可以找到答案,半導(dǎo)體項(xiàng)目需要長(zhǎng)時(shí)間投入、重資布局,這一過(guò)程中,勢(shì)必會(huì)遇到險(xiǎn)阻,也有可能遭遇困境。這是一條荊棘之路,但同時(shí)也是一條必經(jīng)之路。
04 光刻膠的中國(guó)軍團(tuán)
正如前文所述,光刻膠市場(chǎng)規(guī)模很小,同時(shí)由于產(chǎn)業(yè)限制,參與者很難快速獲得可觀的利潤(rùn)。如果單純從財(cái)務(wù)角度看,光刻膠并非一個(gè)好的生意。
另一方面,從摩爾效應(yīng)出發(fā),光刻機(jī)的迭代已經(jīng)十分迅速,目前中國(guó)企業(yè)落后明顯,因此中國(guó)的光刻膠企業(yè)不應(yīng)該再將高昂的研發(fā)費(fèi)用投入到低端光刻膠市場(chǎng),而是應(yīng)該對(duì)準(zhǔn)目前和未來(lái)的主流市場(chǎng)。
如果目前中國(guó)光刻膠企業(yè)還按照行業(yè)發(fā)展規(guī)律從低端向高端一步一步研發(fā),那么勢(shì)必會(huì)受累于此,導(dǎo)致最終入不敷出。
從某種意義而言,光刻膠不是一個(gè)單純的國(guó)產(chǎn)替代邏輯,而其真正存在的機(jī)會(huì),就是中國(guó)企業(yè)誰(shuí)能跟誰(shuí)主流,打破日本年的壟斷。
就信越化學(xué)斷供的KrF級(jí)別光刻膠而言,這正是當(dāng)年日本趕超美國(guó)成為龍頭的產(chǎn)品,本就是一款并不那么新的產(chǎn)品。然而即使是這一級(jí)別,國(guó)內(nèi)能夠參與其中的公司也只有寥寥數(shù)家,更不要提后續(xù)的ArF級(jí)別和EUV級(jí)別產(chǎn)品了。
縱觀目前中國(guó)光刻膠市場(chǎng),涉足研發(fā)KrF級(jí)別以上產(chǎn)品的公司共有五家:徐州博康、彤程新材、南大光電、上海新陽(yáng)、晶瑞股份。
徐州博康成立于2010年,專(zhuān)注于中高端光刻膠研發(fā)。從2017年其,博康開(kāi)始承擔(dān)國(guó)際02項(xiàng)目中的《193納米光刻膠的開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化》,并于2019年正式被國(guó)家確定為光刻膠單體的國(guó)標(biāo)制定單位。
目前,博康已經(jīng)成功開(kāi)發(fā)I線(xiàn)光刻膠、KrF光刻膠、ArF光刻膠和電子束光刻膠四大系列光刻膠產(chǎn)品,同時(shí)集合了單體、樹(shù)脂等光刻膠上游材料和光刻膠的全產(chǎn)業(yè)鏈開(kāi)發(fā)。
徐州博康并未上市,2020年1月華懋科技通過(guò)產(chǎn)業(yè)基金向徐州博康進(jìn)行投資,產(chǎn)業(yè)基金東陽(yáng)凱陽(yáng)擬出資 3000 萬(wàn)元向徐州博康增資,增資后持有徐州博康 1.186%股權(quán),同時(shí)獲得 5.5 億元無(wú)條件轉(zhuǎn)股權(quán)和 2.2 億元股權(quán)轉(zhuǎn)讓權(quán),若全部轉(zhuǎn)股合計(jì)持有 31.63%股權(quán)。
彤程新材是新材料綜合服務(wù)商,通過(guò)收購(gòu),獲得北京科華56.56%股權(quán),成為公司第一大股東。由此成功的從橡膠廠(chǎng)商切換至光刻膠賽道。同時(shí)其還擁有另一家光刻膠廠(chǎng)商北京北旭電子45%的股份。
北京科華成立于2004年,去年?duì)I收 8928 萬(wàn)元,是中國(guó)大陸銷(xiāo)售額最高的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體光刻膠公司,旗下產(chǎn)品已經(jīng)覆蓋KrF(248nm)、I-line、G-line、紫外寬譜的光刻膠及配套試劑。公司擁有中高檔光刻膠生產(chǎn)基地,能夠?qū)崿F(xiàn)KrF級(jí)別產(chǎn)品的百?lài)嵙慨a(chǎn)。
2010 年起,北京科華承擔(dān) KrF 光刻膠國(guó)家 02 專(zhuān)項(xiàng),并于 2014 年完成產(chǎn)業(yè)化并形成銷(xiāo)售,2020 年 KrF(248nm)光刻膠銷(xiāo)售 286萬(wàn)元,是唯一可以批量供應(yīng)KrF光刻膠給8寸和12寸客戶(hù)的本土光刻膠公司。
晶瑞股份產(chǎn)品涉及超凈高純?cè)噭?、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎(chǔ)化工材料等。公司的光刻膠由公司的子公司蘇州瑞紅生產(chǎn),擁有國(guó)家 02 重大專(zhuān)項(xiàng)資助的一流光刻膠研發(fā)和評(píng)價(jià)實(shí)驗(yàn)室。
蘇州瑞紅承擔(dān)的 02 國(guó)家重大專(zhuān)項(xiàng)光刻膠項(xiàng)目已通過(guò)驗(yàn)收并實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售,紫外負(fù)型光刻膠和寬譜正膠及部分 g 線(xiàn)等高端產(chǎn)品已規(guī)模供應(yīng)市場(chǎng)數(shù)十年,i 線(xiàn)光刻膠近年已供應(yīng)國(guó)內(nèi)頭部芯片公司,高端 KrF(248nm)光刻膠完成中試,產(chǎn)品分辨率達(dá)到了 0.25~0.13m 的技術(shù)要求,建成了中試示范線(xiàn)。
上海新陽(yáng)主營(yíng)開(kāi)發(fā)銅互連電鍍液及添加劑、蝕刻后清洗液、ArF干法、KrF、I線(xiàn)光刻膠、底部抗反射膜等配套材料。
2016年底公司立項(xiàng)開(kāi)發(fā)集成電路制造用高端光刻膠,公司已研發(fā)獲得多個(gè)ArF干法、KrF厚膜光刻膠產(chǎn)品配方、工藝數(shù)據(jù)和技術(shù)參數(shù),得到了多次可重復(fù)的實(shí)驗(yàn)室曝光結(jié)果,關(guān)鍵曝光參數(shù)已經(jīng)達(dá)到了光刻生產(chǎn)工藝對(duì)商用光刻膠可以進(jìn)行中試產(chǎn)品驗(yàn)證的基本要求。
南大光電是一家專(zhuān)業(yè)從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè),公司正式成立于 2000 年,技術(shù)來(lái)源于南京大學(xué)。
2020年12月,南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品成功通過(guò)武漢新芯的使用認(rèn)證,成為通過(guò)產(chǎn)品驗(yàn)證的第一只國(guó)產(chǎn)ArF光刻膠。
建立ArF光刻膠產(chǎn)品大規(guī)模生產(chǎn)線(xiàn),形成年產(chǎn)25噸ArF(干式/浸沒(méi)式)光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)能力,產(chǎn)品性能滿(mǎn)足90nm-14nm集成電路制造的要求,在通過(guò)下游客戶(hù)使用認(rèn)證后實(shí)現(xiàn)批量銷(xiāo)售。
五家公司誰(shuí)能跑贏,這存在著變數(shù),但這卻很可能是半導(dǎo)體行業(yè)未來(lái)發(fā)展的風(fēng)口。我們的半導(dǎo)體行業(yè)想要真正強(qiáng)大,不僅需要突破制造端的限制,還要突破原材料端的封鎖。
05 結(jié)語(yǔ)
總體而言,疫情是中國(guó)企業(yè)整體崛起的一次機(jī)會(huì)。
縱觀國(guó)際疫情肆虐,而國(guó)內(nèi)疫情控制極好,不僅很早就復(fù)產(chǎn)復(fù)工,而且很多行業(yè)的產(chǎn)業(yè)規(guī)模已經(jīng)超越疫情前水平。
過(guò)去幾年,很多外資企業(yè)將產(chǎn)業(yè)基地搬移至東南亞國(guó)家,而在疫情之下,已經(jīng)開(kāi)始有部分企業(yè)重新回歸中國(guó)。從這方面看,中國(guó)制造依然有著強(qiáng)勁的優(yōu)勢(shì)。
聚焦半導(dǎo)體材料行業(yè),雖然日本依然有著其它國(guó)家無(wú)可比擬技術(shù)實(shí)力,但在下游市場(chǎng),中國(guó)產(chǎn)業(yè)鏈已經(jīng)成為不可或缺的一環(huán),這種大趨勢(shì)下,中國(guó)企業(yè)的自主可控話(huà)將是大勢(shì)所趨。
突發(fā)的光刻膠斷供消息,對(duì)于中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)而言可能并不是壞事,這讓投資者重新將注意力投回到了中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)。
光刻膠行業(yè)雖然僅占半導(dǎo)體整體的不到1%,但這確實(shí)必須爭(zhēng)下來(lái)的1%。