為貫徹落實(shí)中國(guó)制造2025、制造業(yè)與互聯(lián)網(wǎng)融合發(fā)展、大數(shù)據(jù)等國(guó)家戰(zhàn)略，把握新一代信息技術(shù)深度調(diào)整戰(zhàn)略機(jī)遇期，提升智能傳感器產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力，保障國(guó)家信息安全，2017年11月23日工業(yè)和信息化部按照《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》要求，結(jié)合《加快推進(jìn)傳感器及智能化儀器儀表產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動(dòng)計(jì)劃》，制定了《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動(dòng)指南（2017-2019年）》?！缎袆?dòng)指南》支持建設(shè)國(guó)家及省級(jí)智能傳感器創(chuàng)新中心，依托基礎(chǔ)條件較好的科研院所和骨干企業(yè)，以資金或知識(shí)產(chǎn)權(quán)入股形式合資設(shè)立獨(dú)立的法人主體，形成一批具有知識(shí)產(chǎn)權(quán)和核心競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵技術(shù)成功，培養(yǎng)一批復(fù)合型新人才骨干，核心器件設(shè)計(jì)與制造技術(shù)達(dá)到國(guó)際水平。

　　作為中國(guó)三大傳感器研發(fā)制造基地之一，蚌埠擁有中國(guó)兵器工業(yè)第二一四研究所、希磁科技、北方芯動(dòng)聯(lián)科等一批智能傳感器研發(fā)設(shè)計(jì)制造企業(yè)，組建MEMS聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室等一批省級(jí)以上重大研發(fā)工程，成立了安徽省智能傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟。

　　順勢(shì)而為，依托“安徽省智能傳感器制造業(yè)創(chuàng)新中心”平臺(tái)，2019年11月，由中國(guó)兵器工業(yè)第二一四研究所牽頭，聯(lián)合清華大學(xué)精密儀器系、上汽集團(tuán)技術(shù)中心、中科院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究院、安徽合力集團(tuán)公司、安徽芯動(dòng)聯(lián)科微系統(tǒng)股份有限公司、合肥微納傳感技術(shù)有限公司、安徽奧弗醫(yī)療設(shè)備科技股份有限公司、安徽宏實(shí)自動(dòng)化裝備有限公司、杭州熾橙數(shù)字科技有限公司等單位共同組建“智能傳感器制造業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟（中心）”。

　　據(jù)智能傳感器制造業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟理事單位中國(guó)兵器工業(yè)第二一四研究所相關(guān)人士介紹，智能傳感器產(chǎn)業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的基礎(chǔ)性產(chǎn)業(yè)，與集成電路產(chǎn)業(yè)相互支撐共同決定了國(guó)家的核心競(jìng)爭(zhēng)力和國(guó)際地位。我國(guó)智能傳感器的研發(fā)體系中，各個(gè)研發(fā)機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期處于各自為政的情況，重復(fù)研究的情況屢見(jiàn)不鮮，不僅浪費(fèi)了資源，也導(dǎo)致了新技術(shù)研發(fā)周期的延長(zhǎng)，縮減了新技術(shù)能夠產(chǎn)生的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。創(chuàng)新聯(lián)盟的成立，可以匯聚各方資源，優(yōu)化資源配置，建立研發(fā)快速響應(yīng)機(jī)制，吸引國(guó)內(nèi)外的高端人才，最大限度的利用有限的資源產(chǎn)出最大的效益，加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研合作，從技術(shù)根源上徹底打破西方國(guó)家對(duì)我國(guó)智能傳感器領(lǐng)域的技術(shù)封鎖，對(duì)我國(guó)傳感器核心技術(shù)的發(fā)展起著巨大的推動(dòng)作用，將進(jìn)一步提升安徽省乃至國(guó)家的智能傳感器創(chuàng)新能力，進(jìn)一步提升我國(guó)核心技術(shù)的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力，實(shí)現(xiàn)智能傳感器自主可控。

　　智能傳感器制造業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟成立一年多來(lái)，取得了哪些重大進(jìn)展，芯思想研究院為此專程拜訪了聯(lián)盟，獲取了第一手的信息。

　　創(chuàng)新聯(lián)盟自2019年成立以來(lái)，以中國(guó)兵器工業(yè)第二一四研究所為核心，依托該所6英寸0.5μm半導(dǎo)體工藝線、6英寸MEMS工藝線、光電器件工藝平臺(tái)、硅基太赫茲IMPATT（雪崩二極管）芯片工藝平臺(tái)、電子模塊及組件SMT（表面組裝技術(shù)）工藝平臺(tái)、H級(jí)厚膜混合集成電路軍標(biāo)線、8寸LTCC生產(chǎn)線七大工藝平臺(tái)和工藝能力以及聯(lián)盟相關(guān)企業(yè)的設(shè)計(jì)能力，結(jié)合聯(lián)盟產(chǎn)業(yè)重心調(diào)整布局，將MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)作為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)，同時(shí)結(jié)合聯(lián)盟技術(shù)特色，確定了以高性能慣性器件、光通訊器件、紅外溫度傳感器、氣體傳感器、微流量傳感器、壓力傳感器等各類智能傳感器領(lǐng)域?yàn)橹攸c(diǎn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向。對(duì)標(biāo)國(guó)際先進(jìn)工藝，同時(shí)發(fā)揮自主創(chuàng)新能力，建立了四套特色MEMS體硅工藝體系，不斷提升聯(lián)盟MEMS研發(fā)能力以及產(chǎn)業(yè)化能力，著力打造國(guó)內(nèi)先進(jìn)的MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)基地。

　　一年多來(lái)，創(chuàng)新聯(lián)盟主要拓展五個(gè)領(lǐng)域應(yīng)用：

　　一是人工智能領(lǐng)域、無(wú)人系統(tǒng)用高性能MEMS器件與組件：自主可控的MEMS慣性器件（陀螺儀、加速度計(jì)）與組件，在國(guó)內(nèi)高端MEMS慣性器件市場(chǎng)形成了絕對(duì)領(lǐng)先地位，可廣泛應(yīng)用于無(wú)人機(jī)、智能汽車領(lǐng)域；

　　二是5G通訊及物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域，包含MEMS光學(xué)元件、MEMS執(zhí)行器、射頻MEMS器件：現(xiàn)已開展了硅基濾波器、功分器、天線等產(chǎn)品開發(fā)，相關(guān)產(chǎn)品具備產(chǎn)業(yè)化能力，依托5G通訊領(lǐng)域具有巨大市場(chǎng)前景，結(jié)合目前聯(lián)盟成熟的MEMS器件晶圓加工、封裝測(cè)試為一體化的工藝平臺(tái)，在提升我國(guó)光通信核心器件國(guó)產(chǎn)化水平的同時(shí)，搶先占領(lǐng)5G光通信領(lǐng)域戰(zhàn)略制高點(diǎn)；

　　三是智能裝備用MEMS傳感器領(lǐng)域：主要應(yīng)用在工業(yè)監(jiān)控、智能移動(dòng)終端、可穿戴設(shè)備等領(lǐng)域；

　　四是高端醫(yī)療裝備領(lǐng)域：2020年新冠肺炎疫情突發(fā)，應(yīng)對(duì)疫情的處置凸顯了加快補(bǔ)齊高端醫(yī)療裝備短板，加快核心技術(shù)攻關(guān)，突破技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)醫(yī)療裝備用核心器件自主可控；

　　五是智能家居用MEMS器件領(lǐng)域：隨著物聯(lián)網(wǎng)的高速發(fā)展，應(yīng)用于智能家居領(lǐng)域的氣體傳感器、陣列紅外溫度傳感器、壓力傳感器，聯(lián)合開發(fā)已實(shí)現(xiàn)6個(gè)產(chǎn)品系列。

　　科技創(chuàng)新取得重大突破

　　創(chuàng)新聯(lián)盟堅(jiān)持產(chǎn)學(xué)研深度融合的技術(shù)創(chuàng)新體系，在智能傳感器技術(shù)領(lǐng)域新增省級(jí)及國(guó)家級(jí)重大科研項(xiàng)目近十項(xiàng)，涉及MEMS、EMCCD、SOC、微波毫米波、數(shù)模轉(zhuǎn)換、功率器件等多個(gè)技術(shù)領(lǐng)域，比如聯(lián)盟成員中國(guó)兵器工業(yè)第二一四研究所先后拿下多項(xiàng)國(guó)家及省部級(jí)重大科研項(xiàng)目，其中國(guó)家發(fā)改委“智能與新能源汽車核心芯片研制與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，不僅可以將聯(lián)盟主要技術(shù)和產(chǎn)品向汽車領(lǐng)域拓展，同時(shí)將聯(lián)盟縱向科研開拓至國(guó)家發(fā)改委重點(diǎn)項(xiàng)目領(lǐng)域；與清華大學(xué)共同申報(bào)的“核高基”重大專項(xiàng)從“十三五”延續(xù)至“十四五”；與中國(guó)科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所合作的“數(shù)字診療裝備研發(fā)”專項(xiàng)，成功獲批科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃。一年多來(lái)，聯(lián)盟成員單位授權(quán)發(fā)明專利30余項(xiàng)，發(fā)表核心期刊論文15篇。

　　在關(guān)鍵技術(shù)方面，通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新，培育核心技術(shù)，依托核高基國(guó)家重大科技專項(xiàng)課題，攻克了一系列困擾MEMS產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)：比如6英寸SOI體硅MEMS工藝線在MEMS微結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸加工精度優(yōu)于0.3μm、重復(fù)性優(yōu)于0.5μm，加工垂直度優(yōu)于90°±0.1°；在EMCCD方面，以自主EMCCD器件為核心，完成了全國(guó)產(chǎn)化的、具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的EMCCD搜索與跟蹤系統(tǒng)研制，通過(guò)優(yōu)化組件結(jié)構(gòu)，提升組件視頻圖像采集傳輸和視頻圖像處理的能力，使得EMCCD工藝開發(fā)和產(chǎn)品工程化取得長(zhǎng)足發(fā)展；在LTCC器件方面，已具備完整的LTCC生產(chǎn)線和組封裝生產(chǎn)線，建立了多材料、多界面體系工藝、異形多空腔結(jié)構(gòu)、高密度集成、LTCC射頻器件、組件及微系統(tǒng)的制造工藝技術(shù)平臺(tái)，處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。

　　在基礎(chǔ)技術(shù)方面，陀螺儀、加速度抗過(guò)載能力達(dá)到18500g以上，達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平；開發(fā)了高可靠硅硅直接鍵合、共晶鍵合、玻璃漿料鍵合、靜電鍵合和熱壓鍵合技術(shù)，形成國(guó)內(nèi)最完整的鍵合工藝技術(shù)，是國(guó)內(nèi)唯一的擁有兩次硅硅鍵合工藝的企業(yè)；開發(fā)了不等高梳齒刻蝕技術(shù)，達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平；完成了部分微系統(tǒng)3D先進(jìn)集成制造的單項(xiàng)工藝技術(shù)攻關(guān)，為微系統(tǒng)產(chǎn)品研制與開發(fā)奠定基礎(chǔ)。

　　加快產(chǎn)業(yè)化發(fā)展腳步

　　聯(lián)盟堅(jiān)持“需求牽引、聚焦主業(yè)、解放思想、合作共贏”的方針，堅(jiān)定不移對(duì)外合作，擴(kuò)大合作資源，鼓勵(lì)多渠道與聯(lián)盟內(nèi)以及聯(lián)盟外高校、科研院所、企業(yè)建立科研與產(chǎn)業(yè)合作，建立緊密地產(chǎn)業(yè)合作生態(tài)鏈。緊緊圍繞MEMS、傳感器等產(chǎn)業(yè)，把推動(dòng)MEMS器件產(chǎn)業(yè)化發(fā)展放到首要地位，力爭(zhēng)到2022年底，MEMS專業(yè)技術(shù)實(shí)現(xiàn)國(guó)家層面有站位、前沿領(lǐng)域有跟蹤、產(chǎn)業(yè)發(fā)展有作為，實(shí)現(xiàn)聯(lián)盟快速高質(zhì)量發(fā)展。

　　以中國(guó)兵器工業(yè)第二一四研究所的6英寸MEMS工藝平臺(tái)、6英寸0.5μm半導(dǎo)體等工藝平臺(tái)為基礎(chǔ)，形成六大產(chǎn)品方向：

　?。?）MEMS慣性器件：與聯(lián)盟成員單位芯動(dòng)聯(lián)科公司聯(lián)合設(shè)計(jì)、共同研制，已形成9款MEMS陀螺，7款MEMS加速度計(jì)，5款微慣性測(cè)量模塊等系列化貨架產(chǎn)品，核心指標(biāo)完成覆蓋國(guó)外同類產(chǎn)品，可應(yīng)用在無(wú)人機(jī)姿態(tài)測(cè)量，智能機(jī)器人輔助導(dǎo)航，橋梁健康檢測(cè)診斷等領(lǐng)域。

　?。?）光MEMS器件：與聯(lián)盟成員單位中科米微公司聯(lián)合設(shè)計(jì)、共同研制了包括可調(diào)諧光衰減器、光開關(guān)、可調(diào)諧光濾波器在內(nèi)的9款光MEMSM微鏡系列產(chǎn)品，3款MEMS掃描鏡，“十四五”期間將圍繞光通訊，光傳感，光顯示，激光雷達(dá)等領(lǐng)域加大系列產(chǎn)品合作開發(fā)；

　　（3）MEMS紅外溫度傳感器：通過(guò)與聯(lián)盟成員單位合肥微納公司和蘇州容啟公司間聯(lián)合設(shè)計(jì)、共同研制，當(dāng)前已形成單元式與陣列式兩大類三種MEMS溫度傳感器產(chǎn)品，其中陣列式溫度傳感器具有靈活度高，同時(shí)具備測(cè)試移動(dòng)目標(biāo)的優(yōu)點(diǎn)，“十四五”將重點(diǎn)圍繞智能家居、醫(yī)療健康等行業(yè)加大產(chǎn)品迭代與產(chǎn)業(yè)化；

　?。?）MEMS氣體傳感器：與聯(lián)盟成員單位合肥微納公司聯(lián)合設(shè)計(jì)、共同研制，突破了復(fù)合介質(zhì)薄膜應(yīng)力匹配、難熔金屬高精度圖形化工藝，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化，主要檢測(cè)CO、VOC、NO等氣體，“十四五”將突破三位立體加熱臺(tái)的成套批生產(chǎn)工藝，進(jìn)一步降低傳感器功耗，提升傳感器性能；

　?。?）MEMS微流量傳感器：聯(lián)合相關(guān)企業(yè)研制攻關(guān)MEMS微流量傳感器，用于噴墨打印機(jī)領(lǐng)域，目前國(guó)內(nèi)還是瓶頸。該項(xiàng)技術(shù)的突破成功將以創(chuàng)新的MEMS技術(shù)引領(lǐng)噴墨打印產(chǎn)業(yè)的轉(zhuǎn)型，將為紡織、封裝、印刷電子等工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域帶來(lái)新的市場(chǎng)機(jī)遇。

　　（6）MEMS壓力傳感器：研制攻關(guān)6款壓力傳感器，產(chǎn)品通過(guò)SOI工藝制作MEMS壓力傳感器敏感芯片，將敏感芯片經(jīng)金屬隔離充液封裝而成的壓力芯體以及配合專用ASIC芯片調(diào)理完成的各類變送器產(chǎn)品，主要應(yīng)用于航空航天、艦載船舶、石油化工等領(lǐng)域，在研的微壓力傳感器，將廣泛應(yīng)用于未來(lái)醫(yī)用健康領(lǐng)域。

　　創(chuàng)新聯(lián)盟工作要?jiǎng)?chuàng)新

　　“十四五”期間要建成創(chuàng)新能力國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的“智能傳感器制造業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟（中心）”，孵化一批產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)高新技術(shù)企業(yè)，部分技術(shù)和產(chǎn)品達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平，引領(lǐng)安徽省成為集研發(fā)、制造、服務(wù)等于一體的具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力、國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的智能傳感器產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)。

　　“十四五”期間將進(jìn)一步加快聯(lián)盟內(nèi)科技成果轉(zhuǎn)化和軍民融合發(fā)展，發(fā)揮技術(shù)優(yōu)勢(shì)，推動(dòng)科技與市場(chǎng)、資本的有效結(jié)合，借鑒微系統(tǒng)所探索成立基金管理平臺(tái)公司的成功經(jīng)驗(yàn)，聯(lián)盟以中國(guó)兵器工業(yè)第二一四研究所為主聯(lián)合省市地方政府、中兵投資以及產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)共同發(fā)起成立產(chǎn)業(yè)基金。該基金圍繞MEMS產(chǎn)業(yè)鏈上下游研發(fā)設(shè)計(jì)、原材料生產(chǎn)、設(shè)備制造、晶圓加工、封裝測(cè)試等領(lǐng)域的投資，尤其關(guān)注聯(lián)盟在MEMS主流產(chǎn)品方向具有技術(shù)優(yōu)勢(shì)的設(shè)計(jì)公司。

　　“十四五”期間將由聯(lián)盟牽頭，整合各成員單位優(yōu)勢(shì)資源，聯(lián)合申報(bào)包括發(fā)改委、工信部、科技部等在內(nèi)的科技創(chuàng)新項(xiàng)目，提升聯(lián)盟在行業(yè)內(nèi)的影響力。

　　“十四五”期間將優(yōu)先對(duì)聯(lián)盟成員單位開放中國(guó)兵器工業(yè)第二一四研究所現(xiàn)有的七大工藝平臺(tái)，組織制訂聯(lián)盟成員間落地項(xiàng)目成果轉(zhuǎn)化優(yōu)惠政策，為聯(lián)盟產(chǎn)業(yè)化發(fā)展提供更優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。