在集成電路、平面顯示器件和太陽能等電子工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，從芯片生產(chǎn)到最后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體，因此電子氣體堪稱電子制造的“血液”。電子氣體成本僅占 IC 材料總成本的 5%-6%，但是即使只是某一種特定雜質(zhì)超標(biāo)，都可能導(dǎo)致產(chǎn)品嚴(yán)重缺陷，甚至因為不合格氣體的擴(kuò)散，導(dǎo)致整個生產(chǎn)線被污染或報廢。因此，電子氣體的品質(zhì)很大程度上決定了半導(dǎo)體器件性能的好壞，電子氣體純度每提高一個數(shù)量級，都會極大地推動半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍。

　　影響電子氣體純度及品質(zhì)的主要因素包括：氣體的生產(chǎn)和充裝、氣體混配和雜質(zhì)監(jiān)控，以及氣體的運輸和儲存三方面。

　　氣體的生產(chǎn)和充裝

　　電子氣體生產(chǎn)的瓶頸很多，從原材料純度開始，到合成工藝、對溫度和壓力的控制，再到提純方法和分析方法，以及產(chǎn)品充裝過程中對雜質(zhì)的控制，每個環(huán)節(jié)都會影響整個產(chǎn)品的質(zhì)量。

　　目前，受制于國內(nèi)生產(chǎn)技術(shù)的限制，大量5N/6N的高純氣體、稀有氣體及混合氣體需要依賴于進(jìn)口，一定程度上增加了運輸成本、供貨周期及產(chǎn)品污染的風(fēng)險?？諝猱a(chǎn)品公司的無錫電子級高純氣體工廠，大部分原料均來自于公司自有的空分設(shè)備，品質(zhì)更可控。

　　同時，無錫電子級高純氣體工廠配備了先進(jìn)的充裝設(shè)備，確保大批量、精準(zhǔn)的氣體充裝。

　　艾必利^?6N純氣充裝

　　空氣產(chǎn)品公司無錫電子級高純氣體工廠采用壓力法和重量法并用的充裝模式，配備先進(jìn)的SPIDER充裝臺，可實現(xiàn)大批量充裝，且此種模式混配比穩(wěn)定，沒有首末只充裝偏差，混配精度可控制在0.01%的范圍：如1.2%He/N2，混配精度可以控制在1.19-1.21%之內(nèi)。

　　艾必利稀有氣體充裝

　　空氣產(chǎn)品公司可提供從0.4升、1升到40升、47升及49升等規(guī)格，重量精確到0.001KG。精準(zhǔn)的管路設(shè)計可減少充裝損失量，使氣體重量更精準(zhǔn)、更穩(wěn)定。

　　艾必利準(zhǔn)分子激光混合氣

　　無錫電子級高純氣體工廠采用自動充裝柜，每柜均配有5克或50克感量的梅特勒地秤。每柜一支鋼瓶充裝設(shè)計，確保精準(zhǔn)充裝。同時混配范圍從200PPM 到%，范圍更寬。每支混配，可快速反應(yīng)客戶不同混配比需求，并做到最小偏差控制。

　　氣體混配和雜質(zhì)監(jiān)控

　　對于混合氣而言，配比的精度是核心參數(shù)，隨著產(chǎn)品組分的增加、配制精度的上升，客戶常要求氣體供應(yīng)商能夠?qū)Χ喾NPPM乃至PPB級濃度的氣體組分進(jìn)行精細(xì)操作，其配制過程的難度與復(fù)雜程度也顯著增大。此外，對氣體分析檢測和雜質(zhì)監(jiān)控也提出了更高的技術(shù)要求。

　　憑借空氣產(chǎn)品公司全球混配比數(shù)據(jù)庫，空氣產(chǎn)品公司的氣體混配專家利用30多年的豐富經(jīng)驗，為客戶實現(xiàn)精準(zhǔn)配比。通過量化充裝管路硬鏈接的系統(tǒng)偏差，做到精準(zhǔn)、穩(wěn)定的定量充裝，從而縮小產(chǎn)品混配比偏差，不斷提升數(shù)據(jù)統(tǒng)計SPC管控CPK 值。

　　空氣產(chǎn)品公司采用PPT級別的高端雜質(zhì)分析系統(tǒng)，對6N氣體進(jìn)行100PPB級別的分析，并提供精準(zhǔn)的分析數(shù)據(jù)。空氣產(chǎn)品公司的艾必利電子級高純氣體的水、氧等關(guān)鍵雜質(zhì)含量甚至可低到10PPB。

　　氣體的運輸和儲存

　　電子氣體在儲存和運輸過程中要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲運容器、以及相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口，確保避免二次污染。

　　空氣產(chǎn)品公司的6N/5N5/5N的產(chǎn)品包裝配置DISS/CGA閥門及鋼瓶內(nèi)壁拋光處理技術(shù)，同時嚴(yán)格監(jiān)管氣體的品質(zhì)有效期。對于水含量達(dá)到100PPB甚至10PPB的6N超高純氣體而言，包裝對品質(zhì)的影響至關(guān)重要。

　　同時，除了在無錫的電子級高純氣體工廠外，空氣產(chǎn)品公司在中國臺灣和韓國也設(shè)有特氣充裝工廠，資源共享，以提升運輸效率和供貨穩(wěn)定性。

　　多元化的電子級高純氣體產(chǎn)品

　　滿足不同純度需求

　　艾必利電子級高純氣體，為電子制造提供純凈血液

　　由空氣產(chǎn)品公司無錫電子級高純氣體工廠生產(chǎn)和供應(yīng)的艾必利電子級高純氣體涵蓋了純氣、稀有氣體和準(zhǔn)分子激光混合氣等。我們對自有原料的純度嚴(yán)格把關(guān)，配合先進(jìn)的充裝和混配系統(tǒng)，精確控制和檢測雜質(zhì)含量，為電子生產(chǎn)的各個工藝環(huán)節(jié)提供純凈的“血液”，推動電子器件質(zhì)量提升。

　　如需進(jìn)一步了解空氣產(chǎn)品公司艾必利電子級高純氣體，可致電400-888-7662或關(guān)注空氣產(chǎn)品公司官方微信獲取更多信息。