芯片制造關(guān)鍵設(shè)備再突破！離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)全譜系產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化
2021-03-17
來(lái)源：全球半導(dǎo)體觀察
中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司17日對(duì)外公布，該集團(tuán)旗下裝備子集團(tuán)攻克系列“卡脖子”技術(shù)，已成功實(shí)現(xiàn)離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化，包括中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機(jī)，工藝段覆蓋至28nm，為我國(guó)芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈補(bǔ)上重要一環(huán)，為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機(jī)一站式解決方案。
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