10月14日，ASML公布第三季度財(cái)報(bào)，凈銷售額高達(dá)39.58億歐元，同比增長(zhǎng)32.6%，毛利率為47.5％。
據(jù)該公司首席執(zhí)行官Peter Wennink 介紹，ASML在第三季度一共交付了 10 臺(tái) EUV 系統(tǒng)，并在本季度實(shí)現(xiàn)了 14 臺(tái)系統(tǒng)的銷售收入。而在第三季度的新增訂單達(dá)到 29 億歐元，其中 5.95 億歐元來自 4 臺(tái) EUV 設(shè)備。從這個(gè)說明我們可以看到，ASML EUV光刻機(jī)的售價(jià)約為1.48億歐元，折合人民幣11.74億元。
即將出貨全新EUV光刻機(jī)
ASML還披露他們?nèi)碌臉O紫外光刻機(jī)將在明年年中開始出貨的，型號(hào)為TWINSCAN NXE:3600D。
在財(cái)報(bào)中，阿斯麥表示他們已經(jīng)敲定了TWINSCAN NXE:3600D的規(guī)格，具體來說，30mJ/c㎡ 的曝光速度達(dá)到每小時(shí)曝光160片晶圓，提高了18%的生產(chǎn)率，并改進(jìn)機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度至1.1nm。
值得注意的是，在2019年的年報(bào)中，阿斯麥就曾披露他們?cè)谘邪l(fā)新一代的極紫外光刻機(jī)，但當(dāng)時(shí)他們是計(jì)劃在2022年年初開始出貨，2024或者2025年大規(guī)模生產(chǎn)。三季度財(cái)報(bào)中披露在明年年中開始出貨，也就意味著出貨時(shí)間較原計(jì)劃提前了半年。
極紫外光刻機(jī)是7nm和5nm芯片制程工藝所必不可少的設(shè)備，目前全球只有阿斯麥能供應(yīng)。臺(tái)積電、三星這兩大芯片代工商的制程工藝都已提升到了7nm和5nm，他們所需要的極紫外光刻機(jī)也全部仰仗于阿斯麥，全新的TWINSCAN NXE:3600D的首臺(tái)，預(yù)計(jì)也會(huì)交由這兩家代工商中的一家。
3600D定于2021年中旬出貨交付，客戶還需要一定時(shí)間等待，價(jià)格應(yīng)該不會(huì)低于現(xiàn)款老型號(hào)的1.2億美元。
目前，ASML已經(jīng)投產(chǎn)的最先進(jìn)光刻機(jī)是3400C，但主力出貨型號(hào)是3400B。參數(shù)方面，3400B的套刻精度為2nm、曝光速度20mJ/c㎡ ，每小時(shí)可曝光125片晶圓。
另外，ASML透露，3400B在三季度也完成了軟件升級(jí)。全新的DUV光刻機(jī)TWINSCAN NXT:2050i已經(jīng)在三季度結(jié)束驗(yàn)證，四季度早期開始正式出貨。
據(jù)悉，在截止9月30日的單季度，ASML共獲得60臺(tái)光刻機(jī)收入，出貨了10臺(tái)EUV光刻機(jī)。
DUV光刻機(jī)無(wú)需出口許可證
ASML CFO Roger Dassen在財(cái)報(bào)會(huì)議的視頻采訪中談到了與中芯國(guó)際等中國(guó)客戶的業(yè)務(wù)情況。
Roger Dassen指出，在中國(guó)業(yè)務(wù)方面，去年中國(guó)本土客戶為ASML創(chuàng)造了約8億歐元的銷售額，今年將會(huì)更多，預(yù)計(jì)超過10億歐元。
關(guān)于美國(guó)有可能對(duì)中芯國(guó)際采取限制措施，Roger Dassen表示，ASML今年客戶以邏輯工藝領(lǐng)域?yàn)橹?，中芯?guó)際則是ASML的主要邏輯工藝領(lǐng)域客戶?！拔覀儾粫?huì)對(duì)特定的客戶情況進(jìn)行推測(cè)或評(píng)論，但總的來說，我們會(huì)在法律和法規(guī)要求的范圍內(nèi)盡最大的能力繼續(xù)為客戶提供服務(wù)，”Roger Dassen如是說。
Roger Dassen進(jìn)一步指出，ASML了解美國(guó)當(dāng)局目前的規(guī)章制度及其解釋，當(dāng)然也知道這些與特定的中國(guó)客戶密切相關(guān)，但如果廣泛的來理解其規(guī)章制度對(duì)ASML的總體含義（對(duì)于特定的中國(guó)客戶），則意味著ASML將能夠從荷蘭向這些中國(guó)客戶提供DUV光刻系統(tǒng)，且無(wú)需出口許可證。不過，如果涉及直接從美國(guó)運(yùn)往此類客戶的零件或系統(tǒng)，ASML則需要為此申請(qǐng)出口許可證。