《電子技術(shù)應(yīng)用》
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臺日合作研發(fā)新一代晶體管,用于2納米半導(dǎo)體制造

2021-03-09
來源:EETOP
關(guān)鍵詞: 晶體管 2納米

  中國臺灣半導(dǎo)體研究中心(TSRI)與日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)總合研究所(AIST)合作,開發(fā)新型晶體管結(jié)構(gòu)。日本媒體指出,這有助制造2納米以下線寬、規(guī)劃應(yīng)用在2024 年后的新一代先進(jìn)半導(dǎo)體。

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  TSRI在去年12月下旬公布,于IEEE國際電子器件會議IEDM(

  International Electron Devices Meeting)線上會議中,與日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)總合研究所共同開發(fā)低溫芯片鍵合技術(shù);相關(guān)技術(shù)可將不同通道材料的基板,直接鍵合成一個基板,并應(yīng)用在互補(bǔ)式晶體管器件上。

  這項(xiàng)技術(shù)可有效減少器件的面積,提供下一代半導(dǎo)體在多層鍵合與異質(zhì)整合的研究可行性參考。

  日本經(jīng)濟(jì)新聞中文網(wǎng)今天報道,這項(xiàng)共同研究計劃從2018 年啟動,日本和臺灣研究機(jī)構(gòu)各自發(fā)揮優(yōu)勢;日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)總合研究所利用先前累積的材料開發(fā)知識和堆疊異種材料的技術(shù),TSRI在異質(zhì)材料堆疊晶體管的設(shè)計和試制技術(shù)上提供協(xié)助。

  相關(guān)技術(shù)是將硅(Si)和鍺(Ge)等不同通道材料從上下方堆疊、使「n 型」和「p 型」場效應(yīng)晶體管(FET)靠近、名為CFET 的結(jié)構(gòu)。

  報道指出,與之前晶體管相比,CFET 結(jié)構(gòu)的晶體管性能高、面積小,有助制造2納米以下線寬的新一代半導(dǎo)體;此次開發(fā)的新型晶體管,預(yù)計應(yīng)用在2024 年以后的先進(jìn)半導(dǎo)體。

  日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)總合研究所表示,相關(guān)技術(shù)在世界上是首次,規(guī)劃未來3 年內(nèi)向民間企業(yè)轉(zhuǎn)讓技術(shù),實(shí)現(xiàn)商用化。

  晶圓代工龍頭臺積電也積極布局先進(jìn)半導(dǎo)體制程,董事長劉德音日前指出,臺積電3納米制程依計劃推進(jìn),甚至比預(yù)期還超前一些。臺積電原訂3納米今年試產(chǎn),預(yù)計2022 年下半年量產(chǎn);臺積電規(guī)劃3納米采用鰭式場效晶體管(FinFET)架構(gòu),2納米之后轉(zhuǎn)向環(huán)繞閘極(GAA)架構(gòu)。

  臺積電日前也公告赴日本投資定案,將在日本投資設(shè)立100% 持股子公司,實(shí)收資本額不超過186 億日圓,約1.86 億美元,擴(kuò)展3D芯片(3DIC)材料研究,預(yù)計今年完成。



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