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必爭的1%:硝煙彌漫的半導體暗戰(zhàn)

2021-06-03
來源:百度新聞
關(guān)鍵詞: 半導體 南大光電 徐州博康

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  5月27日,一則日本將對中國斷供光刻膠的消息震驚資本市場。據(jù)外媒透露,日本光刻膠龍頭企業(yè)信越化學將限制向中國多家一線晶圓廠供貨KrF級別光刻膠,迫使晶圓廠恐將面臨缺失光刻膠的窘境。

  斷供尚未正式落地,但市場對斷供光刻膠的恐懼卻率先反應的股價上。27日收盤,容大感光、晶瑞股份等國產(chǎn)光刻膠概念股紛紛漲停。

  從市場規(guī)模上看,在半導體產(chǎn)業(yè)鏈條中,光刻膠只不過占比不足1%的細小市場。數(shù)據(jù)顯示,2020年全球半導體市場規(guī)模4260億美元,而應用于半導體市場的光刻膠規(guī)模卻僅為19億元,僅占半導體行業(yè)的0.4%。

  究竟市場為何會因為小小的光刻膠而引發(fā)如此震動?投資者們又在擔心什么?

  01 持續(xù)迭代的光刻膠

  光刻膠涉及到PCB、LCD和半導體三個應用方向,本文探討的核心就在于被市場關(guān)注的半導體光刻膠。

  光刻工藝是芯片制造的精髓,成本約占芯片總成本的35%,耗時約占整個芯片總耗時的50%。光刻并非由光刻機直接用激光在硅片上雕刻而成,而是一系列復雜流程才獲得的最終結(jié)果。

  半導體制作過程中,光刻膠是必不可少的核心原料,缺了它就將讓半導體的光刻流程陷入癱瘓。具體而言,光刻會涉及七大流程:涂膠、前烘、曝光、顯影、豎膜、刻蝕、去膠。

  需要首先在硅片上涂抹一種能夠改變硅片溶解度的光致抗蝕劑,也就是光刻膠。然后經(jīng)過曝光(改變光刻膠溶解度)、顯影(利用顯影液溶解改性后光刻膠的可溶部分)處理。

  由于光刻膠改變了部分溶解度,因此沒有被涂抹的地方就會被溶解,由此形成圖案,最終再通過刻蝕在硅片上畫出電路圖。

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  按照成分考量,光刻膠主要由五部分組成,分別是感光樹脂(聚合劑)、增感劑(光引發(fā)劑)、單體(活性稀釋劑)、溶劑與助劑。

  其中,光引發(fā)劑和樹脂是光刻膠的最核心部分,樹脂起到聚合作用,形成光刻膠的骨架;光引發(fā)劑是光刻膠材料中的光敏成分,能發(fā)生光化學反應。

  從光刻技術(shù)正式被應用起,整個行業(yè)就處于不斷迭代之中,光源與光刻膠是光刻技術(shù)迭代的核心。

  就光刻膠而言,其波長由紫外寬譜向g線(436nm)、i線(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)、F2(157nm)、EUV(13.5nm)的方向轉(zhuǎn)移,并通過分辨率增強技術(shù)不斷提升光刻膠的分辨率水平。

  實際上,光刻膠的進化趨勢與摩爾定律相匹配。1965年,英特爾公司創(chuàng)始人戈登·摩爾提出了一個關(guān)于計算機存儲器發(fā)展趨勢的報告,在其中它獲得了一個驚人的發(fā)現(xiàn):在每個新的芯片大體上包含其前任兩倍的容量,每個芯片產(chǎn)生的時間都是在前一個芯片產(chǎn)生后的18-24個月內(nèi)。

  這就意味著處理器的工作效率翻倍,而成本則降至至一半。對于采用光刻技術(shù)進行加工的半導體而言,光刻的線寬極限和精度直接決定了集成路的集成度、可靠性和成本。

  根據(jù)摩爾定律,由于光源波長與加工線寬呈線性關(guān)系,這意味著光源采用更短的波長將得到更小的圖案、在單位面積上實現(xiàn)更高的電子元件集成度,從二獲得更高的性能與更低的成本。

  由此不難發(fā)現(xiàn),看似不起眼的光刻膠實則是一個不斷進化中的行業(yè)。

  02 背后的密碼

  縱觀現(xiàn)階段光刻膠產(chǎn)業(yè)格局,日本一家獨大,美國尚可自足,中國仍處于追趕之中。

  相關(guān)數(shù)據(jù)顯示,全球光刻膠市場中,日本份額占比達到72%,而中國企業(yè)的市場占有率不足13%。如果進一步聚焦生產(chǎn)難度更大的半導體光刻膠市場,中國企業(yè)的占有率就更微乎其微。

  追根溯源,美國柯達其實是光刻技術(shù)的最早應用者,而在很長一段時間中,美國企業(yè)都在光刻膠技術(shù)方面遙遙領(lǐng)先。

  但真正的轉(zhuǎn)折點其實并不產(chǎn)生在光刻膠本身,而是由上游光刻機所主導。從1976年開始,日本企業(yè)尼康、佳能全面布局光刻機領(lǐng)域,而美國光刻機龍頭就成為它們效仿的對象。

  像很多追趕中的企業(yè)一樣,由于性能優(yōu)越,日本光刻機很快追上了美國產(chǎn)品。

  1986年,半導體市場大滑坡,表現(xiàn)在公司層面就是龍頭公司巨額虧損,裁員、降薪接踵而至,這讓曾經(jīng)風光無限的美國光刻機市場慘遭重創(chuàng)。另一方面,日本企業(yè)的崛起并在此時當時次時代產(chǎn)品KrF光刻機實現(xiàn)趕超。

  光刻機市場的反超傳導至配件光刻膠市場,1995年東京應化實現(xiàn)KrF光刻膠商業(yè)化,徹底打破了以IBM為首的美國企業(yè)的壟斷。在1986年的光刻機大變局后,日本企業(yè)代替美國企業(yè)成為了世界光刻機的焦點,而美國則徹底淪為配角。

  光刻膠需求量很小,所以很少有巨頭“ALL IN”這一單品市場,它大多數(shù)還是作為大型化學公司的一個部門而存在。同時作為光刻機的配套產(chǎn)業(yè),其背后則直接與國家產(chǎn)業(yè)力量高度相關(guān)。

  如果單從產(chǎn)品本身出發(fā),相信光刻膠的合成并不困難,但其卻面對與光刻體系的適用性的限制。單就光刻膠本身而言,其本身并不具備變準化,各家的產(chǎn)品也會因為幾種原料配比的差異而產(chǎn)生不同的效果。

  在光刻的7大流程中,單一光刻膠的改變,很可能引發(fā)其它流程的連鎖反應,甚至會對最終的結(jié)果造成極大的影響。為了保證產(chǎn)品的穩(wěn)定性,在取得穩(wěn)定的光刻膠供給后,客戶們并不愿意輕易更換其它產(chǎn)品的。

  光刻膠市場需求量本就有限,同時客戶還被深度綁定,這就讓光刻膠新入局者缺乏動力,而缺乏與之匹配的高端光刻機,亦是阻礙中國光刻膠發(fā)展的核心因素之一。

  但這并不意味著中國企業(yè)不存在機會。縱觀光刻機發(fā)展歷史,在尖端光刻機市場,日本尼康已經(jīng)被荷蘭ASML趕超;而半導體制造中,整個產(chǎn)業(yè)也從日本轉(zhuǎn)移到了中國和韓國。如此來看,中國光刻膠企業(yè)是存在發(fā)展機會的。

  03 產(chǎn)業(yè)暗戰(zhàn)

  盡管日本已經(jīng)不再是最頂尖的光刻機制造者,但其依舊憑借在光刻膠企業(yè)的多年積累,申請了大量的專利和技術(shù)儲備,并利用產(chǎn)能去限制潛在競爭者。一定程度的上,小小的光刻膠已經(jīng)成為日本的戰(zhàn)略武器。

  2019年,日本就曾宣布對韓國進行出口管制,而制裁的核心正是聚焦于氟聚酰亞胺、光刻膠、高純度氟化氫三種材料產(chǎn)品。從用途來看,這三種材料分別是顯示面板、半導體芯片制造中的核心材料,同時日本也在這三項材料中占據(jù)統(tǒng)治地位。

  在當時的清單上,15~193光刻膠是使用氟化氫(ArF)光源的半導體光刻膠。1~15以下的是極紫外線(EUV)用光刻膠。而這些正是當時三星電子和SK海力士在半導體生產(chǎn)中所需要的的核心材料。

  由于高端光刻膠的保質(zhì)期為6-9個月,保存較為困難,因此企業(yè)很難通過大規(guī)模儲存的方式來避免被“卡脖子”的窘境,這也就導致即使是韓國這樣的芯片強國,也不得不面對潛在的停產(chǎn)困局。

  據(jù)韓國貿(mào)易協(xié)會統(tǒng)計,在日本制裁的2019年,韓國芯片設(shè)備最大的進口國依然是日本,進口規(guī)模高達3296億美元,由此可以看出日本在芯片行業(yè)的深厚積淀。

  從韓國身上,中國相關(guān)企業(yè)可以找到答案,半導體項目需要長時間投入、重資布局,這一過程中,勢必會遇到險阻,也有可能遭遇困境。這是一條荊棘之路,但同時也是一條必經(jīng)之路。

  04 光刻膠的中國軍團

  正如前文所述,光刻膠市場規(guī)模很小,同時由于產(chǎn)業(yè)限制,參與者很難快速獲得可觀的利潤。如果單純從財務(wù)角度看,光刻膠并非一個好的生意。

  另一方面,從摩爾效應出發(fā),光刻機的迭代已經(jīng)十分迅速,目前中國企業(yè)落后明顯,因此中國的光刻膠企業(yè)不應該再將高昂的研發(fā)費用投入到低端光刻膠市場,而是應該對準目前和未來的主流市場。

  如果目前中國光刻膠企業(yè)還按照行業(yè)發(fā)展規(guī)律從低端向高端一步一步研發(fā),那么勢必會受累于此,導致最終入不敷出。

  從某種意義而言,光刻膠不是一個單純的國產(chǎn)替代邏輯,而其真正存在的機會,就是中國企業(yè)誰能跟誰主流,打破日本年的壟斷。

  就信越化學斷供的KrF級別光刻膠而言,這正是當年日本趕超美國成為龍頭的產(chǎn)品,本就是一款并不那么新的產(chǎn)品。然而即使是這一級別,國內(nèi)能夠參與其中的公司也只有寥寥數(shù)家,更不要提后續(xù)的ArF級別和EUV級別產(chǎn)品了。

  縱觀目前中國光刻膠市場,涉足研發(fā)KrF級別以上產(chǎn)品的公司共有五家:徐州博康、彤程新材、南大光電、上海新陽、晶瑞股份。

  徐州博康成立于2010年,專注于中高端光刻膠研發(fā)。從2017年其,博康開始承擔國際02項目中的《193納米光刻膠的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化》,并于2019年正式被國家確定為光刻膠單體的國標制定單位。

  目前,博康已經(jīng)成功開發(fā)I線光刻膠、KrF光刻膠、ArF光刻膠和電子束光刻膠四大系列光刻膠產(chǎn)品,同時集合了單體、樹脂等光刻膠上游材料和光刻膠的全產(chǎn)業(yè)鏈開發(fā)。

  徐州博康并未上市,2020年1月華懋科技通過產(chǎn)業(yè)基金向徐州博康進行投資,產(chǎn)業(yè)基金東陽凱陽擬出資 3000 萬元向徐州博康增資,增資后持有徐州博康 1.186%股權(quán),同時獲得 5.5 億元無條件轉(zhuǎn)股權(quán)和 2.2 億元股權(quán)轉(zhuǎn)讓權(quán),若全部轉(zhuǎn)股合計持有 31.63%股權(quán)。

  彤程新材是新材料綜合服務(wù)商,通過收購,獲得北京科華56.56%股權(quán),成為公司第一大股東。由此成功的從橡膠廠商切換至光刻膠賽道。同時其還擁有另一家光刻膠廠商北京北旭電子45%的股份。

  北京科華成立于2004年,去年營收 8928 萬元,是中國大陸銷售額最高的國產(chǎn)半導體光刻膠公司,旗下產(chǎn)品已經(jīng)覆蓋KrF(248nm)、I-line、G-line、紫外寬譜的光刻膠及配套試劑。公司擁有中高檔光刻膠生產(chǎn)基地,能夠?qū)崿F(xiàn)KrF級別產(chǎn)品的百噸量產(chǎn)。

  2010 年起,北京科華承擔 KrF 光刻膠國家 02 專項,并于 2014 年完成產(chǎn)業(yè)化并形成銷售,2020 年 KrF(248nm)光刻膠銷售 286萬元,是唯一可以批量供應KrF光刻膠給8寸和12寸客戶的本土光刻膠公司。

  晶瑞股份產(chǎn)品涉及超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎(chǔ)化工材料等。公司的光刻膠由公司的子公司蘇州瑞紅生產(chǎn),擁有國家 02 重大專項資助的一流光刻膠研發(fā)和評價實驗室。

  蘇州瑞紅承擔的 02 國家重大專項光刻膠項目已通過驗收并實現(xiàn)銷售,紫外負型光刻膠和寬譜正膠及部分 g 線等高端產(chǎn)品已規(guī)模供應市場數(shù)十年,i 線光刻膠近年已供應國內(nèi)頭部芯片公司,高端 KrF(248nm)光刻膠完成中試,產(chǎn)品分辨率達到了 0.25~0.13m 的技術(shù)要求,建成了中試示范線。

  上海新陽主營開發(fā)銅互連電鍍液及添加劑、蝕刻后清洗液、ArF干法、KrF、I線光刻膠、底部抗反射膜等配套材料。

  2016年底公司立項開發(fā)集成電路制造用高端光刻膠,公司已研發(fā)獲得多個ArF干法、KrF厚膜光刻膠產(chǎn)品配方、工藝數(shù)據(jù)和技術(shù)參數(shù),得到了多次可重復的實驗室曝光結(jié)果,關(guān)鍵曝光參數(shù)已經(jīng)達到了光刻生產(chǎn)工藝對商用光刻膠可以進行中試產(chǎn)品驗證的基本要求。

  南大光電是一家專業(yè)從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè),公司正式成立于 2000 年,技術(shù)來源于南京大學。

  2020年12月,南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品成功通過武漢新芯的使用認證,成為通過產(chǎn)品驗證的第一只國產(chǎn)ArF光刻膠。

  建立ArF光刻膠產(chǎn)品大規(guī)模生產(chǎn)線,形成年產(chǎn)25噸ArF(干式/浸沒式)光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)能力,產(chǎn)品性能滿足90nm-14nm集成電路制造的要求,在通過下游客戶使用認證后實現(xiàn)批量銷售。

  五家公司誰能跑贏,這存在著變數(shù),但這卻很可能是半導體行業(yè)未來發(fā)展的風口。我們的半導體行業(yè)想要真正強大,不僅需要突破制造端的限制,還要突破原材料端的封鎖。

  05 結(jié)語

  總體而言,疫情是中國企業(yè)整體崛起的一次機會。

  縱觀國際疫情肆虐,而國內(nèi)疫情控制極好,不僅很早就復產(chǎn)復工,而且很多行業(yè)的產(chǎn)業(yè)規(guī)模已經(jīng)超越疫情前水平。

  過去幾年,很多外資企業(yè)將產(chǎn)業(yè)基地搬移至東南亞國家,而在疫情之下,已經(jīng)開始有部分企業(yè)重新回歸中國。從這方面看,中國制造依然有著強勁的優(yōu)勢。

  聚焦半導體材料行業(yè),雖然日本依然有著其它國家無可比擬技術(shù)實力,但在下游市場,中國產(chǎn)業(yè)鏈已經(jīng)成為不可或缺的一環(huán),這種大趨勢下,中國企業(yè)的自主可控話將是大勢所趨。

  突發(fā)的光刻膠斷供消息,對于中國半導體企業(yè)而言可能并不是壞事,這讓投資者重新將注意力投回到了中國半導體行業(yè)。

  光刻膠行業(yè)雖然僅占半導體整體的不到1%,但這確實必須爭下來的1%。




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