近日,蘇州晶瑞化學(xué)股份有限公司(以下簡稱“晶瑞股份”)舉行年產(chǎn)9萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體高純硫酸一期項(xiàng)目落成典禮,一期3萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體高純硫酸項(xiàng)目即將正式通線投產(chǎn),向半導(dǎo)體上游廠商全面供貨。
根據(jù)此前的公告顯示,晶瑞股份9萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體級高純硫酸技改項(xiàng)目由江蘇陽恒化工有限公司主導(dǎo)實(shí)施,一期計(jì)劃總投資1.87億元。
資料顯示,晶瑞股份是一家微電子材料企業(yè),主導(dǎo)產(chǎn)品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎(chǔ)化工材料等,晶瑞股份通過自主研發(fā)掌握了超純過氧化氫、超純硝酸、超純鹽酸、超純氨水、光刻膠、顯影液、剝離液、蝕刻液等生產(chǎn)工藝及其關(guān)鍵核心技術(shù),其中超純濕化學(xué)品已經(jīng)達(dá)到國際領(lǐng)先水平。
目前,晶瑞股份生產(chǎn)的半導(dǎo)體級雙氧水、氨水產(chǎn)品已達(dá)到國際先進(jìn)水平,為了增加半導(dǎo)體級高純硫酸產(chǎn)品品種,晶瑞股份通過收購江蘇陽恒化工有限公司的股份實(shí)行控股,與日本三菱化學(xué)合作,生產(chǎn)出高品質(zhì)的半導(dǎo)體級高純硫酸,替代進(jìn)口硫酸,為國內(nèi)外客戶提供高品質(zhì)半導(dǎo)體級高純硫酸。
據(jù)悉,該項(xiàng)目采用日本三菱化學(xué)株式會社的半導(dǎo)體級高純硫酸生產(chǎn)技術(shù)和裝備,利用三菱化學(xué)先進(jìn)的技術(shù)和裝備、陽恒化工的優(yōu)質(zhì)原料和配套公用工程進(jìn)行生產(chǎn),該產(chǎn)品已在三菱化學(xué)公司安全生產(chǎn)多年,工藝成熟穩(wěn)定。
晶瑞股份執(zhí)行董事李勍表示,超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體高純硫酸項(xiàng)目對晶瑞股份而言,具有極其重要的戰(zhàn)略意義,這相當(dāng)于再造一個晶瑞,項(xiàng)目的落成,意味著國產(chǎn)半導(dǎo)體級高純硫酸產(chǎn)品躋身全球高純化學(xué)品G5等級的最高水平,可以滿足當(dāng)前國內(nèi)芯片制造最先進(jìn)工藝制程的要求,打破了巴斯夫等國際巨頭壟斷。